Solid SiC vs. Graphite: Ke Boitsebiso bofe bo Molemo ka ho Fetisisa bakeng sa Likopo tsa RTP

Ts'ebetsong e potlakileng ea mocheso (RTP), lisebelisoa tsa kamore li bohlokoa haholo. Li ka thusa ts'ebetso ho sebetsa hantle kapa tsa baka mathata ka boleng. Tse peli tsa likhetho tse tloaelehileng haholo li silicon carbide e tiileng (SiC) le graphite. Lisebelisoa ka bobeli li sebetsana le mocheso o feteletseng, empa li itšoara ka tsela e fapaneng haholo tšebelisong ea sebele ea lefatše. Ho khetha e nepahetseng ho itšetlehile ka lintho tse 'maloa. Ho itšetlehile ka hore na sebaka se lokela ho hloeka hakae, hore na likarolo li lokela ho tšoarella nako e kae, le hore na mocheso o lokela ho ba joang. Sehloohong sena, re tla bapisa SiC e tiileng le graphite ka mahlakoreng. Sena se tla u thusa ho bona hore na ke efe e molemo bakeng sa ho seta RTP ea hau.

Ho Utloisisa Litlhoko tsa Sesebelisuoa ho Rapid Thermal Processing (RTP)

Rapid Thermal Processing (RTP) e mabapi le lebelo le ho nepahala. E futhumatsa liphaphatha tsa semiconductor ho mocheso o phahameng haholo—ka linako tse ling ho feta 1,000 XNUMX°C—ka metsotsoana e seng mekae feela. Ho tšoasa? Ts'ebetso e hloka ho hloeka, e phetoa hape, 'me e laoloe ka thata. Seo se beha khatello e ngata holim'a lisebelisoa tse ka hare ho kamore. E ama haholo-holo litšehetsi tsa li-wafer, li-susceptors, le li-chamber linings.

SiC e tiileng le graphite li tloaelehile ho li-setups tsa RTP. Li ka nka mocheso o phahameng ntle le ho qhibiliha kapa ho kobeha. Empa ho hanyetsa mocheso ha se eona feela ntho ea bohlokoa. Lisebelisoa li boetse li hloka ho ba le conductivity e ntle ea mocheso ho jala mocheso ka ho lekana. Haeba mocheso o le sieo ka har'a sephaphatha, likarolo tsa sesebelisoa li ka senyeha kapa tsa emisa ho sebetsa ka mor'a nako. Mocheso o sa lekaneng o lebisa mefokolong e theko e boima.

Tšilafalo ke taba e ’ngoe e tšoenyang haholo. Karolo leha e le efe e nyenyane e phatlohang nakong ea ts'ebetso e ka lula holim'a sephaphatha 'me ea e senya. Mona ke moo graphite e qalang ho bontša meeli ea eona. Graphite e ntle ka mocheso, empa butle-butle e robeha moeeng kapa libakeng tse hloekileng haholo. Seo se ka hlahisa likaroloana tse sa batleheng. SiC e tiileng, empa e tsitsitse haholoanyane ka lik'hemik'hale mme e na le monyetla o fokolang oa ho tšolla litšila.

Ho boetse ho na le taba ea durability. Graphite e bobebe ebile e bonolo ho e etsa mochini, kahoo hangata e theko e tlase pele. Empa e felloa ke matla ka potlako, haholo-holo ka ho palama baesekele khafetsa. Solid SiC e matla ebile e nka nako e telele, kahoo ha ho hlokahale hore u e nke sebaka hangata kapa ho emisa mosebetsi haholo.

Ka bokhutšoanyane, ho khetha pakeng tsa SiC e tiileng le graphite ha se feela mocheso. E mabapi le hore na e 'ngoe le e' ngoe e sebetsa joang nakong ea tšebeliso ea 'nete. Haeba u tsamaisa mohala oa RTP, nahana ka mocheso, bohloeki, hore na o nka nako e kae, le litšenyehelo tse felletseng.

SiC e tiileng: Ts'ebetso ea Premium bakeng sa Tikoloho ea RTP ea Bohloeki bo Phahameng

Silicon carbide e tiileng (SiC) hangata e sebelisoa ho RTP e phahameng hobane e lula e hloekile ebile e tsitsitse. E khona ho sebetsana le mocheso o phahameng ntle le ho pshatla kapa ho etsa lerōle. Hape ha e sebetsane le lik'hemik'hale tse ngata, tse thusang ho boloka kamore e hloekile le ho sireletsa liphaphatha.

Tlhahisong ea sebele ea lefats'e, ho tšepahala hona hoa bohlokoa. Mohlala, masela a etsang li-chips tse tsoetseng pele kapa likarolo tsa motlakase hangata a sebelisa likarolo tse tiileng tsa SiC. Ba hloka ts'ebetso e eketsehileng e hloekileng, kahoo SiC e lekana hantle. Esita le ntho e nyenyane ea thepa e tsoang linaheng tse ling e ka baka ho hlōleha ha sesebelisoa kapa ho fokotsa chai. Solid SiC e khona ho sebetsana le mocheso ho feta 1000 ° C ntle le oxidizing. Ke ka lebaka leo e sebetsang hantle ho RTP ka oksijene kapa li-setups tsa vacuum.

Ntho e 'ngoe hape ke ts'ebetso ea mocheso. Solid SiC e jala mocheso hantle, e thusang ho boloka sephaphatha se futhumetse hantle. Sena se qoba libaka tse chesang 'me se etsa hore ts'ebetso e be ea bohlokoa haholo bakeng sa likarolo tse nyenyane le mehato e thata. Mechini e meng e bile e sebelisa likarolo tsa SiC ho futhumatsa kapele le ho boloka nako.

Ho tšoarella ke sebaka se seng moo SiC e tiileng e khanyang. E thata ebile e teteaneng, e leng se etsang hore e se ke ea apara le ho tsosoa ke mocheso. Ho fapana le graphite e koahetsoeng, SiC e tiileng ha e robehe kapa e phunya ha nako e ntse e feta. E nka nako ea lipotoloho tse ngata, kahoo o fetola likarolo hanyane, emisa sesebelisoa hanyane, 'me u sebelise chelete e nyane ho lokisa.

Ka bokhutšoanyane, SiC e tiileng e bitsa chelete e ngata qalong, empa e loketse mesebetsi ea RTP e hlokang likarolo tse hloekileng, bophelo bo bolelele le mocheso o tsitsitseng.

Graphite: Mokhoa o Mobe o ka Fetohang le o sa sebetseng hantle

Graphite e sebetsa hantle bakeng sa RTP haeba tekanyetso e nyane kapa ts'ebetso e le bonolo. E ka nka mocheso 'me e bonolo ho e khaola ka sebōpeho. Ha e petsoha ha e futhumala kapa e pholile ka potlako, kahoo e sebelisoa bakeng sa likarolo tse kang li-wafer holder le li-heaters mesebetsing ea mantlha.

O mong oa melemo e meholo ea graphite ke litšenyehelo. Graphite e bitsa chelete e ka tlase ho SiC e tiileng 'me e bonolo ho e etsa. Sena se etsa hore e be khetho e ntle bakeng sa mela ea liteko, R&D, kapa litlhophiso tse fetohang khafetsa. U ka e khaola ka libopeho tse ncha ka potlako, kahoo e thusa ho boloka mosebetsi o tsoela pele ha ho hlokahala liphetoho.

Graphite e boetse e na le ts'ebetso e tiileng ea mocheso. Graphite e jala mocheso hantle. E thusa ho futhumatsa sephaphatha ka ho lekana. E boetse e sebetsana le ho futhumatsa le ho pholile ka makhetlo a mangata ntle le ho senya. Empa ha e ea phethahala. Libakeng tse nang le oksijene e ngata kapa tse hlokang ho lula li hloekile haholo, graphite e ka senyeha butle-butle. Mme ha seo se etsahala, se ka etsa lerole le lenyenyane. Lerole lena le ka silafatsa liphaphatha. Ke bothata bo boholo haeba o etsa li-chips tse tsoetseng pele kapa likarolo tse bobebe.

Ho etsa hore graphite e tšoarelle nako e telele le ho emisa lerōle, hangata e koahetsoe ka silicon carbide. Ho roala ho thusa ho e sireletsa empa ho ka fela ha nako e ntse e ea. Ka hona, e hloka ho hlahlojoa le ho fetoloa hangata. Ka linako tse ling, ho roala ho ka phunyeha, ho ka ba bobe ho feta ho sebelisa graphite e hlakileng.

Ka bokhutšoane, graphite e fana ka tekanyo e sebetsang pakeng tsa tshebetso le theko. Ha e hloekile kapa ha e matla joaloka SiC e tiileng, empa mesebetsing e mengata ea RTP-haholo-holo ea pele kapa e bonolo-e sebetsa hantle 'me e theko e tlaase.

Mokhoa oa ho khetha: Litlhahiso tse khethehileng tsa kopo tse tsoang ho Semixlab

Ho khetha SiC e tiileng kapa graphite ha se feela hore na ke efe e utloahalang e le betere. E mabapi le hore na mosebetsi oa hau o hloka eng. Ho Semixlab, re sebelitse le lihlopha tse nyane ho qala le lifeme tse kholo tse etsang li-chips tse holimo. Seo re ithutileng sona ke hore khetho ea thepa e tlameha ho lula e hokahane le litlhoko tse ikhethileng tsa ts'ebetso ea hau.

Haeba u le lits'ebetsong tse hloekileng kapa tse nang le oksijene e ngata, kapa u etsa likaroloana tse nyane tsa chip, SiC e tiileng ke eona khetho e ntle. E bitsa chelete e ngata qalong empa e nka nako e telele 'me e fana ka liphello tse molemo, ho boloka chelete ka nako.

Graphite e loketse mehato e bonolo ea RTP kapa ha o ntse o lokisa ts'ebetso. E theko e tlase ebile e potlakile ho bopeha. Moreki e mong o sebelisitse graphite e koahetsoeng ka setaele se senyenyane ho boloka chelete nakong ea liteko. E ile ea ba lumella ho lula ba tenyetseha ntle le ho itela haholo ka ts'ebetso.

Maemong a mang, mokhoa oa lebasetere o utloahala haholo. U ka sebelisa SiC e tiileng bakeng sa likarolo tse chesang ka ho fetisisa, tsa bohlokoa ka ho fetisisa. Joale, sebelisa graphite bakeng sa likarolo tseo ho hloeka haholo ho seng bohlokoa hakaalo. Ntho ea bohlokoa ke ho etsa 'mapa oa khetho ea hau ea thepa ho latela litlhoko tsa hau tsa ts'ebetso, eseng feela tekanyetso ea hau.