Hobaneng Graphite e Hloekileng Haholo e le ea Bohlokoa Bakeng sa Taolo e Phethahetseng ea SiC Epitaxy

Boleng ba wafer ea silicon carbide (SiC) e hlahisoang bo susumetsoa ke liphetoho tse poteletseng tikolohong ea kholo. Sebaka seo ba bangata ba sa se nahaneng ke graphite e koahelang reactor. E emela teko ea mocheso o matla o fumanoang ka hare ho reactor ha e ntse e tšehetsa le ho beha wafer nakong ea epitaxy. Haeba graphite e sa hloeka kapa e hlophisitsoe ka mokhoa o sa tloaelehang, likotoana tse nyane tsa thepa kapa karabelo e sa batleheng li ka beoa nakong eohle ea kholo. Mathata a manyane holim'a graphite a ka thunya ho ba likoli tse kholo tsa wafer, e leng se fellang ka mosebetsi o mongata le chai e tlase bakeng sa bahlahisi ba chip. Kahoo boemo le bohloeki ba Mokelikeli oa graphite ke taba ea bohlokoa ho feta kamoo ba bangata ba ka nahanang kateng.

Bohloeki ba Graphite bo Susumetsa Mathata a Likaroloana Joang Likamoreng tsa Epitaxy?

Dikaroloana ke sekoli se atileng sa wafer likamoreng tsa SiC epitaxy, 'me hangata se kenyelletsa graphite ts'ebetsong. Likarolo tsa graphite li lula sebakeng se chesang sa reactor ea SiC, li jara wafer 'me li susumetsa li-contour tsa mocheso. Ka tšebeliso ea graphite e sa hloekang haholo, litšila tse setseng, tse kang litšila tsa tšepe, molora, kapa masala a setseng a ts'ebetso, li ka tsoa khase ho tsoa ho graphite butle-butle ha nako e ntse e ea nakong ea kholo ea mocheso o phahameng. Litšila tse khaotsoeng hangata ha li bonahale ka kamoreng, empa qetellong li lula holim'a wafer, kapa li fetoha karolo ea mohato oa khase. Mohlala, ts'ebelisong e 'ngoe, setsebi se khethile graphite ea boemo bo tlase bakeng sa ho boloka litšenyehelo. Le hoja ho ne ho se na mathata a ileng a bonahala nakong ea nako e khutšoanyane qalong, kamora lipotoloho tse 'maloa tsa Sic epitaxy , ho ile ha bonoa masoba a sa reroang le matheba a mabe holim'a wafer. Mohloli oa likoli tse joalo o ne o lateloa ke likaroloana tse nyenyane tse tsoang ho graphite holder kapa susceptor. Likaroloana li ne li tla kena ka kamoreng ea kholo 'me li sebetse e le peo ka mokhoa o sa rateheng. Bongata bo sa lekanang ba karolo ea graphite bo ne bo tla boela bo kenye letsoho ho petsoheng ha karolo holim'a mocheso, e leng se lebisang ho tšoloheng ha likaroloana tse ntle ka kamoreng ha nako e ntse e ea, leha karolo e ka bonahala e hloekile. Kahoo, ho beha leihlo mohloli oa graphite le nalane ea eona ke mosebetsi oa kamehla ho fabs ho qoba likoli tse amanang le likaroloana. Graphite e hloekileng haholo e nang le molora o laoloang ka kakaretso e lakatseha, haholo-holo bakeng sa tlhahiso ea nako e telele. Palo ea lipotoloho tsa mocheso tsa likarolo le eona e hlahlojoa kaha thepa e tla tšolla likaroloana esita le ka mor'a lits'ebetso tse ntle tsa pele. Hape, mokhoa oa tlhokomelo bakeng sa likarolo tsa graphite o susumetsa likoli. Mohlala, mekhoa e matla ea ho hloekisa e ka senya bokaholimo ba graphite 'me ea fella ka mapetso a manyenyane. Mokhoa o khethiloeng ke mokhoa o bonolo, o laoloang oa ho hloekisa o nang le tšebelisano e fokolang ea 'mele le likarolo tsa graphite. Ka mabaka a moruo, ho nkela dikarolo sebaka kapele ho feta kamoo ho neng ho lebelletswe ho ka ba betere ho feta ho sebetsana le tahlehelo ya chai mehatong e latelang. Ka bokhutšoanyane, taolo ya tlhahiso ya dikarolwana tshebetsong e tlwaelehileng ya SiC epitaxy e potoloha dintlha tse nyane mabapi le boleng ba thepa le mekgwa ya ho e tshwara. Taba ya boleng ba graphite ke yona e ka sehloohong sa taba.

Litlhoko tsa Thepa bakeng sa Likarolo tsa Epitaxial tsa SiC le Li-Susceptor tsa Boemo bo Holimo

Bakeng sa SiC epitaxy, likarolo tse ka har'a reactor ha se feela ho "tšoara" wafer. Li-susceptor, li-graphite carriers le likarolo tsa hotzone ka har'a reactor li susumetsa kholo ea kristale ka ho toba. Ke ka lebaka leo thepa e leng boima haholo 'me phoso e nyane e tla qetella e iponahatsa e le sekoli holim'a wafer. Ho tsitsa ho phahameng ha mocheso ke tlhoko ea motheo. Likarolo li futhumatsoa ho fihlela mochesong o phahameng haholo ka nako e telele (ka linako tse ling lipotoloho tsa ho futhumatsa/ho pholisa tse pheta-phetoang). Thepa e sa khoneng ho boloka botsitso mochesong ona e tla sotha 'me qetellong e ka petsoha. Liphetoho tse nyane tsa geometry li ka fetola phallo ea khase le kabo ea mocheso haholo e fellang ka kholo ea kristale e sa ts'oanang holim'a wafer. Bohloeki ke ntlha e 'ngoe ea bohlokoa. Mekhoa ea SiC ea maemo a holimo e hloka tekanyo e tlase haholo ea tšepe le boemo bo tlase haholo ba molora likarolong tse thehiloeng ho graphite. Nakong ea ts'ebetso, litšepe tse latelang li tla tsoa butle likarolong, litšila li ka hasana ka kamoreng 'me tsa fella ka tšilafalo ea likaroloana kapa liphoso tsa kristale tsa lehae. Libakeng tse ling tsa fabs, phoso ea ho bokella ka mokhoa o sa reroang e latetsoe ke sehlopha se le seng sa susceptor e silafetseng. Sebopeho sa bokaholimo ke tlhoko ea bohlokoa. Bokaholimo bo boreleli le bo lekanang bo tla thusa ho fokotsa ho qhalana ha likaroloana nakong ea potoloho ea ho futhumatsa/ho pholisa. Bokaholimo bo sa lekanang, kapa masoba a ka har'a sebopeho sa bokaholimo, bo tla senyeha khafetsa nakong ea ts'ebetso 'me kahoo bo hlahise mohloli o tsitsitseng oa likaroloana ka phapusing. Boleng ba ho roala le bona ke tlhoko e 'ngoe ea bohlokoa. Li-susceptor tse ngata tsa maemo a holimo li sebelisa sekoahelo sa SiC e le lera la tšireletso. Lesela le tlameha ho khomarela hantle thepa ea motheo 'me le tlameha ho mamella ts'ebetso e telele. Ho hokahana hampe le ho aroloa ha lamination ho tla pepesetsa graphite ea motheo ka ho toba tikolohong e matla ea karabelo. Hangata re bona sena lits'ebetsong tsa 'nete: mohlala, lesela la wafer le sebetsang bakeng sa sehlopha se selelele sa tlhahiso le tla bona sekhahla sa sekoli se nyoloha butle-butle kamora lipotoloho tse makholo. Ho hlahloba susceptor ho tla senola ho senyeha hanyane ha sekoahelo le khoholeho ea moeli. Ho fetola kapa ho nkela karolo sebaka ho tla khutlisa sekhahla sa sekoli boemong bo amohelehang. Ho khetha thepa e nepahetseng ha se feela ka ts'ebetso ea pele ea likarolo, empa le botsitso ba thepa lipotolohong tse pheta-phetoang.

Litlamorao tsa Sebopeho sa Koro ho Tsitsiso ea Thempereichara ho AIXTRON G10 Systems

Sebopeho sa thollo sa likarolo tsa graphite ka har'a SiC e mocheso o phahameng Epitaxy kgolo Sistimi, joalo ka AIXTRON G10, e ama botsitso ba mocheso haholo. Sena se amana le diphetoho tsa boholo, ho boloka sebopeho, le karabelo ho potoloha ha mocheso. Graphite ha se monolithic solid. E na le dikristale kapa dithollo tse ngata. Dikristale ka bomong di ka ba le ditsela tse fapaneng. Ha ho na le taolo e mpe ya boholo ba dithollo ka hara karolo ya graphite, ho hlaha kabo e sa lekanang ya mocheso. Dibaka tsa karolo di a futhumala le ho phola ka lebelo le fapaneng. Sena se baka kgatello ya kahare boemong bo bonyenyane. Butle-butle kgatello ena ya kahare e baka ho kobeha kapa ho sotha dikarolong tse kang susceptor kapa carrier ya wafer. Ts'ebetso ena e bonahala habonolo nakong ya tlhahiso. Hangata e hlaha ha mohala wa wafer o sebetsa mochesong o phahameng. Boleng ba wafer bo qala ho hoholeha kamora dipotoloho tse makgolo tsa mocheso. Diphetoho tsa botenya di a eketseha, mme diphoso tsa mathoko di qala ho hlaha kgafetsa. Hang ha dikarolo tsena di hlahlojwa hangata di na le matshwao a ho kobeha kapa mokhathala wa thepa. Meaho e menyenyane ya dithollo e nang le kabo e laolwang ya kristale e tla ba le botsitso bo betere ba mocheso ho feta dithollo tse mahoashe kapa meaho e sa reroang. Sena se tla fella ka phetiso e lekanang ya mocheso le ho fokotseha ha dintlha tsa kgatello tsa sebakeng seo. Ka sebopeho se nepahetseng sa lijo-thollo, likarolo li tla hanela ho kobeha esita le ka makhetlo a makholo a potoloho ea mocheso. Meaho e mahoashe kapa mehaho ea lijo-thollo e sa ajoang hantle e fella ka libaka tse fokolang ka hare ho karolo, e leng se lumellang ho petsoha ha microcracking le ho lokolloa ha likaroloana ka kamoreng. Taba e 'ngoe ea bohlokoa eo u lokelang ho e nahana ke ho hanyetsa ho tšoha ha mocheso. Ho na le lintlha tseo karolo e fetang ho tsona phetoho e kholo ea mocheso joalo ka ho kenngoa ka har'a reactor kapa ha e tlosoa. Haeba ho na le meeli e fokolang pakeng tsa lijo-thollo, mapetso a manyenyane a ka hlaha meleng ea lijo-thollo. Le hoja sena hangata se sa felle ka ho hloleha ha karolo, se lumella mefokolo ena ho thehoa thepa, e leng se lebisang mathateng a ts'epo ea nakong e tlang. Bongata ba lintho tse ntle li latela bophelo ba karolo ka lihora tse sebelisitsoeng, le palo ea lipotoloho tsa mocheso le kalafo eohle ea mocheso. Likarolo tse nang le sebopeho sa lijo-thollo se entsoeng hantle li na le bophelo bo bolelele, liphetho tse tsitsitseng haholoanyane ha nako e ntse e ea.

Ho Fokotsa Tšilafalo ea Tšepe Likarolong tsa Graphite tse Hloekileng Haholo

E 'ngoe ea mathata a "sa bonoeng" empa a bohlokoa karolong efe kapa efe ea graphite, ho kenyeletsoa le ts'ebetsong ea SiC epitaxy, ke tšilafalo ea tšepe. Esita le mesaletsa e menyenyane ea litšepe karolong ea graphite e ka kena ts'ebetsong 'me ea fetoha mohloli oa ho thatafalloa ho fumana liphoso ho reactor ea SiC epitaxy joalo ka AIXTRON G10. Litšepe tse joalo hangata li tsoa thepa e tala kapa mehato e fapaneng ea ts'ebetso e amehang tlhahisong ea karolo ea graphite. Lielemente tse kang Tšepe, Nickel, Calcium le Sodium lia tloaeleha 'me li lula li tšoasitsoe ka har'a karolo e kholo ea graphite mochesong oa kamore, leha ho le joalo, mochesong o phahameng oa ts'ebetso o sebelisoang ho SiC epitaxy, likarolo tsena li ka fetoha tse tsamaeang. Litšepe tsena tse nyenyane li ka qetella li ntšitsoe ka ntle ho khase kapa tsa fallela holim'a metsi nakong ea lipotoloho tse pheta-phetoang tsa ho futhumatsa/ho pholisa sebakeng se chesang, e leng susceptor kapa carrier ea wafer ka boeona. Nyeoe e tloaelehileng e ka ba tjena: fab e qala sehlopha sa tlhahiso se sebelisa likarolo tse ncha tsa graphite. Li-wafer tse 'maloa tsa pele li lokile 'me ha li bontše liphoso, empa kamora nako e itseng, liphoso tse nyane li qala ho hlaha. Hangata ke mekoti e menyenyane, liphoso tsa ho bokellana ka tšohanyetso, kapa liketsahalo tse sa hlaloseheng tsa likaroloana. Ho bonolo ho belaella ka phoso phallo e fosahetseng ea khase kapa ketsahalo ea tšilafalo nakong ea ho hloekisa kamore. Empa tlhahlobo e qaqileng hangata e lebisa ho lokolloeng butle ha litšepe tse nyenyane ho tsoa likarolong tsa graphite. Ho laola bohloeki ba graphite ke e 'ngoe ea linotlolo. Bakeng sa likarolo tsa bohlokoa, graphite e hloekisitsoeng mochesong o phahameng e nang le molora o tlase e lula e ratoa. Mohato ona oa tlhoekiso o tlosa boholo ba masala a tšepe. Graphite e joalo e ka boloka likarolo li qabeletsoe nako e telele esita le tlas'a lipotoloho tse pheta-phetoang tsa ho futhumatsa/ho pholisa. Tlhahlobo e kenang ea likarolo tsa graphite le eona e bohlokoa haholo linthong tse ling tse entsoeng ka letsoho. Ho leka lihlopha tsa graphite ka mekhoa e kang ICP-OES kapa XRF ho ka thibela ho sebelisoa ha likarolo tse silafetseng. Ho ka boela ha thibela ho kopanya likarolo tse tsoang mehloling e fapaneng ka har'a phallo e tšoanang ea ts'ebetso. Li-coatings tse kang SiC kapa TaC le tsona li thusa ho rarolla bothata ka ho sebetsa e le tšitiso pakeng tsa karolo ea graphite le tikoloho ea ts'ebetso. Ha feela lesela le kentswe hantle mme le hokahantswe le substrate e ka tlase ya graphite, le tla fokotsa tshebedisano ya karolo ya graphite le tikoloho ya tshebetso. Sa ho qetela empa e se sa bohlokwa ke ho tshwara le ho boloka dikarolo tsa graphite. Dikarolo tsa graphite di ka silafatswa nakong ya ho sebetsana le tsona ka diatlana tse ditshila, disebediswa kapa ka ho di boloka shelefong e sa hlwekang. Tshilafatso ena ya bokahodimo e ka kena ka ontong nakong ya potoloho ya ho futhumatsa. Ho fokotsa tshilafatso ya tshepe ya dikarolo tsa graphite, ke kakaretso ya boiteko bo bongata bo bonyenyane. Thepa e hlwekileng haholo e kopantsweng le mokgwa o motle wa ho sebetsana le yona le taolo e tiileng ya tshebetso e a hlokahala.

Hobaneng ha Veeco EPIK Systems e Hloka Lisebelisoa tsa Graphite tse nang le Porosity e Tlase ka ho Fetisisa?

Likarolo tsa graphite ka har'a sethala sa Veeco EPIK Systems li feta maemong a thata ka ho fetisisa a ts'ebetso tlhahisong ea semiconductor. Maemo a mocheso o phahameng, k'hemistri ea khase e matla le potoloho e telele ea ts'ebetso a bonoa ke likarolo tsena. Graphite e nang le porosity e tlase haholo ka hona e bohlokoa ho boloka botšepehi le bohloeki ba SiC epitaxy. Porosity e bolela li-pores tse nyane, tse ka hare tse teng ka har'a 'mele oa graphite ka boeona. Ho sa tsotellehe bokaholimo bo boreleli ka ho phethahetseng, li-pores tsa ka hare li ka ba teng, likhase tsa ts'ebetso ea ho tšoasa, masala le k'hemistri ea ho hloekisa. Porosity e phahameng e bolela bophahamo bo bongata ba ka hare bakeng sa ho tšoasa, moo kamora ho pepesehela mocheso o phahameng, thepa e ka ntšoa butle-butle. Ho ntšoa hona ha se kamehla ho leng mola 'me ho ka lebisa ho phatloha, ho etsang hore ts'ebetso e be thata ho e laola. Ho SiC epitaxy, sena se kotsi haholo. Ha likhase li lokolloa 'meleng oa graphite li ka kenyelletsoa phallong ea khase ka har'a kamore ea epitaxy, li tlatsetsa likarolong tse sa batleheng. Dikaroloana di tla fumana tsela ya tsona hodima bokahodimo ba wafer, di ama kgolo ya kristale mme di ka lebisa diphosong tse sa lebellwang tse kang dikoti tse sa reroang, ho hasana ha bokahodimo kapa diphetoho tsa lehae botenya ba wafer. Boemo bo tlwaelehileng bo fumanwang ke di-ramp tsa tlhahiso moo lesela le hlwekileng le fumanang dikarolo tse ntjha tsa graphite bakeng sa sistimi ya EPIK. Diphetho tsa pele di ka amoheleha, leha ho le jwalo ha dipotoloho tsa mocheso di pheta, sekgahla sa sekoli se ka nyoloha mme tlhahlobo ya terene ya tshebetso ho kenyeletswa mela ya kgase, di-valve le mekhahlelo ya tshebetso ya ho hlwekisa e ka nna ya se senole letho le totobetseng. Hangata ho senolwa hore sesosa ke graphite e nang le masoba a tlase sebakeng sa mocheso o phahameng. Kgetho ya graphite e nang le masoba a tlase e fokotsa kotsi ena ka katleho ka ho fokotsa bongata ba ka hare boo mefuta e tshwasehileng e ka patwang ho bona, e fokotsa monyetla wa ho lokollwa ha kgase ka tshohanyetso ha e futhumatswa. E boetse e amana le botshepehi bo betere ba mechini. Sebopeho se teteaneng sa graphite e nang le masoba a tlase hangata se fana ka kganyetso e eketsehileng ya ho petsoha ha graphite e ntse e feta potolohong ya mocheso o pheta-phetoang. Ho feta moo, bokahodimo bo nang le masoba a tlase bo kgothaletsa botshepehi bo ntlafetseng ba ho roala. Ha SiC kapa thepa e meng e hanyetsang e manehilwe hodima bokahodimo bona ba graphite, di kgomarela hantle bokahodimong bo se nang masoba a mangata. Sena se ka etsahala ka lebaka la kamano e eketsehileng ea kamano pakeng tsa thepa e koahetsoeng le graphite, e leng se ntlafatsang ho tšoarella le ho tšoarella ha nako e telele ha lipeo le bokhoni ba tsona ba ho petsoha kapa ho petsoha. Qetellong, khetho ea graphite e nang le porosity e tlase haholo boemong ba tlhahiso ea letsatsi le letsatsi, leha e le thepa ea thepa, e fana ka melemo e tobileng haholo ho fihlelleng liphetho tsa wafer tse tsitsitseng, tse hloekileng, tse ka boleloang esale pele lits'ebetsong tse phahameng tsa SiC epitaxy.