Kamoo Li-susceptor tsa Potoloho tse Koahetsoeng tsa TaC li Thusang ho Tšoana Tlhahisong e Tsoetseng Pele ea MOCVD

Bakeng sa tikoloho e tsoetseng pele ea tlhahiso ea MOCVD, ho ba le filimi e tšesaane holim'a li-wafer tsohle tse lekanang ho pholletsa le susceptor eohle esale e le bothata ba bohlokoa. Karolo e 'ngoe e nyane ke susceptor ea ho potoloha e ka bang ea bohlokoa haeba Ho roala ka tac e ameha. Ho koaheloa ha TaC ho khona ho etsa hore susceptor e hanele mocheso haholoanyane le ho tsitsa haholoanyane bakeng sa tšebeliso ea nako e telele. Ha e le hantle bakeng sa mela ea tlhahiso ea li-LED le lisebelisoa tsa motlakase, ke phapang ea mocheso feela e ka bang le tšusumetso tlhahisong. Hang ha u kenyelletsa li-susceptor tse potolohang tse koahetsoeng ke TaC, baenjiniere ba bangata ba fumana hore wafer ho ea ho wafer, bohareng le moeli li ka ikatisa haholoanyane. Ena ke phetoho e bonolo ea lisebelisoa empa tšusumetso tlhahisong ka kakaretso e ka fella ka liphetho tse ka boleloang esale pele haholoanyane tsa ts'ebetso ea hau ea letsatsi le letsatsi.

Bohlokoa ba ho Potoloha ha Wafer ho Botenya ba Epitaxial le Taolo ea Sebopeho

Ho MOCVD, di-wafer di a tshwarwa le ho futhumatswa ka nako e le nngwe le ha di fetiswa ka dikhase. Dikhase tsena di sebediswa ho tsamaisa metswako ho beha dikarolo hodima wafer. Bothata bo bong bo amanang le sena ke hore o ke ke wa nahana hore phallo le mocheso di a tshwana ka phapusing. Haeba wafer e sa tsamaye, karolo e nngwe ya wafer e tla fumana bongata bo boholo ba thepa/mocheso ha e bapiswa le tse ding, e leng se fellang ka botenya bo sa tshwaneng kapa thepa e fetohang ya thepa. Ditlamorao tsena di ka ba le ditlamorao tse kgolo disebedisweng tse kang tsa LED kapa tsa motlakase. Mona ke moo ho potoloha ho kenang teng. Ha wafer e ntse e hodiswa, e a potoloha mme ka nako efe kapa efe, dikarolo tse fapaneng tsa wafer di tshwarelwa ka hara dibaka tse fapaneng tsa phallo ya kgase/sebaka sa mocheso. Diphetoho tse nyane dikarolong tse fapaneng tsa phaposi di tla qetella di bataladitswe ka lebaka la ho potoloha. Jwalo ka ho phethola nama ya steak hodima barbecue, dijo di tla fumana mocheso o mongata dibakeng tse ding ho feta tse ding tse fellang ka karolo e tjhesitsweng le karolo e sa phehwang hantle. Boemong ba sebele ba tlhahiso, sekgahla sa ho potoloha le sona se ka fapana ho ya ka thepa e hodisitsweng. Mohlala, mealo ea Gallium Nitride e sebelisoa ho holisa li-LED, phetoho e bonolo botenya e ka fetola tlhahiso ea 'mala oa chip, sena se ka fokotsoa ka ho fetola sekhahla sa ho potoloha ho khona ho hlahisa lera la botenya bo lekanang ho pholletsa le wafer, e leng se fellang ka khanya e tsitsitseng/'mala oa wafer ho ea ho wafer. Tšebeliso e 'ngoe bakeng sa ho potoloha ke ho tsitsa ha likarolo tsa thepa nakong ea ho beha. Li-semiconductor tse kopaneng li tlameha ho ba tse tsitsitseng ho pholletsa le wafer; litšobotsi tsa thepa li tla fetoha haeba khatello e phahameng ea karolo e le 'ngoe e lumelloa ho bokellana karolong e 'ngoe ea wafer. Ts'ebetso ea ho potoloha e ka thibela sena ho etsahala ka ho tsamaisa wafer, litlamorao li tla be li fokotsehile ho ba sieo. Basebelisi ba ts'ebetso ea MOCVD ba eletsoa haholo ho batlisisa le/kapa ho ntlafatsa litlhophiso tsa bona tsa ho potoloha. Qala ho sebelisa litekanyetso tse khothalelitsoeng ke moetsi oa lisebelisoa 'me u etse liphetoho tse eketsehileng ha u ntse u shebile limmapa tsa botenya le boleng ba thepa. Ho fetola ho potoloha ho ka fana ka melemo mabapi le ho tšoana le palo e fokotsehileng ea li-wafer tse senyehileng.

Litlhoko tsa Mekaniki le tsa Thermal ho Li-Susceptor tsa Potoloho

Mosebetsi oa susceptor ea ho potoloha o boima ho reactor ea MOCVD. E tlameha ho boloka boemo bo tsitsitseng ba wafer, e e potolohe ka lebelo le laoloang 'me e lule e tsitsitse tlas'a mocheso o phahameng haholo. susceptor ke karolo e bohareng ba boholo ba lits'ebetso tse ka etsoang mochesong o kaholimo ho 1000°C. Ho sa le joalo e na le sekhahla se phahameng sa phallo ea khase le liphetoho tse ngata tsa mocheso. Sena se hatella thepa ka mechine le ka mocheso. Tekanyo ea mechini ke ntlha ea bohlokoa. Esita le haeba susceptor e sa leka-lekanngoa, ho thothomela ho ka hlahisoa ke ho se leka-lekane ho honyenyane ha susceptor e potoloha. Ho thothomela hona ho ka baka ho beoa ha wafer ho sa lekanang ha nako e ntse e ea kapa esita le ho baka tšenyo ea lisebelisoa. Ka hona, susceptor e etsoa ka hloko 'me ea lekoa pele e sebelisoa. Meleng ea tlhahiso ea 'nete, baenjiniere ba ka hlahloba khafetsa ho tsofala, ho sotha kapa mohlomong mapetso a manyane haholo a ka atolohang nakong ea ts'ebetso. Bothata bo bong ke khatello ea mocheso. susceptor e chesa ka potlako 'me e hloka ho aba mocheso ka ho lekana holim'a wafer. Ha sebaka se seng se chesa ho feta se seng, se ka ba le tšusumetso kholong ea likarolo. Ho sa le jwalo, thepa e tla atoloha ha e futhumala mme e fokotsehe ha e phodiswa. Ka ho pheta-pheta ho hoholo, katoloso ena e pheta-phetoang e ka baka mokhathala. Sena se ka etsa hore thepa ya susceptor e lahlehelwe ke sebopeho kapa e be le diphoso tsa bokahodimo haeba e sa kgone ho e mamella. Ke moo dikobo tse kang CVD TaC e a sebetsa. Seaparo sa TaC se ka mamella mocheso o phahameng mme se ka sireletsa thepa ea motheo tlhaselong ea lik'hemik'hale ho tsoa likhase tse arabelang. Hape se tla ntlafatsa kabo ea mocheso holim'a bokaholimo e leng se thusang ho hola ka ho lekana. Sena ha e le hantle se fetolela bophelo bo bolelele le botsitso bo eketsehileng ba ts'ebetso ea potoloho ea tlhokomelo. Bakeng sa basebetsi, ho bohlokoa ho beha leihlo ho tšoana ha mocheso le boemo ba 'mele. Ho qoba liphetoho tse potlakileng tsa mocheso, ho hloekisa hantle le ho hlahloba khafetsa ho ka thusa ho lelefatsa bophelo ba sesebelisoa. Ho nka mehato e menyenyane joalo ka ena ho ka thusa ho qoba mathata a maholo le ho thusa ts'ebetso ho lula tseleng.

Tshebetso ea ho Koahela TaC tlas'a ho Potoloha ha Thermal le Khatello ea Matla

Sesebediswa sa ho thibela mocheso ha se tsitse nakong ya tshebetso e tlwaelehileng ya MOCVD. Se a dikoloha, se a phodisa mme se futhumala ka nako e le nngwe. Ena ke motswako wa potoloho ya mocheso le kgatello e matla, e ka senyang thepa e ngata. Ha ho etswa mesebetsi e mengata, ho eketswa dipotoloho tse ngata, mme diphetoho tse nyane di ka fetoha mathata a bohlokwa ka dibeke kapa dikgwedi haeba lesela le se matla ka ho lekaneng. Ena ke tikoloho eo ho yona TaC e koahetsoeng ka heater ea graphite li ka sebetsana le maemo. Li khetholloa ka bokhoni ba tsona ba ho mamella ho futhumatsoa le ho pholisoa khafetsa. Lera la TaC ha le robehe ha thepa e ntse e atoloha, empa le tiile. Sena se thusa ho boloka bokaholimo ba susceptor bo boreleli ebile bo lekana, e leng sa bohlokoa bakeng sa ho kopana ho tsitsitseng le phetisetso ea mocheso pakeng tsa susceptor le wafer. Hape, ho na le khatello e eketsehileng. Ha susceptor e ntse e potoloha e tla ba tlas'a matla a centrifugal a ka mpefatsang butle-butle ho se tsitse ha libaka kapa ho se leka-lekane 'me seaparo sea senyeha ha nako e ntse e ea ka lebaka la motsamao o thusang ho etsa seaparo se tšoarellang sa TaC, se tla khomarela ka matla thepa ea motheo 'me ho ke ke ha etsahala hore se arohane ka makhetlo a mangata, kahoo tlhahisong ho tla ba le litšitiso tse fokolang bakeng sa ho koahela/ho fetola likarolo hape.

Tlatsetso ho Tšebetso e Tsitsitseng ea Tlhahiso ea Libaka tse Khōlō le ea Li-Wafer tse Ngata

Ho tsitsa ho thata haholo ho fihlella hang ha MOCVD e ntlafalitsoe ho tloha ho li-wafer tse nyane ho ea ho li-wafer tsa tlhahiso. Ha li-wafer li ntse li hola, kapa li-wafer tse ngata ka phapusing e le 'ngoe, ho ba le phapang e ngata ho pholletsa le phapusi. Phallo ea khase le kabo ea litlamorao tsa mocheso le bohale kaofela lia eketseha. Phapang e nyane e ka eketseha ha motho a hlahisa li-wafer tse makholo kapa tse likete ka letsatsi. Ke moo li-susceptor tse potolohang tse koahetsoeng ke TaC li kenang teng ho thusa ho boloka botsitso. Bakeng sa ts'ebetso ea sebaka se seholo, mocheso o tlameha ho ajoa ka ho lekana holim'a sebaka se seholo. Sena se ka tšehetsoa ke sekoahelo se setle sa TaC, se tla ntlafatsa botsitso ba mocheso oa susceptor. Haeba mocheso o tsitsitse ho pholletsa le wafer, likarolo tsa wafer li ntlafalitsoe ka ho lekana. Sena se thusa ho fokotsa mathata a kang phapang ea botenya kapa phapang ea sebopeho ka har'a wafer. Mosebetsi o moholo lits'ebetsong tsa li-wafer tse ngata. Sebaka sa wafer ka 'ngoe ka har'a reactor ha se tšoane. Haeba li-wafer tsa kantle li sa laolehe hantle, li ka hlaha ka tsela e fapaneng le li-wafer tsa ka hare. Leha ho potoloha ho thusa ho fokotsa phapang ena, e ntse e le phello ea bokaholimo. Bokaholimo bo koahetsoeng ke TaC bo netefatsa karabelo e tšoanang ea mocheso bakeng sa maemo ohle a wafer, e leng se fellang ka maemo a tšoanang haholo bakeng sa ts'ebetso ea kholo ea wafer ka 'ngoe. Phapang ena ka linako tse ling e bonoa ke baenjiniere tikolohong ea 'nete ea tlhahiso ha e ntse e eketseha. Sena se ka sebetsa ho wafer e le 'ngoe, empa sa qala ho fapana ha se ntse se eketseha ho ea ho se seholo. Hang ha susceptor e koahetsoeng e fetotsoe ho ba moralo o tsitsitseng haholoanyane, phapang e ka fokotseha 'me chai ea eketseha. Indastering ea lisebelisoa tsa LED le tsa motlakase, ho kheloha ha motsotsoana ho ka ama ts'ebetso le/kapa bophelo ba nako. E 'ngoe e sebetsang ke ho pheta-pheta ha ts'ebetso. Haeba susceptor e itšoara ka tsela e tšoanang ho tloha ho matha ho ea ho matha, ho bonolo ho fetola diresepe le ho fihlela chai e tsitsitseng. Sena se pholosa basebetsi ho se senyehe nako ho lokiseng ho kheloha 'me se eketsa botsitso ba tlhahiso. Qetellong, sena se lumella lifeme ho boloka sistimi ea bona e le boleng ntle le ho etsa liphetoho khafetsa.

Mekhoa ea Ts'ebeliso e Susumetsang Tlhokeho ea Meralo ea Phetoho e Koahetsoeng ea TaC

Mokhoa o lebisang tlhahisong e ntlafetseng le taolong e tiileng o ntse o eketseha lifekthering tsa semiconductor. Boleng ba wafer bo bohlokoa bakeng sa ts'ebetso ea lisebelisoa tsa EV, 5G le elektroniki ea motlakase, 'me liphetoho tse nyane botenya ba filimi li ka ba le tšusumetso. Ka lebaka lena, bahlahisi ba lisebelisoa ba eketsa tlhokomelo ea bona likarolong tse ka har'a reactor ea MOCVD tse tlatsetsang maemong a tsitsitseng a kholo. Li-susceptor tse potolohang tse koahetsoeng bakeng sa botsitso ba mocheso le lik'hemik'hale nakong ea tlhahiso e telele li fumana tlhokomelo e eketsehileng ka lebaka la ts'ebeliso ea TaC. Tsela eo joale e bonahala e lebile li-wafer tse kholo le tlhahiso e phahameng ka ho fetisisa ka ho matha. Ha lifektheri li ntse li tloha ho li-wafer tse nyane ho ea ho li-wafer tsa 200mm esita le 300mm, ho laola mocheso holim'a sebaka sohle sa bokaholimo ho ntse ho thatafala le ho feta. Se-susceptor se koahetsoeng se khonang ho aba mocheso ka ho lekana se se se le bohlokoa le ho feta. Meralo e koahetsoeng le eona e ntse e ata haholo bakeng sa mela e mengata ea tlhahiso ka lebaka la sena. Sesosa se seng ke hore ha SiC le GaN Devices li kena sebakeng seo. Bakeng sa seo, ho hlokahala mocheso o moqotetsane haholo bakeng sa kholo ea Epitaxial. Liphetoho tse nyane boemong boo ba ts'ebetso li tla baka liphoso lera leo. Hona jwale bahlahisi ba bangata ba sebedisitse seaparo se ntlafetseng sa susceptor bakeng sa ho hlokomela boemo bo betere bakeng sa di-cycle tse ngata. Jwalo ka ha ditlaleho di bontshitse ka tlhahlobo ya indasteri, kgolo ya tlhoko ya yona e amana haholo le kgolo e kgolo ya indasteri ya semiconductor ya bandgap. Hape ho na le mokgwa wa bophelo bo bolelele ba disebediswa le nako e fokotsehileng ya ho sebetsa. Difeme di hloka disebediswa tse ka sebetsang nako e telele ntle le phetoho e tlwaelehileng. Theknoloji e ntjha ya ho roala e sebedisitswe e le hore di-susceptor di ka hanela nako e eketsehileng ka tshebetso ya ho tsofala le ho taboha kahoo tshebetso e boreleli e ka tiisetswa. Hape ho bolela nako e nyane ya ho emisa bakeng sa ho hlwekisa le ho fetola karolo tikolohong ya sebele ya fektheri e thusang difeme ho boloka sekgahla sa tlhahiso. Mme ho na le phetoho ya tlhokeho ho tloha ho othomathiki le ho lekola tshebetso hape. Mocheso le ho tsofala di ka be di lekola ka nako ya sebele ka mokgwa wa sejwalejwale. Seaparo se tsitsitseng sa susceptor se tla netefatsa hore risepe e tsitsitse ntle le phetoho ya letsoho, e tsamaisana hantle le mokgwa wa mohala o bohlale wa tlhahiso. Phapang hangata e tla lemohuwa ke baenjiniere ha ba ntse ba lekanya. Ts'ebetso e ka tsitsitseng ka sehlopha se senyenyane mohlomong ha e tsitsitse ha e fihla ho sehlopha se felletseng sa boholo ba tlhahiso. Sebaka seo se ka fokotswa ka moralo o ntlafetseng wa ho potoloha o kwahetsweng ke TaC mme o fanang ka tekanyo e boreleli.