Karolo ea Likarolo tsa Graphite ho Mekhoa e Phahameng ea Ts'ebetso ea MOCVD

MOCVD ke mokhoa o ka sehloohong oa ho etsa li-semiconductors tsa boleng bo holimo. Empa hase feela khase le mocheso—likarolo tsa graphite le tsona ke tsa bohlokoa haholo. Ba sebetsana le mocheso o phahameng, ba hanela tšenyo, 'me ba thusa ho boloka lintho li tsitsitse bakeng sa khōlo e ntle ea kristale. Haeba u batla ts'ebetso e ntlafetseng kapa nako e fokolang, ho thusa ho tseba hore na likarolo tsa graphite li sebetsa joang tsamaisong.

Hobaneng ha Graphite e le Bohlokoa ho MOCVD Reactor Design

Graphiteha se ntho e 'ngoe feela ka har'a mochini oa MOCVD - ke sebapali sa bohlokoa mabapi le hore na sistimi eohle e sebetsa joang. Libakeng tse chesang haholo moo tšepe e ka kobehang kapa e bakang mathata, graphite e lula e le matla. E khona ho sebetsana le 2000 ° C ntle le ho qhibiliha. Sena ke senotlolo ha ho etsoa lifilimi tse tšesaane bakeng sa li-LED, li-chips tsa motlakase kapa lisebelisoa tsa RF.

Ka hare ho reactor, likarolo tse kang li-wafer holders le lithebe li entsoe ka graphite e hloekileng. Li jala mocheso ka ho lekana, kahoo sephaphatha ka seng se fumana mocheso o nepahetseng. Haeba mocheso o sa lekane, filimi e ka fetoha e mpe. Ke kahoo graphite e thusang ho boloka boleng bo holimo.

Lebaka le leng la graphite e ntle bakeng sa MOCVD ke hore ha e sebetsane le likhase tsa ts'ebetso. Nakong ea kholo, likhase tse kang ammonia, hydrogen, le metal-organics li phalla ka kamoreng. Haeba likarolo tse ka hare li kopana le likhase, li ka baka tšilafalo. Empa ka seaparo sa SiC, graphite e lula e tsitsitse 'me e boloka filimi e hloekile.

Mohlala, lits'ebetsong tsa GaN-on-sapphire, li-profiles tsa mocheso tse tšoanang li bohlokoa. Baenjiniere ba bangata ba sebelisa graphite e koahetsoeng ke SiC hobane e matla, e nepahetse ebile e hanana le lik'hemik'hale. E nka nako e ngata, kahoo ha ho na tlhoko e nyane ea ho fetola likarolo, ho boloka nako le chelete.

Baqapi ba boetse ba ananela kamoo graphite e leng bonolo kateng ho mochine. Graphite e ka etsoa ka libopeho tse rarahaneng tse nang le likarolo tse thata. Sena se etsa hore ho be bonolo ho aha likarolo tse lumellanang le moralo oa hau oa reactor. Ho sa tsotellehe hore na u sebelisa sephaphatha se le seng kapa tse ngata, graphite e ka bōptjoa ho lumellana le litlhoko tsa hau tsa mocheso le khase.

Ka bokhutšoanyane, likarolo tsa graphite ha se feela tse eketsehileng-ke senotlolo sa ho fumana liphello tse tsitsitseng, tse phahameng ho MOCVD.

Thepa e Etsang Hore Graphite e Loke bakeng sa Semiconductor Deposition

Graphite ke khetho e ntle bakeng sa MOCVD hobane e ka nka mocheso o phahameng haholo. Ha ho etsoa chip, mokhoa ona o chesa haholo, empa graphite ha e qhibilihe kapa e fetola sebopeho. Sena se thusa ho boloka tsohle li tsitsitse ebile li le tlas'a taolo.

Molemo o mong oa bohlokoa ke conductivity ea mocheso. Graphite e tsamaisa mocheso kapele le ka ho lekana, kahoo li-wafers li chesa ka ho tšoana hohle. Haeba mocheso o sa lekane, filimi e ka hōla hampe. Graphite e thusa ho boloka mocheso o tsitsitse ka har'a sephaphatha.

Graphite hape ka tlhaho ha e sebetse, e thusang ho fokotsa likotsi tsa tšoaetso. Graphite e tala e ka senyeha kapa ea senyeha ha nako e ntse e ea. Empa likarolo tse ngata tsa MOCVD li fumana a silicon carbide (SiC) ho roala. Ho roala hona ho boloka graphite e le matla le ho thibela tšenyo e bakoang ke lik'hemik'hale. E etsa hore likarolo li tšoarelle nako e telele 'me li hloke ho lokisoa ho fokolang.

Lebaka le leng leo ka lona graphite e sebetsang hantle ke matla a eona a mochine tlas'a khatello e phahameng ea mocheso. Lisebelisoa tse ling li fetoha brittle kapa tse phunyang ha li pepesetsoa ho futhumatsa le ho hatsela khafetsa. Graphite e lula e le matla 'me e boloka sebōpeho sa eona le ka mor'a mekhoa e mengata ea ts'ebetso. Sena se etsa hore e be molemo bakeng sa tšebeliso ea nako e telele.

Holim'a moo, graphite e bonolo ho e etsa ka libopeho tse rarahaneng. Graphite e ka bōptjoa hore e lekane hantle likarolo tse kang li-susceptors, li-wafer holders, kapa lithebe. Sena se thusa ka meralo e mecha le lintlafatso tse bonolo.

Graphite e sebetsana le mocheso hantle mme e o ala ka ho lekana. E hanela lik'hemik'hale, e matla, 'me e kobeha habonolo. Sena se etsa hore e be ntle bakeng sa mosebetsi oa semiconductor.

Semixlab's High-Purity Graphite Solutions for Complex MOCVD Litlhoko

Mosebetsing o thata oa MOCVD, likarolo tse tloaelehileng hangata ha li sebetse hantle. Ke moo Semixlab e thusang teng. Ba etsa likarolo tse hloekileng tsa graphite tse sebetsanang le mocheso le lik'hemik'hale tse matla. Likarolo tsena li etselitsoe li-semiconductors tse kopaneng.

Hore na o sebelisa GaN, AlN, kapa lisebelisoa tse ling, likarolo tsa Semixlab li nka nako e telele. Ba boloka ts'ebetso e tsitsitse ebile e ka tšeptjoa. Se khethollang Semixlab ke boleng ba thepa ea eona ea motheo.

graphite ea bona e na le maemo a tlaase a litšila, e leng se thusang ho thibela tšilafalo nakong ea mehato ea ho roala. Sena se bolela mefokolo e fokolang ho li-wafers le monyetla o motle oa ho fihlela sepheo sa lihlahisoa. Bakeng sa basebelisi ba lisebelisoa tsa MOCVD tse nang le li-wafer tse ngata, ho tšepahala hona ho ntlafatsa tlhahiso le ho fokotsa nako ea ho theoha.

Semixlab e etsa graphite e koahetsoeng ke SiC likarolo. Li matla, li hanyetsa lik'hemik'hale, 'me li bonolo ho li bōpa. Li sebetsa hantle ka li-reactors tse nang le likhase tsa tšepe le hydrogen. Ho roala ho sireletsa karolo mme ho boloka ts'ebetso e hloekile.

Molemo o mong ke ho iketsetsa. Semixlab e ka etsa graphite likarolo tse rarahaneng bakeng sa lisebelisoa tsa hau kapa li-reactor tse tloaelehileng. U hloka susceptor, dome liner, kapa thebe? Li etsa hore e 'ngoe le e' ngoe e lumellane le ts'ebetso ea hau hantle.

Basebelisi ba masela a LED le matla ba re Semixlab graphite e nka nako e telele mme e etsa hore lebelo le leng le le leng le tsitsa. Ha nako e le bohlokoa, likarolo tsena tse hloekileng li thusa baenjiniere ho boloka taolo e betere. Haeba sesebelisoa sa hau sa MOCVD se hloka ho feta likarolo tsa mantlha, Semixlab e lokela ho hlahlojoa.

Ntlafatsa Ts'ebetso ea hau ea Deposition ka Semixlab's Setsebi

Ho fumana liphetho tse ntle ho tsoa ho sistimi ea MOCVD ha se feela likarolo - ke ho li etsa hore li sebetse 'moho. Ke moo Semixlab e thusang teng. Ha li fane feela ka likarolo tse hloekileng tsa graphite. Ba boetse ba sebetsa le baenjiniere ho matlafatsa ts'ebetso, ho fokotsa nako, le ho ntlafatsa chai.

Sistimi e 'ngoe le e' ngoe ea polokelo e na le mathata a eona. U ka 'na ua tobana le mocheso o sa lekaneng, li-wafers tse kobehileng, kapa li-buildup maboteng a li-reactor. Semixlab e thusa ho fumana sesosa mme e fana ka maikutlo a liphetoho linthong kapa moralong. Ka mohlala, ba ile ba thusa masela ho fetola li-susceptors bakeng sa taolo e ntle ea mocheso. Sena se ile sa etsa hore botenya ba filimi le ho feta ho feta liphaephe.

Baenjiniere ba bona ba tseba hore likarolo tse boreleli le liphetoho tse nyenyane tsa sebōpeho li ka ama tsela eo khase le mocheso li tsamaeang ka eona. Sena se thusa ho boloka ts'ebetso e 'ngoe le e' ngoe e tšoana tlhahisong e kholo

Taba ea 'nete ke ena: Moreki ea etsang GaN-on-Si o bile le mathata a nakoana ka nako e telele. Ba sebelisitse Semixlab's boreleli graphite e koahetsoeng ke SiC karolo, e neng e boetse e hanela tšenyo e molemo. Sena se ile sa fokotsa mathata 'me sa fokotsa tlhokahalo ea tlhokomelo.

Haeba u qala seta e ncha ea MOCVD kapa u leka ho ntlafatsa ea hau ea hajoale, Semixlab e ka u thusa. Ha li u fe likarolo feela—li u thusa ho khetha tse nepahetseng. Sena se bolela ho fokotsa nako, mekhoa e hloekileng, le tlhahiso e ntle. Haeba u batla hore sistimi ea hau e sebetse hantle, tšehetso ea bona e etsa hore e be bonolo.