EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Semixlab e hlahisitse theknoloji e ncha e fetolang tsela eo li-chips li entsoeng ka eona. Matsatsing ana mehlala e metle ke mehele ea etching (Solid SiC). Empa bohlokoa ba tsena ke bofe Ho roala ha CVD SiC? Ha re shebeng ka botebo hore na ke hobane'ng ha li ile tsa tsebahala hakana le hore na li ntlafatsa ho etsa li-chips joang ka 40%.
Karolo ea Lichelete tse Ntle tsa SiC ho Etsa Li-Chips
Mehele e joalo e tiileng ea SiC e bohlokoa haholo ha ho etsoa li-chips, kaha e tšoarella haholo ebile e khona ho mamella mocheso. Mehele e tiileng ea SiC, ho fapana le mehele ea khale ea etching meheleng e nang le lisebelisoa, joalo ka quartz kapa ceramics, e ka mamella mocheso le tšenyo. Sena se ba lumella ho sebetsa ka thata maemong a thata ntle le ho senya kapa ho senya li-chips.
Ba ka Matlafatsa Uniformity ea Plasma Joang ka 40%?
Kahoo molemo o mong o moholo oa CVD SiC e koahetsoeng ka graphite susceptor ke hore li thusa ho ntlafatsa ho ts'oana ha plasma nakong ea ts'ebetso ea ho etsa chip. Ho tšoana ha Plasma: Ntho ena e bohlokoa haholo 'me e bua ka hore na plasma e hasana joang ka holim'a chip, e leng bohlokoa bakeng sa ho fumana litholoana tse ntle. Ka mehele ea Solid SiC, ho tšoana ha plasma ea 40% kapa ho feta ha ho bapisoa le mehele e tloaelehileng ea etching ho ka finyelloa ke baetsi ba liphaphatha. Sephetho ke ho etsa li-chip ho nepahetseng le ho ts'epahala, 'me ho hlahisa lichifi tse betere.
Mehele e tiileng ea SiC Etch e Etsoa ka Bofe?
SiC etching e tiileng e entsoe ka silicon carbide. Boitsebiso bona bo ikhetha ka lebaka la boima ba eona, bo matla haholo le bo botle ba ho monya mocheso. E entsoe ka silicon le k'habone, silicon carbide e ntle bakeng sa ho etsa lichifi, hobane ha se feela hore thepa e thata ka mokhoa o ikhethang, e hanela mocheso, lik'hemik'hale le motlakase. Mehaho ena ea selikalikoe sa Solid SiC e ntle bakeng sa ho hlahisa lichifi tse sebetsang hantle haholo.
Se boleloang ke Solid Silicon Carbide ho Indasteri ea Chip?
Indasteri ea li-chip e lapetse theknoloji e ncha e ka tsamaisanang le tlhoko ea lichifi tse potlakileng le tse ntlafalitsoeng. 'Me mehele e tiileng ea SiC e phahamisa papali ka ho fa baetsi ba li-chip tsela e potlakileng le e theko e tlase ea ho kenya li-chips tsa bona. Thepa e khahlang le matla a thepa e li etsa hore li tšoanelehe haholo ho hlahisa lichifi tsa boleng bo holimo tse khotsofatsang litlhoko tsa sejoale-joale tsa chip.
Li-ring tsa Solid SiC Etching li ka sebetsa joang?
Se etsang hore mehele ea etching ea Solid SiC e atlehe haholo ke seo ba se tlisang tafoleng ka thepa ea bona le moralo o bohlale. Silicon carbide e sebetsa hantle ho thibela mafome, mocheso le ho roala. Sena se ntlafatsa ho tšoarella le bophelo bohle ba mehele ea Solid SiC. Hape, mehele ea Solid SiC e thusa ho holisa ho ts'oana ha plasma, 'me e o lumella ho hlahisa li-chips ka mokhoa o atlehileng le o nepahetseng.
Kahoo u na le eona, Bohloeki bo phahameng ba CVD SiC lisebelisoa tse tala bakeng sa kholo ea kristale ea SiC ba fetola indasteri ea li-chip ka ho thusa bahlahisi ho fihlela ts'ebetso e ntlafalitsoeng ea plasma le li-chips tse betere nakong eo. Semixlab e ka pele-pele ka theknoloji ea eona ea Solid SiC ho etsa li-chips tse ntle le tse matla. Ka liringche tsa Solid SiC etching, baetsi ba li-chip ba ka lebella ho sebetsa kapele, ka mokhoa o baballang le ka lichifi tsa boleng bo holimo tseo theknoloji ea kajeno e li hlokang.
Semixlab Technology Co.,Ltd, e thehiloeng ka 2018, ke kgwebo e thehilweng theknolojing e shebaneng le dipatlisiso le ntshetsopele, tlhahiso le thekiso ya thepa e tswetseng pele. Ke moetsi ya etellang pele lefatsheng wa thepa ya semiconductor.
