Se hlalosang SiC Coated Planetary Susceptor tlhahisong ea MOCVD Epitaxial

Bakeng sa tlhahiso ea MOCVD epitaxial, susceptor ea polanete e koahetsoeng ke SiC ke karolo ea bohlokoa, e tšehetsang le ho khanna wafer ts'ebetsong ea kholo. Sesebelisoa se behiloe ka kamoreng ea karabelo ea mocheso o phahameng 'me wafer e potoloha tseleng e reriloeng 'me libaka tsohle tsa wafer li ka kopana le phallo ea khase le mocheso ka ho lekana. Lera la Silicon Carbide le koahetsoe holim'a thepa ea motheo e le ho etsa hore thepa ea motheo e mamelle tšebeliso le nako e telele ea ts'ebetso. Meleng ea tlhahiso ea bongata joalo ka, mohala oa tlhahiso ea li-chip tsa LED kapa mohala oa tlhahiso ea lisebelisoa tsa motlakase, e thusa ho boloka bokaholimo ba wafer bo le boemong bo tsitsitseng le bo hloekileng. Ts'ebetso e nepahetseng e tla fokotsa sekhahla sa sekoli 'me e tla lekana sehlopha sa boleng ba filimi ho batch bakeng sa bahlahisi.

Moralo oa Polanete ea Susceptor le Karolo ea Eona Kholong e Tšoanang ea Epitaxial

Bothata bo bong bo hlahang nakong ea ho hola ha lera la epitaxial le nang le MOCVD ke ho netefatsa hore li-wafer tsohle li holisoa tlas'a maemo a tšoanang ho sa tsotelehe boemo boo li-wafer li leng ho bona ka phapusing. Sena se bonahala se le bonolo, leha ho le joalo moralo o hlokolosi o kena metsamaong ea sona. Lentsoe planetary le tsoa tabeng ea hore li-wafer li beoa holim'a disc e nyane e potolohang, ebe e beoa holim'a disk e kholo e potolohang e potolohang ntlha ea pivot - e tšoanang le kamoo lipolanete li potolohang letsatsi kateng. Sena se bolela hore ho sebelisoa ho potoloha habeli ho etsa hore ho be le ho tšoana. Haeba sistimi ena e ne e sa sebelisoe, li-wafer li ne li tla holisoa ka tsela e fapaneng ho latela boemo ba tsona holim'a susceptor, 'me tse haufi le khase e kenang le bohareng ba heater li na le sebopeho se fapaneng sa kholo ho feta tse haufi le moeli oa li-wafer. Bakeng sa sesebediswa se reriloeng, di-LED kapa di-semiconductor tsa motlakase, phello ya sena e ka ba phetoho botenya ba dikarolo tse hodileng e leng ntho e sa rateheng. Sesebediswa sa ho tjhesa hangata ke graphite empa se manehilwe ka silicon carbide, e thibelang karabelo ya sona le dikgase tsa tshebetso mme hape e thusa ho dula e boreleli nakong ya nako e telele mochesong o phahameng, e boetse e tsitsisa boleng ba sesebediswa sa ho tjhesa kaha diphetoho tse nyane tse lekanang sebopehong sa bokahodimo di ama boleng ba sesebediswa sa ho tjhesa. Moleng wa tlhahiso wa nnete jwalo ka mohala wa tlhahiso wa LED, basebetsi ba kenya di-wafer tse ngata ka phapusing e le nngwe ho boloka nako, mme ba kgona ho fumana kgolo e batlang e tshwana hodima di-wafer tsohle ba sebedisa sesebediswa sa ho tjhesa sa polanete, e leng sa bohlokwa kaha se ama hore na di-LED di kganya hakae kapa hore na sesebediswa se sebetsa hantle hakae. Mabaka a mang a kang ditsela tsa phallo ya kgase, sebaka pakeng tsa di-wafer le lebelo la ho potoloha le ona ke mabaka a moralo o motle. Ha e eba butle haholo, ho tshwana hoa fokotseha. Ho potlaka haholo ho ka baka hore tekatekano ya mocheso e ferekane. Ka tlwaelo, di-setting tsena di ntlafatswa ke moenjiniere, ho latela hore na ke thepa efe e hodiswang. Nakong ya tshebediso e tlwaelehileng, sesebediswa sa ho tjhesa sa polanete se entsweng ka bohlale se sebetsa ka kgutso le ntle le fanfare. Leha ho le jwalo, e na le tshusumetso e kgolo tlasa taolo ya tshebetso ya tlhahiso, e netefatsa hore e dula e tsitsitse ebile e ka phetwa, sehlopha ka seng.

Melemo ea Liaparo tsa SiC bakeng sa Tšoanang ea Thermal le Botsitso ba Mechine

Sekoahelo sa silicon carbide (SiC) ha se thibelo e bonahalang empa ke karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso ea susceptor ka kamoreng ea MOCVD. Maemong a mocheso o phahameng ho thata. Likarolo tsa graphite tse sa sirelelitsoeng li ka senyeha ha nako e ntse e ea ka lebaka la litlamorao tsa mocheso, likhase tse arabelang, le linako tse telele tsa ts'ebetso. Ho roala ka silika e tšoana le tšireletso, e sireletsa bokaholimo esita le ka mor'a mekhahlelo e mengata ea tlhahiso. E 'ngoe ea melemo ea eona e meholo ke bokhoni ba eona ba ho khothaletsa ho tšoana ha mocheso. Ho holisa lifilimi tse tšesaane ka ho lekana, li-wafer li lokela ho bolokoa mochesong o batlang o tšoana ka har'a kamore. Ha lera la thepa le futhumatsoa ka lebelo le fapaneng libakeng tse fapaneng, lera le kanna la se ke la tšoana. SiC e fella ka kabo e tšoanang ea mocheso holim'a bokaholimo ba susceptor. E etsa sena hobane e na le conductivity e ntle ea mocheso 'me bokaholimo ke bo tsitsitseng bo sa fetoheng habonolo ha bo futhumatsoa. ​​Sena se thusa ho fokotsa liphapang tsa wafer-to-wafer tlhahisong ea 'nete, haholo-holo ha ho sebelisoa li-wafer tse ngata ka nako e le' ngoe. Molemo o mong o moholo ke botsitso ba eona ba mechini. Ha thepa e futhumatsoa 'me e pholisoa khafetsa, ea atoloha le ho nyenyefala. Sena se ka baka mapetso a manyane kapa esita le bokaholimo bo thata thepa e fokolang ho theosa le lilemo. Seaparo sa SiC se hanela liphetoho tsena. Se lula se tiile 'me se boloka tšireletso ea graphite e ka tlase. Sena se bohlokoa lifekthering tse nang le tlhahiso e tsoelang pele le nako ea ho se sebetse bakeng sa ho nkeloa sebaka ha karolo e ka liehisa ntho e' ngoe le e 'ngoe. Boleng ba li-wafer bo ka fapana hanyane esita le lisebelisoa tsa LED kapa tsa motlakase 'me ba ba le tšusumetso ts'ebetsong ea sesebelisoa. Tšebeliso ea susceptor e tiileng e koahetsoeng ka SiC e tla fokotsa likotsi tsena ka ho boloka tikoloho e ka boleloang esale pele ka phapusing. Seaparo sena se boetse se tsejoa se na le mathata a fokolang a ts'ebetso ka tšilafalo ea likaroloana hobane se fokotsa ho tsofala ha bokaholimo ho ka hlahisang likaroloana tse sa batleheng. Ka mantsoe a sebetsang sena se fetolela ho nako e fokolang ea ho sebetsa, boleng bo betere ba wafer, le ts'ebetso e boreleli ea tlhahiso. Le hoja e se ts'ebeliso e bonahalang ka ho fetisisa, Lesale la cvd ho koahela ke karolo ea bohlokoa ea ho leka-lekana ha mocheso le matla a sebopeho, tseo ka bobeli li leng bohlokoa ts'ebetsong efe kapa efe ea MOCVD.

Ho tsamaellana le tlhahiso ea High-Volume GaN le LED

Li-susceptor tsa polanete tse koahetsoeng ka SiC li loketse tlhahiso e phahameng ea lihlahisoa tsa GaN le LED ka lebaka la bokhoni ba tsona ba ho mamella lipheta-pheta. Lihlopha tse nyane ha li hlahisoe meleng ena ea tlhahiso. Li ka 'na tsa sebelisa li-wafer tse makholo ka letsatsi, 'me li na le botenya bo haufi haholo le litlhaloso tsa ho tšoana. Phapang ea khanya ea li-LED kapa tahlehelo ea bokhoni ba lisebelisoa tsa motlakase tsa GaN e ka bonahala hamorao haeba ho na le ho kheloha ho honyenyane ts'ebetsong. Mocheso oa kholo o phahame 'me k'hemistri ea khase e matla tabeng ea kholo ea GaN. Wafer sic ho koahela ho nolofalletsa susceptor ho mamella maemo ana ntle le ho qhala le ho lokolla dikarolwana. Sena se bohlokwa hobane ho sa tsotelehe hore na tšilafalo e nyane hakae, e ka ba le tshusumetso boleng ba kristale. Seo se ka fetolela ho feto-fetoha ha tlhahiso ya lesedi ho tloha sebakeng se seng ho wafer ho ya ho se seng bakeng sa bahlahisi ba LED, e leng se fellang ka tlhahiso e fokotsehileng. Molemo o mong o mong wa susceptors e manehilweng ke SiC tlhahisong e phahameng ke hore e tsitsitse nakong ya dipotoloho tse telele. Semeleng se tloaelehileng sa tlhahiso ya LED, disebediswa di dula di sebetsa hoo e ka bang ka dinako tsohle. Dikarolo tse kobehang kapa tse senyehang ka potlako di tla hloka ho ema kgafetsa bakeng sa tlhokomelo. SiC e boloka sebopeho se tsitsitseng sa bokahodimo, ka hona e boloka sebaka sa wafer ho tloha ho matha ho ya ho matha. Ho tsitsa ho etsa hore ho be bonolo hore baenjiniere ba boloke diresepe bakeng sa kgolo ntle le ho di fetola ka dinako tsohle. Fekthering ya nnete, hangata basebetsi ba ka kenya sehlopha se felletseng sa wafer ho fumana phallo e phahameng ka ho fetisisa. Motsamao wa poleiti ya susceptor le seaparo sa SiC di netefatsa hore wafer ka nngwe e pepesetswa mocheso le kgase tse tshwanang. Sena se fokotsa phapang pakeng tsa di-wafer ka nako e itseng, boleng ba bohlokwa haeba disebediswa tse dikete di romelwa ho bareki bakeng sa ho tshwana ha tshebetso. Ntle le moo, ho na le ho boloka ditjeo tse sebetsang. Dikarolo tse manehilweng ka SiC di na le ditjeo tse hodimo qalong, empa di hloka dikgwerekgwere tse fokolang mme di ka nka nako e telele. Bakeng sa tlhahiso ya LED e nang le bophahamo bo hodimo, ntlafatso e nyane tlhahisong e tla ba ya bohlokwa ha nako e ntse e ya. Ha re akaretsa, di-susceptor tsa polanete tse manehilweng ka SiC di loketse hantle tlhahiso ya disebediswa tsa GaN le LED ka lebaka la bokgoni ba tsona ba ho hola ka tsela e tsitsitseng, e ka boelang ya ikatisa mme ka nako e telele ya tlhahiso ntle le tshitiso.

Mehopolo ea Litšenyehelo le Tšepo Khethong ea Li-Susceptor tsa Lipolanete

Ha o kgetha susceptor ya polanete bakeng sa tlhahiso ya MOCVD, ditjeo le botshepehi hangata di tsamaya mmoho. Qalong motho a ka nahana ho sheba theko ya theko feela. Leha ho le jwalo, fekthering ya nnete, ditjeo tsa ho sebetsa ka kakaretso e ka ba ntho e fapaneng. susceptor ya ditjeo tse tlase e ka sebetsa qalong empa haeba e lebisa palong e hodimo ya ho hloleha ha wafer kapa botsitso bo bobe ba wafer, tahlehelo ya tlhahiso e ka bokellana kapele ho feta susceptor e nkang nako. Disebediswa tse senyehileng, nako e eketsehileng le nako ya ho se sebetse ha mochini di bakwa ke sehlopha se seng le se seng sa di-wafer tse nang le diphoso. Ditshebedisong tse batlwang haholo jwalo ka tlhahiso ya disebediswa tsa LED kapa GaN, nako e telele ya ho se sebetse e ka baka mathata a ho tlisa. Di-susceptor tse manehilweng ka SiC di atisa ho ba le theko e hodimo ya pele empa hape di etseditswe tshebediso ya nako e telele. Lera la silicon carbide le thibela tlhaselo ya dikhemikhale le ho kgoholeha ha bokahodimo ba thepa ya motheo. Sena se tla thibela susceptor ho fetola sebopeho kapa ho senyeha nakong ya dipotoloho tse ngata tsa ho futhumatsa le ho phodisa. Haeba bokahodimo bo dula bo tsitsitse, motsamao wa wafer le mocheso wa yona le wona o tla ba o ka lebellwang haholoanyane. Botshepehi bo feta bolelele ba tshebeletso. E boetse e kenyelletsa ho tsitsa ha liphetho ho tloha sehlopheng se seng ho ea ho se seng. Maemong a tlhahiso, hangata motho o ne a tla khetha ho sebelisa karolo e hlahisang tlhahiso e tšoanang ha nako e ntse e ea ho feta karolo e nang le tlhahiso e ntle qalong. Sesebelisi se tsitsitseng se ka fokotsa tlhoko ea ho etsa liphetoho khafetsa tsa diresepe e le hore basebetsi ba boloke nako 'me kotsi ea ts'ebetso e fokotsehe. Moralo oa tlhokomelo le oona ke bothata. Ha tlhahiso e telele e tsamaea lipakeng tsa ho nkela sebaka, sesebelisi se tla tšepahala haholoanyane. Sena se nolofalletsa lifeme ho rera nako ea ho se sebetse ho fapana le ho sebetsana le ho hloleha ho sa lebelloang. Ke ntlha ea bohlokoa ho fihlelleng botsitso meleng e mengata ea tlhahiso ea LED ho boloka lipheo tsa tlhahiso. Qetellong, litšenyehelo li hloka ho nahanoa hammoho le ts'epo le ts'ebetso ea chai. Le hoja e ka ba theko e boima haholo, sesebelisi se tla nka nako e telele le ho fana ka maemo a tsitsitseng a kholo se ka fana ka boleng bo boholo ka kakaretso.