SiC Ceramics

Liserame tsa SiC li sebelisoa haholo-holo lisebelisoa tsa semiconductor, haholo-holo hobane li mamella hamolemo maemong a thata. Ha mocheso o phahama kapa ts'ebetso e ba matla haholoanyane, thepa e kang quartz kapa silicon e ka qala ho bontša meeli, 'me hangata ke moo SiC e kenang teng. Lits'ebetsong tsa ontong tse kang oxidation kapa ho hasana, likarolo tse kang likepe tsa wafer kapa li-paddle tse entsoeng ka SiC li atisa ho nka nako e telele. Li boloka sebopeho sa tsona 'me ha li tlise tšilafalo e ngata, esita le ka mor'a ho matha nako e telele. Batho hangata ba fetoha ho tloha ho quartz ka lebaka lena, haholo-holo ha tlhokomelo e ba khafetsa haholo.

Bakeng sa ho tjhesa, SiC hangata e kgethwa hobane feela e phela plasma nako e telele. Phapang ya bophelo bohle ha e bapiswa le dikarolo tsa silicon e bonahala ditlhophisong tse ngata, leha ho ntse ho itshetlehile ka tshebetso e nepahetseng. E boetse e thusa hanyane ka taolo ya dikarolwana, e bang bonolo ha dinode di ntse di fokotseha. O tla boela o bone SiC e sebediswa e le di-susceptor ho MOCVD kapa CVD. Maemong ao, ha se taba ya "matla" empa ke taba ya ho boloka boitshwaro ba mocheso bo tsitsitse. Ntle le moo, e hlaha dikarolong tsa kamore tse kang di-liners kapa di-shawara, mme ka dinako tse ding le dikarolong tse sebetsanang le tsona.