Tlhokomelo ea Veeco Epitaxy bakeng sa Bophelo ba Karolo e Telele e Koahetsoeng ke SiC

Ka mochini oa Veeco chip, Ho roala ka cvd Likarolo li lula li pepesetsoa mocheso, plasma le phallo ea khase nako le nako ha li ntse li matha. Butle-butle khatello ena e fetola bokaholimo ba likarolo ha nako e ntse e ea leha li ntse li sa bonahale li phethahetse. Limela tse ngata li fumane hore liphetoho tse nyane ponahalong ea lesela, li fella ka litšila tse ngata tse lerōle, ho feto-fetoha ha mocheso le keketseho ea ho hloekisa mochini. Mohala oa tlhahiso o fumane hore ka ho fetola nako ea ho hlatsoa likarolo feela ho thibetse ho tsofala pele ho nako ha lijari, 'me ho fella ka ho sebetsa ka botsitso nako e telele. Ka ho sebelisa mekhoa e nepahetseng ea tlhokomelo, CVD TaC 'me Cvd joalo Likarolo tse koahetsoeng ke karolo e tšepahalang le e tšoarellang nako e telele e netefatsang botsitso ba mochini le botsitso ba liphetho.

Malebela a Tlhokomelo e Thibelang bakeng sa Lisebelisoa tsa Veeco EPIK Epitaxy

Bophelo bo botle ba nako e telele bakeng sa mechini ea Veeco bo itšetlehile haholo ka lintho tse nyane tseo u li etsang khafetsa ho fapana le litokiso tse kholo. Ho hloleha ho hongata ha ho koahela ho etsahala butle-butle 'me ho khona ho hlokomela matšoao a temoso ho na le tšusumetso e kholo. Ho hloekisa le ho hlahloba likarolo le li-liner khafetsa kamora ho matha ka makhetlo a itseng ke mokhoa o molemo haholo ho feta ho emela hore likarolo li hlolehe.

Phapang efe kapa efe e nyane maikutlong a bokaholimo kapa phetoho ea 'mala e bontša hore ho na le lesela le ka sebelisoang haholo. Setsi se seng se bile le mathata a mocheso ka lebaka la ho se etse tlhahlobo ea kamehla ea likarolo le liner ebe se khona ho lokisa mathata ana a mocheso ka ho hloekisa le ho leka-lekanya hape.

Mokhoa oo likarolo li hloekisoang ka oona le oona oa bohlokoa. Lik'hemik'hale tse matla kapa lintho tse hloekisang le ho hloekisa ho feteletseng li tla baka ho hloleha ha ho koahela ka potlako haholo. Mekhoa ea ho hloekisa e bonolo le e nepahetseng haholoanyane e sebetsa hantle haholo haholo-holo likarolong tse tsamaisoang mochesong o phahameng. Basebetsi ba bang ba atisa ho sebelisa lintho tse hloekisang tse bobebe ha mochini o sebetsa hantle ka mokhoa o amohelehang 'me ba chechisa ts'ebetso ea ho hloekisa e tebileng ho fihlela ho hlokahala ka botlalo.

Phallo ea khase e ka ba mokhoa o mong o lebetsoeng oa tlhokomelo 'me leha ho ka bonahala e se oa bohlokoa, phallo ea khase e sa leka-lekanang e tla lebisa libakeng tse chesang tse robehang ho tloha likarolong. Tlhahlobo e potlakileng ea sensor pele le ka mor'a ho matha e tla thibela ho hloleha ho joalo. Mehato ea ho pholisa ha ea lokela ho potlakisoa ho hang. Karolo e sa pholisoang hantle e tla haha ​​​​khatello pakeng tsa thepa ea karolo le ho koahela. Ho lelefatsa mohato oa ho pholisa ka metsotso e seng mekae e eketsehileng nakong ea ho matha ho maphathaphathe haholo ho fumanoe ho thibela mapetso a manyenyane haholo likarolong setsing se le seng.

Ho boloka lirekoto tsa lintho tse hlokometsoeng, liphetho le mekhoa ea boitšoaro le hona ho molemo haholo ho lebelleng ho hloleha ha karolo ka lebaka la ho senyeha ha lesela. Ka boitlamo ba tlhokomelo ea kamehla, mochini ha o na monyetla oa ho hloleha haholo 'me likarolo li nka nako e telele.

Kamoo Likarolo tsa Veeco li Amang Botsitso ba Tlhahiso le ho Tšoana ha Ts'ebetso

Ha lisebelisoa tsa hau li ntse li tsofala, lintho tse setseng li fetola botsitso butle-butle. Lintho tse kang masale a carrier, li-liners le lipoleiti tsa khase li ka bonahala li le bonolo haholo empa boemo ba tsona bo ikarabella ka ho toba bakeng sa ho fetola tekanyo ea mocheso le phallo ea khase. Liphetoho tse nyane boemong ba karolo e le 'ngoe e setseng li tla fetola tsela eo mocheso o namelang ka eona.

Re bone mohlala o mong oa ho fokotseha butle-butle ha chai ho tsoa mathōkong a ka ntle a li-wafer, e leng se ileng sa amahanngoa le ho kheloha ha risepe empa hamorao sa fumanoa e le ho se lekane ha mocheso ho bakoang ke masale a koahetsoeng a koahetsoeng ka lebaka la likarolo tse ling tse sa hlahisoang hantle. Hang ha likarolo tsa boleng bo holimo li se li kentsoe hape, tekanyo ea mocheso e ile ea tsosolosoa 'me lihlahisoa tsohle tsa hlaphoheloa.

Taba e tšoanang e sebetsa le likarolong tsa phallo ea khase. Karolo e bonolo ka ho fetisisa joalo ka hlooho ea shaoara ea khase e ka kobeha hanyane kapa ea koaloa ka tsela e sitisang phallo ea khase ho pholletsa le kamore 'me ka hona ea ama botenya ba sekoahelo sa wafer. Sebakeng se seng ba hlokometse hore botenya ba wafer bo ne bo ntse bo fetoha ho tloha ka letsohong le letšehali ho ea ho le letona, sesosa se fumanoeng e ne e le poleiti ea khase e senyehileng e neng e sebelitse lihora tse ngata haholo.

Ho sebelisa likarolo tse tšoanang hohle ho tla thusa ho thibela mofuta ona oa ho falla. Ho sebelisa likarolo tse lumellanang le lisebelisoa tsa pele ho latela litlhaloso tsa pele ho bolela hore lisebelisoa li tla lula li sebetsa ka tsela e tšoanang le ka mor'a tokiso e 'ngoe le e 'ngoe. Polokelo le ts'ebetso ea likarolo tse ling le tsona lia ba bohlokoa. Karolo e koahetsoeng e lutseng tikolohong e bulehileng ea laboratori ka nakoana e tla hohela lerōle.

Dikarolwana tse nyane sebakeng sena di ka fetoha diphoso ka potlako tshebetsong ya mocheso o phahameng. Difeme tse ngata jwale di boloka dintho tsohle tsa tsona tse setseng ka dijaneng tse kwetsweng, tse bulwang feela ho fihlela nako ya ho kenya karolo ka hara sesebediswa.

Kemiso ea lintho tse setseng le eona ea bohlokoa - e siuoa ke nako haholo 'me e baka phetoho e sa bonahaleng ea liphetho, empa e kenngoa kapele haholo 'me chelete ea senyeha. Tekanyo e ntle e ka finyelloa ho latela lihora, licheke tse potlakileng.

Mekhoa ea ho Hloekisa e Fokotsang ho Tsoaloa ha Likarolo tse koahetsoeng ke CVD SiC

Ho leka-lekanya likarolo tsena tse koahetsoeng bakeng sa ho hlwekisa ho itšetlehile ka sena. U tlameha ho tlosa ho bokellana ho sa feleng ha u ntse u boloka kobo ea hao e boreleli ebile e sa tsoa kotsi. Haeba e hloekile haholo, bokaholimo ba karolo boa senyeha kapele, haeba e le bonolo haholo ke ntho e tloaelehileng hore masala a bokellane ho isa bohōleng bo tenang le ho senya ho matha ha hao.

Mealo ea lik'hemik'hale tse setseng e tla koahela karolo ea hau butle-butle ha nako e ntse e ea e le filimi e tšesaane ea masala nakong ea ho chesa. Le hoja sena e le ketsahalo ea tlhaho, bothata bo hlaha ha u qala ho tlosa lesela karolong eo.

Mokhahlelo oa pele ts'ebetsong ea ho hloekisa ka mokhoa o sireletsehileng ke ho hloekisa ka omileng. Ho hloekisa mocheso le khase ho lumella ho tlosoa ho sa senyeheng ha pokello e bonolo ea masala e ka bang tharollo e ntle ea pokello e bonolo e ka bang teng kamora nako e khuts'oane ka khanya e bokellaneng.

Maemong afe kapa afe a ho hlwekisa metsi, ho ina ka lik'hemik'hale ho molemo ho feta ho hlapa ka asiti. Lihlopha tse 'maloa li sebelisa lik'hemik'hale tse noselitsoeng tse nang le linako tse fokolang tsa ho qoela. Setsi se seng se tlalehile hore ho khutsufatsa linako tsa ho qoela ka hanyane feela ho eketsa bophelo ba karolo ka likhoeli hobane lesela ha le lahleheloe ke khanya ea lona.

Mokhoa oa 'mele ke karolo e 'ngoe ea bohlokoa ea ho boloka sekoahelo. Li-pad tsa ho seha, liborashe tse thata, kapa li-spray tsa metsi tse nang le khatello e phahameng li ka hlahisa mengoapo e menyenyane holim'a sekoahelo seo ka mor'a moo e bang mehloli ea lerōle nakong ea potoloho ea sekoahelo. Mehato e nepahetseng ea ho hlatsoa le ho omisa le eona ea bohlokoa haholo; masala a lintho tse hloekisang tse setseng a tla ja sekoahelo sa hau mochesong o phahameng.

Ho hlatsoa ka metsi a hloekileng ho lateloang ke mokhoa o lekanang oa ho omisa ho lokela ho etsa joalo. Tsela e 'ngoe eo limela tse ling li sebetsang ka eona ke ho arola mekhoa ea tsona ea ho hloekisa ho latela boemo ba ho tsofala; ho bokellana ha lintho tse bobebe ho tla sebelisa ho hloekisa ho bonolo 'me ho bokellana ho matla ho tla sebelisa ho hloekisa ka matla ho qoba ho hloekisa likarolo tse lekaneng ka ho sa hlokahaleng.

Ho Atolosa Bophelo ba Susceptor ka Tsamaiso e Ntlafalitsoeng ea Thermal

Lijari tsa litsamaiso tsena li etsa mosebetsi o boima haholo. Lisebelisoa tsena li sebakeng se chesang ka ho fetisisa, li koahela li-wafer 'me li loanela ho boloka mocheso o tšoana hantle. Boholo ba likarolo tsena bo senyeha haholo ka lebaka la khatello ea mocheso, eseng ka lebaka la ho li tšoara kapa ho li hloekisa. Maemo a mocheso o tsitsitseng ke ntlha ea bohlokoa bakeng sa ho ntlafatsa bophelo bohle.

Liphetoho tse potlakileng kapa tse sa tsitsang tsa mocheso li baka katoloso e sa lekanang ea thepa ea substrate le sekoahelo. Sena se baka likhatello tse kholo tsa kahare. Setsi se seng sa tlhahiso se bone mapetso a pele ho nako, hobane mocheso oa bona oa hoseng o ne o potlakile haholo ka lebaka la mojaro oa mosebetsi, 'me se ne se laola nako ea tsona ea ho futhumatsa.

Ho fokotsa mocheso/nako ea ho pholisa mocheso ho ile ha felisa khatello ea mocheso karolong eo hanyane. Phetoho ena e nyane e bile le tšusumetso e nyane ho fetiseng ha tsona, ha ka nako e ts'oanang e lelefatsa bophelo ba libaka. Esita le ho ata ha mocheso le hona ho bapala karolo. Haeba likarolo tse itseng tsa sesebelisoa sa ho jara mocheso li lula li chesa, likarolo tsena li tla senyeha kapele 'me li senye liphetho tsa wafer pele ho ka bonoa ho senyeha ha bokaholimo bo bonahalang.

Ho hlahloba boemo ba mocheso khafetsa ho ka lemoha mathata a mocheso o sa lekanang habonolo. Tsena hangata ke litholoana tsa ho se lumellane ho honyenyane, phallo ea khase e sa lekanang kapa li-heater tse senyehileng. Taolo ea nako ea ho pholisa le eona e bohlokoa ka ho tšoanang. Ho tlosa likarolo kamora potoloho e chesang kapele haholo ho tla lebisa ho huleng ha lesela la thepa e ka tlase. Ho liehisa nako ea ho pholisa ho felisa khatello e feteletseng ea ka hare. Lihlopha tse ling tsa tlhahiso li khona ho otlolla linako tsa ho pholisa feela nakong ea mosebetsi o mongata.

Litšenyehelo tsa nako e eketsehileng ea ho pholisa bakeng sa likarolo tse ngata li nyane haholo, empa li eketsa haholo bophelong ba tsona. Leano le leng le molemo la ho lelefatsa bophelo ba sesebelisoa, le likarolo tse ling, ke ho qoba liphetoho tse felletseng tsa mocheso oa matla neng kapa neng ha ho khoneha. Ho sebetsa mochesong o itekanetseng nakong ea ho se sebetse ho e-na le ho khutlisetsa sistimi mochesong hang-hang bakeng sa ho emisa hanyane ho tla fokotsa haholo ho tšoha ha mocheso.

Ho Khetholla Tšenyo ea Bokaholimo Pele ho Tšilafalo ea Likaroloana

Kahoo, tshenyo ya bokahodimo hangata e qala ka lenyele, pele e baka bothata bo boholo ba lerōle ka hare ho mochini. Bothata ke hore qalong feela, ho tsofala ho tla bonahala ho se kotsi ho wena, empa ho ntse ho sitisa botsitso ba tshebetso ya hao ka lenyele. Ntlha ya pele e tla ba tahlehelo ya polish (kapa kganya ya bokahodimo).

Lesela le letle le tla shebahala le boreleli ebile le benya tlas'a leseli, empa ho qala ho roala ha lesela ho ka bonahala ho le lerootho kapa ho na le matheba a benyang a sa tloaelehang holim'a metsi. E mong oa basebetsi moleng o ile a bona lesale le lenyenyane le kang lebese karolong e 'ngoe ka mor'a ho hloekisa 'me a se ke a tsotella ho fihlela libeke tse 2 hamorao, palo ea lerōle sebakeng seo e ile ea eketseha haholo.

Ho bokellana ho sa lekanang e ka ba leseli le leng. Lerōle le setseng le sekametseng ho bokellana ho feta sebakeng se itseng ke leseli le leng, le u bolella hore sebaka sena se qalile ho ba makukuno. Ho bolela hore ho bokellana ha metsi ha ho oe habonolo, ho fapana le bokaholimo bo botle le bo boreleli.

Liphetoho tsa mocheso le tsona li ka u bolella ho hong; phetoho e nyane mochesong o ts'oanang ho pholletsa le wafer e ka bolela hore bokaholimo ha bo sa bapala karolo ea bona hantle, nako e telele pele u ka bona tšenyo e kholo.

Ha re batle ho ama likarolo (kaha ka sebele ho tla qala lerōle), empa u ka hlahloba likarolo tseo ka tsela e sa tobang. Mohlala, haeba e ba telele haholo hore karolo e itseng e hloekisoe ka mokhoa oa hau o tloaelehileng, hangata ho bolela hore bokaholimo bo fetohile 'me ha bo lekane hona joale.

Ho beha leihlo palo ea lerōle ka har'a mochini ke e 'ngoe ea mehato e tšepahalang ka ho fetisisa ea tšireletso eo u ka e sebelisang, esita le keketseho e nyane e liehang ha ea lokela ho mamelloa. Sehlopha se seng se ile sa sibolla ho hloleha ha liner mohatong oa pele ka lebaka la ho bona mokhoa o liehang haholo oa ho nyoloha ka makhetlo a 'maloa ho fapana le ho emela alamo e matla ea mochini o robehileng.

Ho boloka le ho sebetsana le likarolo ke ntlha ea bohlokoa kaha ho ngoapa hanyane holim'a thepa e thata ho ka fella ka mohloli o moholo oa lerōle ha ho chesa. Ke ka lebaka leo u bonang mechine e mengata e nang le literei tse khethehileng tse bonolo bakeng sa polokelo ea likarolo.