Kamoo Matsoho a Robotic a SiC Ceramic a Ntlafatsang Taolo e Nepahetseng le e Silafetseng ho Li-Fab tsa Semiconductor

Tlhahisong ea li-semiconductor esita le likaroloana tse nyane haholo kapa liphoso tsa ho hokahanya li ka lebisa mathateng a tebileng joalo ka chai e tlase le nako e turang ea ho se sebetse. Ka lebaka lena lisebelisoa tse sebelisoang ho tsamaisa li-wafer li tlameha ho ba tse nepahetseng haholo le tse hloekileng. Roboto ea SiC ceramic Matsoho a ntse a tuma hobane a tiile ebile a hanela mocheso le lik'hemik'hale ha a ntse a hlahisa likaroloana tse fokolang haholo. Ho fapana le matsoho a tšepe kapa a polasetiki a ka sebetsana le lits'ebetso tse pheta-phetoang tsa mocheso o phahameng ntle le ho kobeha kapa ho lokolla litšila. Bakeng sa baenjiniere le basebetsi ba masela sena se bolela hore li-wafer li sebetsoa ka mokhoa o sireletsehileng haholoanyane lits'ebetso li lula li tsitsitse 'me tlhahiso e tsamaea hantle ka kakaretso.

Hobaneng ha SiC Ceramics e Loketse ho Sebetsana le Wafer ka ho Nepahala Haholo

Ho sebetsana le di-wafer ka fab ya semiconductor ke tshebetso e bonolo haholo hobane wafer e nngwe le e nngwe e tshesane ebile e apesitswe ka dikarolo tse ka senyehang habonolo. Esita le phoso e nyane motsamaong kapa sebakeng se itseng e ka baka diphoso tse fokotsang chai. Mona ke moo Roboto ea SiC ceramic Matsoho a hlahella haholo. A entsoe ka silicon carbide, matsoho ana a thata haholo mme a dula a tsitsitse esita le maemong a mocheso o phahameng, kahoo ha a kobehe kapa a atolohe jwalo ka ha matsoho a tshepe a ka etsa. Botsitso bona bo dumella di-wafer ho tshwarwa le ho tsamaiswa ka ho nepahala ho tsitsitseng nakong ya ditshebetso tse hlokang thuso tse kang epitaxy kapa etching. SiC e boetse e hanela dikhemikhale haholo, e leng ntho ya bohlokwa hobane di-wafer hangata di feta dikamoreng tse nang le dikgase tse arabelang kapa plasma. Ho fapana le ditshila tsa setso tse ka senyang kapa tsa lokolla dikarolwana, SiC e dula e sa sebetse mme e thusa ho boloka tikoloho e hlwekile, e fokotsa kotsi ya tšilafalo e ka senyang di-chip tse tswetseng pele. Boima bo bobebe ba thepa bo boetse bo dumella dienjene le di-actuator ho sebetsa ka katleho, ho ntlafatsa dinako tsa karabelo le ho fokotsa ho thothomela, e leng se etsang hore ho bewa ka nepo ho be bonolo le ho tshepahala ho feta diketekete tsa metsamao ya di-wafer. Diphetho tsa lefatshe la nnete di tshehetsa sena: ka lesela le le leng la 200mm, ho fetoha ho tloha ho matsoho a tshepe ho ya ho SiC ho kgaola ho robeha ha di-wafer ka halofo mme ho fokotse diphoso tse amanang le dikarolwana ka ho hlaka, ha tlhokomelo e se e sa atisehe ka lebaka la ho tshwarella ha thepa tlasa dipotoloho tse pheta-phetoang tsa mocheso o phahameng. Bakeng sa baenjiniere le basebetsi ba masela ba behang pele bohloeki le ts'epo e nepahetseng, matsoho a SiC ceramic a fana ka tharollo e kopanyang ts'ebetso le ho tšoarella, e bolokang li-wafer li sireletsehile le ts'ebetso e ts'oanang ntle le ho eketsa kotsi e eketsehileng.

Kamoo SiC e Felisang Tlhahiso ea Likaroloana Ha e Bapisoa le Lisebelisoa tsa Setso

Tšilafalo ea likaroloana ke phephetso e kholo ho li-fab tsa semiconductor hobane esita le lerōle le lenyenyane, tšepe, kapa lithōle li ka khomarela li-wafer 'me tsa baka likoli, haholo-holo ha likarolo tsa chip li fokotseha ho ea sekaleng sa nanometer. Matsoho a roboto a setso a entsoeng ka tšepe kapa polasetiki a ka mpefatsa bothata. Matsoho a tšepe a ka 'na a tsofala ha nako e ntse e ea, a hlahisa li-flakes tse nyenyane haholo, ha polasetiki e ka senyeha tlas'a mocheso o phahameng kapa ho pepesehela likhase tse arabelang, e ntša likaroloana ka phapusing ea ho hloekisa. SiC ceramic Matsoho a rarolla bothata bona ka tsela e fapaneng. Carbide ea silicon e thata haholo ebile e tsitsitse ka lik'hemik'hale, kahoo ha e senyehe habonolo 'me e ke ke ea lahla likaroloana tlas'a mocheso o phahameng, plasma, kapa lik'hemik'hale tse matla. Bokaholimo ba eona bo boreleli, bo sa sebetseng bo lumella li-wafer ho thella ntle le ho fumana tšilafalo, e leng habohlokoa bakeng sa lits'ebetso tse tsoetseng pele ho boloka chai le ho qoba ho lokisa lintho ka litšenyehelo tse boima. Tlhahiso ea matsoho a SiC le eona ea bohlokoa. Ho sila le ho sebetsa ka nepo ho hlahisa sebopeho se teteaneng, se ts'oanang se nang le liphoso tse fokolang tsa bokaholimo, ho etsa hore matsoho a be bonolo ho a hloekisa le ho se be lerōle. Li-fab tse fetohelang ho matsoho a SiC hangata li bona palo ea likaroloana e theoha, liphoso tsa wafer lia fokotseha, 'me potoloho ea ho hloekisa e atoloha ntle le kotsi. Tlhahisong e phahameng, sena se bolela litšitiso tse fokolang, nako e fokolang ea ho sebetsa, le boleng bo tsitsitseng ba wafer. Bakeng sa baenjiniere ba shebaneng le ho boloka li-wafer li hloekile, matsoho a ceramic a SiC a fana ka mokhoa o tšepahalang oa ho tsamaisa thepa ka mokhoa o sireletsehileng ha a ntse a fokotsa likotsi tse sa bonahaleng tsa tšilafalo.