Kamoo Liaparo tsa CVD li Fokotsang Tšilafalo ka Methati ea Etching ea Semiconductor

Tlhahisong ea semiconductor, esita le tšilafalo e nyane haholo e ka baka mathata a maholo. Sena ke 'nete haholo nakong ea ts'ebetso ea ts'ebetso. Mothating ona, likaroloana tse nyane kapa liketso tse mpe li ka senya sesebelisoa. Ba ka boela ba fokotsa hore na lihlahisoa tse ntle li tsoa hakae. Tsela e 'ngoe ea ho fokotsa bothata bona ke ho e sebelisaLiaparo tsa CVD (mouoane oa lik'hemik'hale).. Liaparo tsena li sireletsa likarolo ka kamoreng ea ho khabisa. Li thusa ho boloka lintho li hloekile, li thibela ho tsofala, le ho fokotsa mefokolo.

Bothata ba Tšilafalo ka Liphaposing tsa Plasma Etching

Plasma etching ke mohato oa mantlha oa ho etsa li-chips, empa o tla le phephetso e kholo: tšilafalo. Etching e sebelisa likhase le plasma ho tlosa thepa hantle. Empa maemo ana a thata a ka boela a senya likarolo tsa kamore. Ha likaroloana li ntse li senyeha, likaroloana tse nyenyane kapa li-flakes li ka ebola 'me tsa lula holim'a bokaholimo. Hang ha seo se etsahala, ho na le mefokolo—’me hangata ho ke ke ha khoneha ho e lokisa hamorao.

Sesosa se tloaelehileng sa tšilafalo ke mabota a kamore kapa likarolo tse amang plasma ka kotloloho. Ha nako e ntse e ea, plasma e sebetsana le libaka tsena, e li ja butle-butle. Sena se ka etsa hore likaroloana li oele ka kamoreng kapa ho etsa lik'hemik'hale tse sa batleheng. Esita le likarolo tse bonahalang li le boreleli li ka ba thata ka tlas'a microscope, li tlohella likaroloana ho khomarela kapa ho bokellana.

Taba e 'ngoe ke tšilafalo pakeng tsa li-process runs. Ka mohlala, lintho tse setseng tse tsoang ho sephaphatha se le seng li ka fihla ho se latelang haeba kamore e sa hloekisoa kapa e sa koaheloa hantle. Sena se fetoha bothata bo boholo ha likarolo tsa chip li honyela ka boholo. Seo pele e neng e le sekoli se senyane joale se ka thibela kapa sa khutsufatsa tsela ea bohlokoa libakeng tse tsoetseng pele.

Lifeme tse ngata li leka ho lokisa sena ka ho hloekisa kamore hangata kapa ho fetola likarolo. Empa sena se hloka nako le chelete. Hape ha e lokise bothata bo ka sehloohong—tšenyo e bakoang ke lero la mali. Ke kahoo ba sebelisang liaparo tse sireletsang. Liaparo tsena li thusa ho emisa tšenyo pele e qala ka ho koahela likarolo tse otlang haholo.

CVD Coatings e le Tšireletso ea Tšireletso: SiC le TaC in Action

Ho emisa tšilafalo pele e qala, baetsi ba li-chip ba bangata ba retelehela hoLiaparo tsa CVD. Likarolo tse tšesaane li kenngoa likarolong tsa kamore ho li sireletsa tšenyo le lik'hemik'hale. Lisebelisoa tse peli tse ka tšeptjoang bakeng sa mosebetsi ona lisilicon carbide (SiC)'metantalum carbide (TaC). Ha li thata feela—li boetse li tsitsitse libakeng tse mabifi tsa plasma.

SiC e sebelisoa hobane e sebetsana le mocheso hantle 'me e hanela ho itšoara ka likhase. SiC e koahetsoeng ka CVD ka likarolo e etsa sebaka se matla se sa apareng habonolo. Esita le ka mor'a li-etch cycles, e lula e boreleli ebile e hloekile, kahoo likaroloana tse fokolang li oela holim'a liphaphatha.

TaC e sebelisoa ha mokhoa oa etching o le boima le ho feta. E sebetsa hantle ka plasma e matla le likhase tse thata tsa halogen. Sebopeho sa eona se teteaneng le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha li etsa hore e se ke ea bola. Ka lisebelisoa tse ling tse tsoetseng pele,Liaparo tsa TaCthusa ho fokotsa tshilafatso ya tshepe. Sena se bohlokoa bakeng sa ho etsa logic e potlakileng le li-memory chips.

Liaparo tsena li sebetsa ka ho etsa mokoallo pakeng tsa plasma le karolo. Sena se thusa karolo ho tšoarella nako e telele le ho boloka kamore e tsitsitse. E boetse e lumella lienjiniere hore li sebetse nako e telele ntle le ho emisa ho hloekisa kapa ho fetola likarolo.

Nahana ka eona joalo ka ho beha tšireletso ea skrine fonong ea hau. Ha e fetole tsela eo fono e sebetsang ka eona, empa e nka ho otla hoo skrini sa hau se sa tlamehang ho se etsa. Setšoantšo:

Ntlafatso ea Ts'ebetso ea Etching le Litšenyehelo tse Fokotseng tsa Tlhokomelo

Liaparo tsa CVDjoalo ka SiC le TaC li boloka likarolo li bolokehile, li thusa ho etsa hore ho be bonolo, 'me ho bolela hore ho hlokahala tokiso e fokolang. Ha likarolo tsa kamore li lula li le hantle, etching e fetoha e tsitsitseng. Sena se bolela hore li-wafers tse ngata li feta licheke tsa boleng, 'me tse fokolang li lahleloa ka lebaka la bofokoli.

Maemo a tsitsitseng a kamoreng ke senotlolo bakeng sa liphetho tse ka phetoang. Ntle le liphahlo, likarolo tsa kamore li senyeha butle-butle. Sena se ka fetola phallo ea khase, ho ata ha mocheso, le boitšoaro ba plasma. Liphetoho tsena li ka 'na tsa e-ba nyenyane qalong empa li ka lebisa liphellong tse fapaneng ka nako. Likarolo tse koahetsoeng li thusa ho qoba sena ka ho boloka kamore e lebeletsoe ho tloha sephakeng se seng ho ea ho se seng.

Holim'a moo, likarolo tse koahetsoeng ka CVD li nka nako e telele pele li hloka ho nkeloa sebaka. Lisebelisoa tse sa koahetsoeng li hloka litopo tse ngata bakeng sa ho hloekisa, ho baka tieho. Likarolo tse koahetsoeng li nka nako e telele, li fokotsa nako le mosebetsi o eketsehileng.

Liaparo tsa 'nete tsa lefats'e li bone melemo ena. Ka mohlala, moetsi e mong oa li-chip o sebelisitse mehele e koahetsoeng ka SiC ho e-na le aluminium e hlakileng 'me a fumana nako e teletsana ea 40%. Nako ena ea ho fokotsa nako le ho boloka lihlahisoa tsa liphaephe li tsitsitse haholoanyane.

Ke taba e hlakileng ea "sebetsa hanyane pele, boloka nako e ngata." Liaparo tsa CVD li boloka likarolo li sireletsehile ebile li hloekile, kahoo baenjiniere ba ka tsepamisa maikutlo mosebetsing, eseng ho lokisa lintho.

Lekola Bokhoni ba ho Koaela ba Semixlab bakeng sa Sisteme ea Hau ea Etch

Haeba u batla ho fumana ho hongata ho tsoa tsamaisong ea hau ea etch, ho thusa ho sebetsa le motho ea tsebang lisebelisoa le ts'ebetso. Semixlab e etsa liphahlo tsa CVD joalo ka SiC le TaC, tse etselitsoeng lisebelisoa tsa etching le ho lekoa lifekthering tsa 'nete.

Se etsang hore Semixlab e fapane ke tšebeletso ea bona e tloaelehileng. Li ka apesa libopeho le likarolo tse ngata, joalo ka mehele ea aluminium kapa lijari tsa graphite. Liaparo li boreleli, li matla, 'me li entsoe ho lumellana le litlhoko tsa hau. Mosebetsi oohle oa ho roala o etsoa ka likamoreng tse hloekileng, tse laoloang, kahoo ha ho na litšila tse ncha kapa likaroloana tse kenang.

Masela a mangata a romela likarolo tse sebelisitsoeng bakeng sa ho khabisa ho e-na le ho li nkela sebaka ka ho toba. Mokhoa ona ha o boloke chelete feela empa hape o thusa ho fokotsa litšila. Semixlab e hlahloba karolo ka 'ngoe ho etsa bonnete ba hore e ntse e le matla. Haeba e feta, baa e hloekisa, ba e apesa, ebe ba e khutlisetsa morao—e se e loketse ho sebelisoa hape. Sena se thusa likarolo ho tšoarella nako e telele ntle le ho lahleheloa ke ts'ebetso.

Baenjiniere ba sebetsang le Semixlab ba fumana ho fetang feela liaparo. Ha u tsebe hantle hore na ke lisebelisoa life tse lekanang likhase tsa hau? U batla ho tseba hore na e nka nako e kae ka plasma ea hau? Sehlopha sa bona se ka se hlahloba kapa sa hlahloba lintlha ho u thusa ho khetha.

Haeba u batla ho leka likarolo tse koahetsoeng, hlahloba hore na u lahleheloa ke nako e kae le li-wafers hona joale. Li-coating li ka u thusa ho boloka bobeli.