Ho Lekola Matla a ho Khomarela a CVD TaC le Likotsi tsa ho Hloekisa

Bakeng sa ho roala ka ho khetheha holim'a graphite, CVD TaC 'me Ho roala ka cvd Likarolong tsa mechini e etsang li-chip tse nang le mocheso o phahameng, ts'ebetso ea ho kopanya karolo e bohlokoa haholo bophelong ba likarolo. Ho kopanya ho fokolang ho baka mapetso le ho petsoha ho honyenyane lits'ebetsong tsa mocheso le pholiso, ho hlahisa litšila kapa tšireletso e sa lekanang le ho hloleha ha ts'ebetso. Likarolo tse ngata li shebahala hantle ha li qala fekthering 'me lehlakore la tsona lea petsoha kamora ho sebelisoa ka makhetlo a' maloa. Ka hona, matla a ho kopanya a lokela ho lekoa pele likarolo tse sebelisoang fekthering ho qoba ho hloleha ho sa lebelloang mechineng.

Liteko tse Tloaelehileng tsa ho Khomarela bakeng sa ho Koahela CVD TaC ho Graphite Substrates

Ho fumana matla a lekanyelitsoeng, liteko tse 'maloa tsa boleng li etsoa lifekthering; ea pele ke teko ea ho ngoapa. Mona, ntlha ea daemane e huloa holim'a sekoahelo tlas'a matla a ntseng a eketseha, haeba filimi e petsoha, e phatloha kapa e phutholoha ho tloha lera la graphite pele ho nako e bontša ho khomarela ho fokolang. Ena ke teko e bonolo empa e bontša liphetho tse hlakileng pele likarolo li kena tšebeletsong.

Teko e 'ngoe e potlakileng ke teko ea theipi moo theipi e khomaretsang e sebelisoang filiming ebe e tlosoa; haeba li-flakes li tsamaea le theipi, tlamo le motheo oa graphite e ka 'na ea fokola. Ena ke teko ea pele e potlakileng e sebelisoang lilaboratoring pele ho liteko tse thata haholoanyane.

Ho futhumatsa le ho pholisa khafetsa le hona ho tumme haholo, hobane ts'ebetso ena e etsisa ts'ebeliso ea 'nete hantle. Li-coat tse thata ha li bontše litlamorao tse mpe, ha li-coat tse fokolang li qala ho petsoha kapa ho petsoha moeling. Boemong bo bong ba fektheri, li-coat li ile tsa hloleha tlhahlobong ea bobeli kamora ho futhumatsoa khafetsa (ho petsoha mathōkong) leha sena se ne se bakoa ke tšilafalo ea substrate pele e sebelisoa.

Teko ea ho hula (moo stud e khomaretsoang ho koahelo ebe e huloa ho fihlela substrate e ikhula ho eona) ke teko e 'ngoe, e fanang ka boleng ho continuum, e ntle bakeng sa ho bapisa lihlopha empa e ka nka nako e telele ho e etsa. Teko ea ho kenella e sebelisoa e le teko e bonahalang le e ka baloang, moo ntlha e thata e khannoang ho koahelo 'me boholo ba ho thehoa ha mapetso bo lekanngoa. Haeba e etsoa hammoho ka nepo, liteko tsena li netefatsa botšepehi bo botle ba koahelo.

Matšoao a Temoso ea Pele a ho Peela ha TaC Coating Litšebelisong tsa Epitaxy

Mefuta ena ea mechini e na le makhetlo a fokolang haholo moo karohano ea ho koahela e etsahalang ka tšohanyetso. Hangata phetoho e nyane e etsahala karolong eo, e sa hlokomeloeng. Phetoho ea 'mala oa ho koahela e hlaha kapele haholo. Ho koahela ho hocha ho lokela ho bonahala ho lekana ebile ho boreleli empa tlas'a khatello karolo e 'ngoe e bonahala e le lerootho ka 'mala, haholo-holo ka mathōko, likhutlong le libakeng tse nang le mocheso o phahameng.

Hangata ho boetse ho na le ho phahamisa ho honyenyane haholo ho bonahalang joaloka lera le emeng la ho penta meeling haeba ho shejoa leseling ka sekhutlo se nepahetseng kapa ka ho holisa ho hoholo. Moleng o mong oa fektheri mosebetsi oa ho hloekisa o ile a hlokomela likaroloana tse nyenyane tsa lerōle haufi le moeli oa karolo, 'me a fumana hore ho phatloha ho se ho qalile moqomong.

Mapetso a moriri le ona a bontša bothata. Mapetso a pele a matle ebile a ka holimo 'me a hlaha libakeng tse nang le khatello ea mocheso, qetellong a hokahana ho theha libaka tse kholo tsa ho phatloha ha lepetso haeba lepetso le sa lokisoe. Matšoao a mang a poteletseng a kenyelletsa maemo a eketsehileng a likaroloana kapa lerōle ka har'a kamore.

Leha ho se na sekoli se bonahalang se ka bonahalang hodima lesela, dikarolwana di ka qhala lesela nakong ya tshebetso mme di ka bonwa hodima di-monitor pele ho hloleha ho hoholo. Ho kgopama ho ka eketseha, ha lesela le kileng la ba boreledi le hlahisa ponahalo ya makumane ka lebaka la ho senyeha ha lera le ka hodimo la lesela.

Hobane phoso e nyane e ka fetoha ho hloleha ho hoholo ho behang boleng kotsing mme ho hloka nako ya ho se sebetse ha mochini, ho hlwaya matshwao ana a pele ho bohlokwa.

Litlamorao tsa ho Potoloha ha Thermal ho Likarolo tsa Epitaxial tse koahetsoeng ke CVD TaC

Kaha likarolo tse koahetsoeng li futhumatsoa khafetsa le ho pholisoa motšehare, ho na le likhatello tse matla haholo tse hlahang holim'a sekoahelo ka nako. Ha likarolo li futhumatsoa, ​​sekoahelo le graphite lia atoloha, empa ka lebelo le fapaneng. Kahoo, potoloho e 'ngoe le e 'ngoe ea mocheso e ba le khatello pakeng tsa lisebelisoa tse peli tse hokahaneng. Ha karolo e phola, khatello e retelehela ka lehlakoreng le leng. Potoloho e le 'ngoe ea ho futhumatsa le ho pholisa e ke ke ea baka tšenyo efe kapa efe, leha ho le joalo nakong ea makholo a potoloho e joalo khatello e nyane ea ka hare e hlaha.

Sekoahelo se ne se tla ba boreleli ebile se tsitsitse, empa ka mor'a ho potoloha khafetsa ha liphetoho tsa mocheso libaka tse nyane tsa khatello li ne li tla hlaha mathōkong a bohale kapa ho futhumala ho sa lekanang. Bohareng ba karolo bo ne bo tla lula nako e telele, karolo e ka ntle e ne e tla senyeha ka lisebelisoa tsa 'nete. Lekhalo le lenyenyane moeling oa likarolo ke mohlala o tloaelehileng, ka mor'a tšebeliso e mengata le ne le tla hlaha moeling 'me le ne le tla qala ho hola ha khatello e e qobella ho arohana kamora potoloho e 'ngoe le e 'ngoe ea mocheso 'me matheba a manyenyane a ne a tla petsoha.

Ka ho futhumatsa le ho pholisa khafetsa, matrix ea kahare ea lesela ea fela, hoo likarolo tse 'maloa li ka fetang teko ea pele, leha ho le joalo ka mor'a tšebeliso e telele (likhoeli tse' maloa) li ntse li ka senyeha. Tabeng e 'ngoe, likarolo li qalile ho petsoha ka mor'a lipotoloho tse makholo a 'maloa ka lebaka la ho futhumatsa ka potlako ho bakang khatello e kholo haholo ho fapana le ho futhumatsa butle.

Mekhoa ea ho Phekola Bokaholimo Pele ho Ntlafatsa Matla a ho Kopanya Liaparo

Ho na le tokisetso e kholo e lokelang ho etsoa likarolong tsa graphite pele ho sebelisoa mofuta ofe kapa ofe oa ho roala kahoo lera lea tlamahana. Tokisetso e mpe holim'a ho roala ho hotle e tla fella ka ho roala ho sa sebetseng kapele haholo. Ho hloekisa ka botebo karolo ea graphite ke karolo e 'ngoe ea tokisetso ena. Graphite e tšoasa lerōle le lenyenyane haholo, oli e setseng, kapa likaroloana tsa ho sebetsa ka har'a masoba a eona. Lintho tsena li thibela ho roala ho kopana ka ho toba le setsi.

Esita le filimi e nyenyane haholo ea oli e tla etsa libaka tse fokolang tlamong, e leng se tla fetoha libaka tseo ho petsoha ho qalang ho tsona. Hangata litharollo tse khethehileng tsa ho hloekisa lia sebelisoa kapa ka linako tse ling karolo e besoa ka ontong ho tlosa masalla afe kapa afe a tebileng.

Se latelang ke ho netefatsa hore bokaholimo bo ferekane hanyane ho eketsa ho tshwara hantle hoo kobo e tla ba le hona ho feta haeba bokaholimo bo ne bo le boreleli ka ho phethahetseng. Sena hangata se finyelloa ka ho qhaqha lehlabathe kapa ho laola disebediswa tsa mochini ho fihlella bokaholimo bo bataletseng empa bo tsitsitse hore kobo e "hokele" ka mechine, kapa ka ho sebedisa dikalafo tsa plasma tse hlaselang bokaholimo ba graphite ka motsotsoana ka kgase ho bo kenya tshebetsong le ho bo etsa hore ka dikhemikhale bo tsamaisane le disebediswa tsa kobo ha bo ntse bo se na ditlamorao tse mpe sebopehong sa substrate.

Mekhoa ea ho phekola ka mocheso ea likarolo tsa graphite e sebelisoa pele ho pente, kaha ho baka karolo ka mocheso o phahameng ho ka leleka likhase tse tšoasitsoeng ka har'a thepa. Likhase tsena li ka 'na tsa tsoa ha pente e ntse e beoa, e leng se etsang sebaka se loketseng bakeng sa sebaka se fokolang kapa blister tlas'a pente. Mekhoa ena ka kakaretso e kopantsoe.

Tlhahlobo ea ho hloleha ha masale a koahetsoeng ka TaC a sebelisitsoeng lits'ebetsong tsa LPE (ASM)

Masale a graphite a koahetsoeng a sebetsa tlas'a maemo a feteletseng ho kenyeletsoa mocheso o phahameng, phallo e phahameng ea khase, le lipotoloho tsa mocheso. Mekhoa ea ho hloleha ha masale a graphite a koahetsoeng hangata e amahanngoa le khatello ea ho koahela, boleng ba bokaholimo le mokhathala oa mocheso.

Ho arohana ha mahlakore moo ho koaheloang ho atisang ho arohana ho tloha mahlakoreng a mahlakore a bohale le karolo e tšesaane kaha li pepesetsoa sekhahla se potlakileng sa ho pholisa le ho futhumatsa ha li bapisoa le likarolo tse kholo. Kamora ho qalisoa ha ho phahamisoa mahlakoreng, ketsahalo ena e hola ka mokhoa o tšoanang le zipper e butsoeng mahlakoreng.

Ho phatloha ho honyenyane ho ka etsahala bokaholimong ba kahare moo phallo ea khase e leng matla haholo 'me e hlahisa libaka tse chesang sebakeng seo. Ho ile ha fumanoa lerōle le letšo le lesesaane tsamaisong e 'ngoe e amanang le mapetso a masesaane leboteng le ka hare la selikalikoe. Ho hloleha ha khokahano ea sehokelo ke mokhoa o mong oa motheo; ho khomarela ho fokolang ka tlas'a lera ho bakoa ke ho petsoha ha sebaka se seholo ka tšohanyetso hangata ho tloha holim'a metsi a sa hloekisoang hantle kapa likhase tse tšoasitsoeng sehokelong se atolohang.

Ka lehlakoreng le leng, ho potoloha ha mocheso ka potlako ho baka ho tshoha ha mocheso moo kgatello ya mocheso e ka bokellanang ka potlako sebopehong sa ho roala/base. Mokgweng o mong wa tlhahiso, lesale le ile la nka dikgwedi tse mmalwa feela. Le hoja qalong ho ne ho bonahala ho tlwaelehile, boemo ba dikarolwana bo ile ba eketseha butle-butle mme ha ho tloswa karolo e kgolo ya ho roala e ne e se e kgaohane haufi le dintlha tsa ho hokela.

Ho hloleha hona ho bakiloe ke ho futhumatsa ho sa lekanang le ho hlwekisa hantle ha mathoko pele ho pente. Le hoja ho hloleha hangata ho hola ka lebaka la diphoso tse nyane ha nako e ntse e ya, tlhahlobo ya kamehla le mocheso o tsitsitseng wa ho futhumatsa e ka ba mehato e metle ya thibelo kgahlanong le ho hloleha ha mofuta ona.