Tšehetso e koahetsoeng ka SiC bakeng sa LPE PE2061S

Tšehetso e Koahetsoeng ea SiC bakeng sa LPE PE2061S ke karolo ea sebopeho sa bohlokoa sa mocheso o phahameng e etselitsoeng ka ho khetheha sistimi ea LPE PE2061S ea mokelikeli oa epitaxy. Lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa kholo ea LPE ea semiconductor, botsitso ba mechini, bohloeki ba lik'hemik'hale, le ho tšoana ha mocheso li khetholla ka ho toba boleng ba lera la epitaxial. Tšehetso ena e koahetsoeng ea SiC e netefatsa botšepehi ba sebopeho sa nako e telele, e fokotsa likotsi tsa tšilafalo, 'me e boloka botsitso ba tšimo ea mocheso nakong ea lipotoloho tse pheta-phetoang tsa kholo ea mocheso o phahameng.

Mokelikeli oa Phase Epitaxy (LPE) o na le kutloelo-bohloko haholo ho maemo a mocheso, botsitso ba ho qhibiliha le taolo ea ho se hloeke. Ka har'a sistimi ea PE2061S, sebopeho sa tšehetso se sebetsa e le karolo e jarang mojaro mochesong o phahameng, e bolokang boemo bo nepahetseng ba likarolo tsa sethala sa wafer le sebaka sa karabelo. Nakong ea kholo ea LPE, esita le phetoho e nyane ea sebopeho e ka baka ho se tsitse ha ho qhibiliha kapa botenya bo sa tšoane. Sebopeho sa tšehetso se koahetsoeng ke SiC sa Semixlab se sebelisa graphite e nang le sekhahla se phahameng sa isostatic e le substrate, e kopantsoeng le seaparo se teteaneng, se tšoanang sa silicon carbide (SiC). Sebopeho sena se bontša botsitso bo ikhethang ba litekanyo tlas'a maemo a potoloho ea mocheso ho tloha ho 700°C ho isa ho feta 1100°C, ho netefatsa ts'ebetso e ka phetoang ea epitaxial.

Tlhokahalo e 'ngoe ea bohlokoa bakeng sa ts'ebetso ea Motsoako oa Epitaxy (LPE) ke taolo e thata ea tšilafalo. Ho fapana le Mouoane oa Epitaxy, kholo ea motsoako oa metsi e kenyelletsa tšebelisano e tobileng le thepa e qhibilihisitsoeng. Ho lokolloa ha litšila ho tsoa likarolong tsa sebopeho ho ama haholo mahloriso a bajari, bongata ba sekoli sa kristale, le topography ea bokaholimo. Liaparo tsa SiC li sebetsa e le lera le sebetsang la thibelo ea ho hasana pakeng tsa thepa ea graphite substrate le tikoloho e qhibilihisitsoeng. Ho se sebetse ha tsona ka lik'hemik'hale tse ngata le ho hanyetsa mafome ho thibela ho hasana ha carbon le tšilafalo ea tšepe, ka hona li tšehetsa kholo ea epitaxial e hloekileng haholo le ho ntlafatsa botsitso ba tlhahiso ea wafer.

Taolo ea mocheso e bohlokoa ka ho lekana lits'ebetsong tsa epitaxy ea mokhahlelo oa metsi (LPE). Seaparo sa SiC se bonts'a ho tsamaisa mocheso hantle le ho hanyetsa ho ts'oaroa ha mocheso ho phahameng, ho tlatsetsa kabong e ts'oanang ea mocheso ka har'a sebaka sa karabelo. Ka ho fokotsa ho feto-fetoha ha mocheso sebakeng seo, sebopeho sa tšehetso se thusa ho boloka li-gradients tse tsitsitseng tsa mocheso - e leng paramethara ea bohlokoa bakeng sa ho fihlela botenya ba lera la epitaxial le boleng ba sebopeho. Sistimi ea PE2061S, ho pheta-pheta ha ts'ebetso ke motheo oa katleho ea tlhahiso, ka botsitso ba tšimo ea mocheso bo amang ka kotloloho botsitso ba sehlopha ho sehlopha le ts'epo ea nako e telele ea lisebelisoa.

Ho ya ka pono ya tshebetso, meaho ya tshehetso e kwahetsweng ke SiC e atolosa haholo nako ya bophelo ba dikarolo mme e fokotsa makgetlo a tlhokomelo. Lera le teteaneng la SiC le sireletsa substrate ya graphite ho kgoholeho ya metsi le mafome a mocheso o phahameng, ka hona le lelefatsa bophelo ba tshebeletso le ho fokotsa ditjeo tsohle tsa beng. Matla a yona a matla a mechini a netefatsa hore ha ho na ho sotha, ho petsoha, kapa ho senyeha ha sebopeho ho etsahalang nakong ya potoloho e pheta-phetoang ya mocheso.

Jwalo ka moetsi ya ka sehloohong wa Sechaena le mofani wa dikarolo tsa tshehetso tse manehilweng ka SiC, tshehetso e nngwe le e nngwe e manehilweng ka Semixlab SiC bakeng sa LPE PE2061S e hlahiswa tlasa maemo a thata a taolo ya boleng ho netefatsa ho tshwana ha ho manehilweng, ho tsitsa ha botenya, ho kgomarela le ho nepahala ha dibopeho. Dikarolo tsena di entswe bakeng sa ho tsamaisana hantle le meralo ya disebediswa tsa PE2061S, ho nolofalletsa ho kopanngwa ka ho toba meleng e teng ya tlhahiso ntle le diphetoho. Ka tshepahalo ya yona ya sebopeho sa mocheso o phahameng, taolo e phahameng ya tshilafatso, le botsitso bo ntlafetseng ba tshimo ya mocheso, dikarolo tsa tshehetso tse manehilweng ka Semixlab tsa SiC bakeng sa LPE PE2061S di fana ka tharollo e tshepahalang bakeng sa ditshebediso tse tswetseng pele tsa kgolo ya LPE epitaxial. E sebetsa e le karolo ya bohlokwa ya sebopeho bakeng sa bahlahisi ba semiconductor ba hlokang boleng bo tsitsitseng ba epitaxial, nako e telele ya bophelo ba dikarolo, le tshebetso e ntlafaditsweng ya tshebetso. Re labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.