Ho Rarolla TaC Coating Ho Peeling Masale a Sebelisoang ho LPE Epitaxy Systems

Mechini e mengata ea tlhahiso ea li-chip tsa LPE e sebelisa masale a koahetsoeng ka TaC. Seaparo sena se thusa ho boloka tikoloho e tsitsitseng le e hloekileng ka har'a mochini. Ha seaparo se ntse se tsofala, Ho roala ka cvd kapa ha di kgaolwa, dikarolwana tse nyane di ka kena ka hara mochini, tsa silafatsa di-wafer le ho theola boleng ba sehlahiswa se fedileng.

Sekoahelo sa TaC le Cvd joalo tshenyo ha e hlahe hang-hang empa e hlaha ka makhetlo a mangata ho kenyeletsoa le ho futhumatsa, ho pholisa le ho hloekisa. Tlhokomelong e tloaelehileng, basebetsi ba ka 'na ba fumana hore bokaholimo ba likarolo tse ling ha bo sa boreleli, ho na le mapetso a manyenyane, kapa likotoana lia petsoha mathōkong. Ho tseba mabaka a ho senyeha hona ho ka lelefatsa bophelo ba likarolo tsa mochini haholo.

Lisosa tsa Motheo tsa ho Petsoha ha Edge ho CVD TaC Coated Graphite Rings

Hangata mapetso a mathōko a qala e le liphoso tse nyane tse hlahang ha nako e ntse e ea, ebe lesela le qala ho petsoha.

Khatello ea mocheso ke e 'ngoe ea mabaka a mantlha. CVD TaC 'me graphite ea atoloha le ho honyela ka lebelo le fapaneng ha li futhumatsoa le ho pholisoa, e leng se bakang khatello pakeng tsa thepa e 'meli nako le nako ha li futhumala kapa li phola. Likarolo tse fokolang ka ho fetisisa tsa lesela hangata li mathōkong, kahoo mona ke moo mapetso a atisang ho qala ho hlaha.

Ho futhumatsa le ho pholisa ka potlako ho eketsa mathata a khatello ea mocheso. Mechini e mathang ka makhetlo a mangata ntle le nako e lekaneng ea ho pholisa e sebelisa khatello e kholo meheleng e koahetsoeng, 'me mapetso a manyenyane a mathōko a hlaha ebe aa hola ka mor'a ho matha ka 'ngoe.

Ho hlwekisa ho ka boela ha lebisa ho hloleheng ha lesela kapele. Ho hlwekisa ka matla ka dikhemikhale tse matla, kapa ho hlwekisa ka plasma ho tla senya tlamo pakeng tsa lesela la TaC le substrate ya graphite, qetellong ho fokodisa mathoko mme ho etse hore ho be le lepetso.

Ho se sebetse hantle ke lebaka le tloaelehileng la tshenyo. Tšusumetso e nyane nakong ea ho tsamaisoa kapa ho kenngoa ha mehele e ka hlahisa matheba a manyane a fokolang mathōkong a sa bonahaleng, a ka fetohang mapetso nakong ea ho futhumatsa/ho pholisa.

Boleng ba substrate ea graphite le bona bo tlatsetsa ho petsoheng. Masoba a manyane ka har'a graphite, kapa ho se lekane ha 'mele ho tla ama tsela eo sekoahelo se khomarelang ka eona, 'me ho hlahise lintlha tsa khatello, tse tla lebisa ho sekoahelong ho pshatleha.

Maemong a mangata, ho tla etsahala motsoako oa tse fetang e le 'ngoe ho tse boletsoeng ka holimo.

Ho se tshwane ha Katoloso ya Thermal ho Dikarolo tsa Epitaxial tsa LPE (ASM)

Sesosa se seng se seholo sa ho hloleha ha ho koahela ke ho se tshwane ha katoloso ya mocheso. Ena ke mohopolo o bonolo haholo mme ke hore ho koahela ha TaC le graphite di na le bongata bo fapaneng boo di bo holang le ho honyela ha mocheso o fetoha.

Ha mocheso o ntse o eketseha, graphite e atoloha ho feta kamoo sekoahelo sa TaC se ka lumellang ho etsahala kateng. Ka hona, ho na le likhatello tse bokellanang thepa kaha sekoahelo se ke ke sa lelefala ho lekana boholo bona bo eketsehileng, ebe ha mocheso o fokotsa graphite e fokotseha ka ho feta kamoo sekoahelo se tla fokotseha kateng. Sena se boetse se baka likhatello thepa.

Kamora makholo a lipotoloho tsa mocheso le Bohloeki bo phahameng ba CVD SiC lisebelisoa tse tala Likhatello tse bokellaneng linthong tsena tse peli li roba tlamo e tšoarang kobo le substrate hammoho 'me kobo e qala ho petsoha, ho petsoha, kapa ho arohana. Likhutlo tse bohale le mathōko a tsona li atisa ho ba le likhatello tse kholo 'me li hlōleha pele ho nako.

Sehlopha sa tlhahiso se ne se e-na le masale a koahetsoeng a neng a petsoha halofo ea nako ea bona ea bophelo; ha ba hlahloba ts'ebetso ba ile ba hlokomela hore ba ne ba pholisa masale kapele. Ka ho fetola mokhoa oa ho pholisa, nako ea bona ea bophelo e ile ea eketseha haholo.

Botenya le sebopeho sa seaparo le tsona li bapala karolo ea bohlokoa mabapi le likhatello tse bokellaneng thepa; botenya le moralo oa bokaholimo bo sa ts'oanang li baka nts'etsopele e eketsehileng ea khatello.

Ka lebaka la mabaka ana, potoloho ea ho futhumatsa le ho pholisa e ka phetoa-phetoang le boleng bo botle ba ho roala lia hlokahala ho netefatsa hore karolo e hloleha.

Kamoo Botenya ba ho Koahela bo Susumetsang Likotsi tsa ho Peeling ha TaC Coating

Botenya ba sekoahelo sa TaC bo na le tšusumetso e kholo bophelong ba karolo e itseng. Litlolo tse tšesaane ha lia lekana ho sireletsa graphite mochesong le lik'hemik'haleng. Ha nako e ntse e ea likoti le likoli lia hlaha ho fihlela sekoahelo se phutholoha ho tloha substrate. Litlolo tse teteaneng li na le khatello e ngata e bolokiloeng.

Mekhahlelo e pheta-phetoang ea ho futhumatsa le ho pholisa e tla atisa ho arola lesira ho tloha substrate, hangata haufi le likhutlo le mathōko. Leha ho le joalo, phapang ea botenya e bohlokoa joalo ka botenya bo tloaelehileng.

Ho koahela ka ho lekana ka botenya bo phahameng hanyane ho feta kamoo ho neng ho lebelletsoe ho molemo haholo ho feta ho koahela ka ho sa lekanang ho etsahalang hore ho be haufi le botenya bo tloaelehileng bo reriloeng, hobane likhatello ha li aroloe ka ho lekana.

Ka kakaretso seaparo se setle ka ho fetisisa e tla ba se khomaretsoeng hantle le se nang le botenya bo tloaelehileng ka phapang e nyane.

Maano a ho Lokisa Likarolo tsa Epitaxy tse Senyehileng tsa CVD TaC

Likarolo tse senyehileng ha li hloke ho nkeloa sebaka hang-hang. Ho latela boemo ba tšenyo, ho ka 'na ha se ke ha hlokahala hore graphite kapa sekoahelo se nkeloe sebaka.

Haeba graphite e sa senyeha haholo, lesela la kgale le ka tloswa karolong eo, lesela le letjha la TaC le ka bewa (ho penta hape).

Libaka tse senyehileng li ka lokisoa feela haeba tšenyo e le sebakeng seo. Sena se bolela hore lesela le libakeng tsena feela le tla tlosoa le ho beoa hape. Sena se tla lumella nako ea bophelo ba karolo eo ho lelefatsoa leha hangata mokhoa ona e le tharollo e mahareng feela.

Thepa e eketsehileng e ka beoa libakeng tse senyehileng haholo (mohlala, Meeli) kaha lintlha tsena tsa karolo li kotsing ea ho hloleha. Sena se lumella mathoko a karolo ho matlafatsoa ntle le ho koahela karolo ka botlalo.

Leha ho le jwalo, mokhoa ona ha o tshwanelehe kamehla. Ka kakaretso ho eletswa ho nkela graphite e senyehileng haholo sebaka ka dikarolo tse ntjha haeba graphite e senyehile hampe, kapa haeba ho na le dikarolo tse ngata tsa ho penta karolong eo mme kahoo e lokisitsoe ka makgetlo a mmalwa pele kapa e silafaditswe ke slag. Baenjiniere ba lokela ho nahana ka pono ya tshenyo hammoho le tlhahlobo ya kamoo karolo eo e neng e sebedisitswe pele.

Ho Fokotsa Tlhahiso ea Likaroloana ho tsoa Libakeng tse Koaheloang tsa TaC tse Senyehileng

Ha dikobo tsa TaC di arohana, ho ena le hore ho hlahiswe di-flakes tse kgolo, dikarolwana tse nyane di atisa ho ntshwa. Dikarolwana tsena di lokolohile ho tsamaya ho potoloha kamore mme di ka dula hodima di-wafer tse hlahisang sekoli.

Mokhoa o motle oa ho qoba tšilafalo ke ho lemoha tšenyo ea sekoahelo kapele kamoo ho ka khonehang. Nakong ea liteko tsa kamehla, basebetsi ba lokela ho batla libaka tse lerootho, mapetso a manyane, kapa ho phahamisa hanyane libaka tse nyane tsa sekoahelo.

Ka ho nkela karolo sebaka ha delamination e qala ka lekhetlo la pele, tlhahiso ea likaroloana e ka qojoa.

Phetoho e liehang ea mocheso e boloka khatello ho pholletsa le lera la hao le kopantsoeng 'me e thibela tlamo ho robeha le ho robeha ha lesela. Setsing sa hau sa ho hloekisa u lokela ho leka ho fetola mokhoa oa hau oa ho hloekisa ha likarolo tsa hau li ntse li tsofala, hobane lik'hemik'hale tse matla le plasma li bonoe li senya thepa ea bokaholimo e bakang sebaka se makukuno moo likaroloana li ka arohanang habonolo, kahoo leka ho se tsamaise likarolo tsohle ka litlhophiso tse matla tsa ho hloekisa.

Nakong ea ts'ebeliso u hloka ho sebetsana le likarolo ka bonolo hobane ho penya hanyane ho tloha sebakeng se thata ha lesale le ntse le tsamaea, kapa ho hatelloa, ho tla etsa hore li-chips li tabohe mathōkong 'me li siee lerōle. U tlameha ho sebetsana le tsona ka tšehetso 'me u se ke ua ama mathōko ka litšenyehelo tsohle.

Lihlopha tse ling li boetse li sebelisa phekolo e bobebe ea bokaholimo ba kamora ho koahela ho matlafatsa lera le ka ntle. Sena ha se fetole lesela le ka sehloohong, empa se ka thusa ho koala masoba a manyane ao ho seng joalo e neng e tla ba mehloli ea likaroloana nakong ea ts'ebetso.

Qetellong, ho fokotsa dikarolwana ha ho bolele feela tokiso e le nngwe e kgolo empa ho mabapi le taolo e tsitsitseng. Diprofaele tsa mocheso o tsitsitseng, ho hlwekisa ka hloko, le ho nkela dikobo tse fokolang sebaka pele ho nako kaofela di sebetsa mmoho. Hang ha ho qala ho kgaola, sepheo ha se feela ho e emisa, empa hape ke ho thibela dikarolwana tseo tse nyane ho kena sebakeng sa tshebetso moo di ka amang ho matha ha wafer e nngwe le e nngwe.