Hobaneng ha li-Disk tse Phallang Khase li sa Tšoane ka Epitaxy e Phahameng ea Mocheso

Di-disk tsa khase tse phaphametseng tse sebediswang ditshebetsong tsa epitaxy tse nang le mocheso o phahameng di fana ka botsitso ho di-wafer mme di di boloka di tsheheditswe ka phallo e tshwanang ya khase. Tikolohong ya tlhahiso, basebetsi ba ka hlokomela hore ha nako e ntse e ya di-disk tsena di lahlehelwa ke ho tshwana ha phallo ya khase le botsitso ba di-wafer, disk e sekameng e ka qala ka ho tsofala hanyane kapa ho bokellana hodima disk, mme e ka mpefala ha nako e ntse e ya. Sena ke seo ho hlokahalang hore se utlwisiswe ho qoba nako ya ho se sebetse le ho hloleha ha sehlahiswa. Ho theosa le dilemo, ka lebaka la kemiso ya letsatsi le letsatsi ka mokhoa o motle, phetoho e nyane maemong a mocheso le phallo e ka sutumelletsa di-disk hore di se ke tsa tsamaya hantle kajeno.

Mekhoa ea ho Fetola Thermal ho AMAT Centura5200 Gas Floating Disks

Diski e phaphametseng ea khase e kotsing ea ho lahleheloa ke ho ba sephara ha eona tsamaisong ea AMAT Centura5200 ka lebaka la mocheso. Nakong ea mocheso o phahameng Epitaxy kgolo , disk e futhumatsoa ka tsela e sa lekanang ke kamore ea reactor. E fumana mahlaseli a mangata le matla a plasma ho tsoa holimo, 'me khase e pholileng e phalla ho tloha tlase. Phapang ea mocheso e lebisa khatellong ea mocheso thepa. Ho potoloha ha tšepe kapa bokaholimo bo koahetsoeng ka mocheso o fapaneng ho lebisa katolosong le ho honyeleng ha thepa ea disk. Le hoja khatello potolohong ka 'ngoe ea mocheso e ka ba nyane haholo, ha e etsoa khafetsa ka makhetlo a makholo kapa a likete, khatello e setseng e bokelletsoeng e qala ho hlahisa phetoho ea mocheso. Libaka tse ling lia atoloha le ho otlolla ho feta tse ling 'me li lebisa ho kobeheng hanyane ka har'a disk. Ho sekama hona ho honyenyane ho ka sitisa mosamo oa khase o lumellang disk ho phaphamala ka ho lekana. Phetoho ea mocheso e ka boela ea bakoa ke li-gradient tsa mocheso ho pholletsa le disk. Karolo e 'ngoe ea disk e ka ba haufi le mohloli oa mocheso kapa ea fumana phallo ea khase e pholileng e fokolang hanyane. Karolo e 'ngoe ebe e otlolla ho feta e 'ngoe. Bothata bona bo ka hlaha kamora ho hlokomeloa kapa ho hloekisoa kaha litšobotsi tsa phallo ea khase li atisa ho fetoloa, 'me ho tloaelehile ho bona ho lekana ha disk ho sa tsitsang kamora ts'ebetso e boletsoeng ka holimo. Ho thothomela le hona ke bothata. Mocheso o phahameng o baka phetoho butle-butle ea thepa ea disk tlas'a mojaro o tsoelang pele. Ena ke ts'ebetso e liehang ntle le ho robeha ka tšohanyetso; leha ho le jwalo, e emela "ho hopola kgatello ya maikutlo" butle. Dinthong tse ding tse makatsang, ho tlalehilwe hore ho ile ha fumanwa ho sekame hanyane ka hara disk kamora dikgwedi tsa tshebeletso ntle le diphoso tse bonahalang. Mohlala o bontshang o ka bonwa ho tswa ho Sic epitaxy mola ha wafer e ne e bontša botenya bo sa lekanang. Phuputso e hlokolosi ea disk e phaphametseng ea khase ka phapusing e ile ea senola disk e kobehileng. Sesosa sa mantlha se ile sa hlahlojoa hore se tsoa lipotolohong tsa mocheso o phahameng, le phallo e sa lekanang ea ho pholisa khase e ka morao. Ho tsitsa ha disk e phaphametseng ea khase ho amahanngoa haholo-holo le kabo ea mocheso o laoloang, phallo e tšepahalang ea khase, le ho nkela disk sebaka pele ho qalisoa ho hoholo.

Ho Tšoana ha CVD TaC Coating ho Ama Boreleli ba Disk le Botsitso Joang?

Hangata dikoahelo tsa CVD TaC di sebediswa bakeng sa di-disk tse phaphametseng tsa khase hobane di ntlafaditswe hantle, di sebetsa hantle haholo ho hanela mocheso le mafome tlasa tikoloho e thata ya epitaxy. Empa esita le thepa e thata ya ho kwahela ya tantalum carbide e ke ke ya qoba bohlokwa ba bohlokwa ba botenya bo tshwanang ba ho kwahela hodima ho batalla le botsitso nakong ya tshebetso ya disk e phaphametseng ya khase. Ha botenya ba ho kwahela bo lekana hantle hodima bokahodimo bohle, disk tlasa mocheso o phahameng le kgatello e phahameng ya dikgase e tla atoloha ka ho lekana, mocheso o namela ka ho lekana hodima disk ka kgatello e nyane ya ka hare. Ka nako e ts'oanang, mosamo wa kgase ka tlasa disk o ka thehwa ka ho lekana haholoanyane, e leng se thusang boemo ba wafer ho ba bo tsitsitseng nakong ya kgolo. Bothata bo hlaha ha ho na le phapang botenya ba ho kwahela hodima bokahodimo bohle. Lehlakore le leng le nang le karolo e teteaneng hanyane ya ho kwahela le eketsa ho tiea ho eketsehileng sebakeng seo mme le tla arabela ka tsela e fapaneng tlasa mocheso o phahameng, le ka atoloha butle kapa esita le ho honyela ha ho bapiswa le sebaka se sesesaane. Ka ho futhumatsa ho sa khaotseng ha potoloho, ho bokellana ha khatello ho bakoang ke liphapang tseo ho ka hlahisa khatello ea ka hare 'me ha fella ka ho kobeha hanyane ha setsi sa disk se neng se bataletse hantle qalong. Tlhahisong ea 'nete, re bona bothata bona e le bophahamo bo sa tsitsang ba ho phaphamala, kapa litsi tsa li-wafer li qala ho fetoha hanyane, leha ntho e' ngoe le e 'ngoe e bonahala e tloaelehile ka ho feletseng. Moenjiniere oa tlhahiso a ka bo fumana ha a bona hore phapang ea botenya ba bohareng ho ea moeling oa wafer e kentsoeng e eketsehile ka tšohanyetso, leha ho le joalo, ha a hlahloba kamore, a ka hlokomela hore disk e phaphamalang e se e ntse e na le "paterone ea ho phahamisa" e sa bonahaleng haholo eo hangata e amanang le phapang ea ho roala. Nka hopola mohlala o le mong oa bothata bona moleng oa tlhahiso oa SiC. Disk e phaphamalang ea khase e shebahala hantle ka pono hang ka mor'a ho roala. E ile ea qala ho bontša ho sotha hanyane kamora nako ea ts'ebetso ea mocheso o phahameng. Re fumane hore e hlile e bontšitse li-micrometer tse 'maloa tsa phapang botenya ka tlhahlobo, boleng bo bonyenyane boo bo ne bo ikarabella bakeng sa disk e kobehileng hanyane e sebetsang ho 1500C. Taolo e nepahetseng ea sekhahla sa phallo ea khase, boemo ba mocheso le ho potoloha ha disk nakong ea ho roala lia hlokahala lits'ebetsong, ka tekanyo ea botenya ba ho roala e lekanyetsoang khafetsa ho thibela ho sisinyeha ha maemo a ts'ebetso pele, 'me ts'ebetso ea ho roala e tla lekanngoa hape.

Maemo a Tokiso ea Disk ea Khase ea AMAT bakeng sa Mekhoa e Nepahetseng ea Epitaxy

Di-disk tse phaphametseng tsa khase ka hara disebediswa tsa epitaxy bakeng sa disebediswa tse nepahetseng tse kang AMAT Centura di bohlokwa ho tsitsisa wafer nakong ya kgolo ya mocheso o phahameng. Ho na le tsamaiso e tiileng e amehang ha ho lokiswa di-disk tse tsofetseng, tse senyehileng kapa tse sa kwahelwang ka ho lekana. Diphoso dife kapa dife tshebetsong ya tokiso di tla ama boitshwaro ba mosamo wa khase mme ka hona boleng ba wafer. Ntlha e potlakileng ka ho fetisisa e hlahlojwang kamora tokiso ke ho batalla ha bokahodimo. Tokiso e tlameha ho fihlela mamello e thata haholo ya ho batalla, kaha esita le tekanyo e nyane ya warp e ka sotha ho leka-lekana ha phallo ya kgase. Ho sila kapa ho polisha leha e le hofe ho tlameha ho netefatsa hore palo e lekanang ya thepa e tloswa bokahodimong bohle; ho polisha ho sa lekanang ke sesosa sa ho hloleha ha di-disk pele. Tokiso ya ho polisha le yona ke bothata bo tebileng. Di-disk tse ngata di sireleditswe ka CVD TaC le di-coat tse thata tse tshwanang. Ha ho polishwa hape, ho bohlokwa ho netefatsa hore botenya ba lera bo lekana hodima bokahodimo bohle ba disk. Botenya ba ho polisha ho sa lekanang bo etsa hore karolo eo e arabele ka tsela e fapaneng ha e futhumatswa mme e ka kenya letsoho ho sekameng kapa ho phahamisweng ho sa lekanang nakong ya tshebetso. Fabs e bone di-disk di feta tlhahlobo ya pono kamora ho lokiswa, empa di ba le bophahamo bo sa tsitsang ba ho phaphamala kamora didikadikwe tse mmalwa ka lebaka la sekoli sena. Le hoja ho bonahala ho le bobebe, ho hlwekisa pele ho lokiswa ho bohlokwa haholo. Ditshila tse sa tloswang kapa dihlahiswa tsa karabelo hodima substrate ya motheo di tla beha botshepehi ba tlamo e ntjha ya ho roka. Moleng o mong wa SiC epitaxy, disk e lokisitsweng e ile ya kgutlisetswa tlhahisong mme kamora beke e le nngwe ya bontsha matshwao a ho thothomela hodima wafer. Tlhahlobo ya kamora ho lokiswa ha disk e ile ya senola masalla a qabelletsweng tlasa roko ya tokiso e neng e ntse e hola butle ka lebaka la potoloho ya mocheso. Kamora ho lokiswa, di-disk hangata di bewa maemong a mocheso o phahameng ho imolla kgatello e bakilweng nakong ya tokiso. Basebetsi ba hlokomela disk nakong ya ts'ebetso ena ho lemoha matshwao a pele a ho sotha kapa ho phahamisa ho sa tsitsang. Ho bohlokwa eseng feela ho lokisa tshenyo, empa ho kgutlisa tekano ya pele ya thepa ya mocheso, ho batalla ha bokahodimo, le tekano ya phallo ya kgase ho netefatsa hore disk e lokisitsweng e tla sebetsa jwalo ka e ntjha nakong ya tlhahiso.

Kamano Pakeng tsa Kabo ea Mocheso le Botsitso ba Levitation ea Wafer

Nakong ea phallo ea khase e lekanyang wafer nakong ea epitaxy, bohlokoa ba hore na mocheso o ajoa ka ho lekana ho pholletsa le disk le kamore ke eng. Haeba mocheso o ajoa ka ho lekana, filimi ea khase ka tlas'a eona e tla lekana 'me wafer e tla lula e leka-lekane. Ho futhumatsa ho sa lekanang ho tla qala ho sitisa botsitso bo bonolo. Nakong ea ts'ebetso ea 'nete ea mofuta oa AMAT Centura, bohareng ba wafer bo tla chesa haholo ho feta mathōko. Lebaka la sena ke hore hitara ka boeona ha e hlahise 'mapa oa mocheso o ts'oanang ka ho felletseng holim'a wafer, 'me ho pholisa ha khase ka morao ho kanna ha se tšoane. Ha wafer e ntse e chesa sebakeng se le seng, e atoloha haholo sebakeng seo se itseng, e leng se fetolang hanyane mokhoa oa phallo ea khase ka tlase. Hang ha phallo ea khase e fetoha, bophahamo ba levitation ba wafer boa fetoloa. Lehlakore le leng la wafer le tla phaphamala hanyane ho feta le leng. Le hoja sena se kanna sa se bonahale kamehla mahlong a hlobotseng, sesebelisoa sa ts'ebetso se ka bala sena e le motsamao o monyane kapa ho sisinyeha nakong ea ts'ebetso ea kholo. Tsela e bonolo ka ho fetisisa ea ho bona sena ke ho nahana ka puck e tšesaane haholo ea hockey empa ka lehlakore le leng la sebaka se bapalang le futhumetse hanyane; puck e ne e tla ntse e phaphamala, empa e suthela kapa e sekamele lehlakoreng le batang la bokaholimo. Khopolo e tšoanang e sebetsa le kamore ea kholo. Nakong ea tlhahiso ea 'nete sena se tla hlaha e le phapang ea botenya ba bohareng ho li-wafer, le/kapa liphetoho tse nyane ho lokisoeng ha li-wafer kamora ho matha nako e telele. Sehlopha se seng se setle se ne se bile le kholo e sa tsitsang ea epitaxy kamora ho etsa tlhokomelo, 'me sa fumana ka tlhahlobo hore ho entsoe phetoho ho profil ea ho futhumatsa ea kamore; ba ile ba fetola sebaka se chesang hanyane, se ileng sa thibela khase e leka-lekaneng disk ho sebetsa kamoo e lokelang ka teng ka mocheso o sa lekanang.

E le ho fokotsa ho se tsitse ha disk e tsamaisang, basebetsi ba tla ela hloko lintho tse tharo tsa bohlokoa: liprofaele tse tsamaellanang tsa likarolo tsa hitara, phallo e tsitsitseng ea khase ka morao, le liphetoho life kapa life tse bang teng ha lesale la O-ring la kamore le holim'a disk.

Ho Ntlafatsa Moralo oa Diseke e Phaphametseng ea Khase bakeng sa Tšepo ea Thermal ea Nako e Telele

Ho rala diski e phaphametseng ea khase bakeng sa tšebeliso bakeng sa lipotoloho tse ngata sesebelisoa sa epitaxy hangata ho kenyelletsa ts'ebetso ea mocheso. Hase feela hore e lokela ho sebetsa mochesong o phahameng, e tlameha ho etsa joalo kamora ho matha ha 100 ho isa ho 1000, ntle le ho tsoa butle-butle. Khetho ea thepa ke ea bohlokoa mona. Thepa ea substrate e tlameha ho khona ho feta potolohong ea mocheso ntle le ho hlahisa boemo bo boholo ba khatello ha nako e ntse e ea. Khatello e tla bokellana haeba thepa e na le li-coefficients tse phahameng 'me e feta lipotolohong tse potlakileng tsa mocheso. Katoloso ea mocheso oa substrate le eona e tlameha ho tsamaellana hantle le overcoat. Tikolohong e ntle esita le ho se lumellane ho honyenyane ha mocheso pakeng tsa thepa ho tla eketseha ha nako e ntse e ea 'me disk e tla sotha, leha qalong e ka shebahala e le ntle. Moralo oa Overcoat le oona o bohlokoa ka ho tšoanang. Seaparo se lekanang sa CVD TaC ho pholletsa le disk se tla e thusa ho monya mocheso ka ho lekana holim'a bokaholimo ba eona. Haeba seaparo se na le botenya bo fapaneng se tla ba le sekhahla se fapaneng sa karabelo ea mocheso holim'a bokaholimo, se baka khatello e bakoang ke mocheso e tla sotha disk ha nako e ntse e ea. Ho lumeloa hore lihlopheng tse ling tsa tlhahiso sena se ka etsahala ka nako e telele ha li-disk li fetoha butle-butle ho tloha sebopehong se bataletseng ho ea sebopehong se nang le dome. Litšobotsi tsa jeometri le tsona li bohlokoa haholo. Ho kheloha leha e le hofe pateroneng ea lesoba, botenya ba moeli, libaka tsa tšehetso, le likarolo tse ling, ho ka fetola boitšoaro ba phallo ea khase tlas'a disk. Phallo e sa ts'oanang e ka etsa hore disk e phahame ka ho se lekane tlas'a maemo a ts'ebetso, e leng se hlahisang khatello e eketsehileng nakong ea potoloho ea mocheso, e leng se tla potlakisa ho tsofala. Mohlala oa moralo o ntlafalitsoeng o sebetsang tlas'a khatello ea mocheso o bonoe moleng oa SiC epitaxy; pele ba fetohela moralo oa disk o ntlafalitsoeng, ba ne ba e-na le ho sisinyeha ho hoholo ha boemo kamora ho matha nako e telele. Ha ba fetohela ho disk e nang le liteishene tse ntlafalitsoeng tsa phallo, ho sisinyeha ho ile ha fokotseha, kaha boemo ba ho phahamisa disk bo ne bo bolokiloe ka nepo ho pholletsa le ts'ebetso joalo ka ha ho netefalitsoe ke liteko tsa tlhokomelo ea nako e telele tsa li-disk tsa pele le tse ntlafalitsoeng. Ho tšepahala ha mocheso ho boetse ho itšetlehile ka litšobotsi tsa ho pholisa. Haeba disk e sa pholise ka ho lekana, sena se ka "koalla" khatello 'me ka lebaka leo sa baka ho senyeha ho eketsehileng ka ho potoloha. Ha e le hantle ho batalla ha nako e telele ho fumanoa ka ho fihlella tekano pakeng tsa ts'ebetso ea thepa le ho roala le phallo ea khase e entsoeng ka har'a disk.