CVD Silicon Carbide (SiC) Coating

Sekoahelo sa CVD SiC ha e le hantle ke lera la silicon carbide le kentsweng hodima graphite, mme se sebediswa haholo disebedisweng tsa epitaxy moo mocheso le bohloeki di leng bohlokwa. Meleng ya tlhahiso ya nnete, o tla e bona hangata ditsamaisong tse tswang ho AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, hammoho le di-platform tse ding tse amanang le AMAT. Se etsang hore e be molemo ha se feela ho hanyetsa mocheso, empa le botsitso ka kakaretso nakong ya nako e telele. Tlas'a maemo a tlwaelehileng a epitaxy - haeterojene, ammonia, kapa esita le dikgase tse nang le chlorine - sekoahelo se dula se tsitsitse mme se sireletsa graphite e ka tlase. Seo se thusa ho boloka sebaka sa mocheso se tsitsitse haholoanyane mme se fokotsa monyetla wa hore dikarolwana di hlahe nakong ya kgolo.

Hangata, lesela le sebelisoa likarolong tse kang li-susceptor, li-wafer carriers, mehele ea graphite, kapa likarolo tsa halofo ea khoeli. Tsena kaofela li ameha ka ho toba ho futhumatseng kapa ho beheng ha wafer, kahoo ho se tsitse ho honyenyane ho ka ama chai. Ka lebaka leo, likarolo tse koahetsoeng hangata li nkoa e le lintho tse sebelisoang tse ntseng li hloka ho tšepahala ka mekhahlelo e mengata, haholo-holo tlhahisong ea lisenthimithara tse 4 ho isa ho tse 12.