TaC e koahetsoeng ka heater ea graphite

Hobaneng u khetha Semixlab?

Semixlab e ka fana ka liheater tsa graphite tse koahetsoeng ka TaC ka boholo bo ikhethileng le litlhaloso tse ipapisitseng le mefuta e ikhethileng ea lisebelisoa le litlhoko tsa ts'ebetso. Ka kopo ikopanye le rona bakeng sa lethathamo le felletseng la liparamente tsa tekheniki, ho kenyeletsoa empa ha le felle feela ho:

- Mamello ea maemo

- Mocheso o phahameng oa ho sebetsa

- Lintlha tsa thepa ea 'mele joalo ka conductivity ea mocheso

- Limaraka tsa Graphite le bohloeki

- Tekanyo ea botenya ba TaC le mekhoa e ts'oanang

Habohlokoa le ho feta, lisebelisoa tsa ho futhumatsa tsa Semixlab li entsoe ka "graphite substrate" e nang le bohloeki bo phahameng bo koahetsoeng ka lesela le phahameng la TaC (Tantalum Carbide), e fanang ka motsoako oa conductivity e ntle ea mocheso le Sena se kopanya conductivity e ntle ea mocheso le botsitso ba mocheso o phahameng. Re sebelisa thepa ea graphite ho tsoa ho barekisi ba bararo ba tsebahalang ba lefats'e, 'me balekane ba rona ba nako e telele ba tsitsitseng ba kenyelletsa SGL (Jeremane), Toyo Tanso (Japan), le Mersen (France), ho netefatsa hore lihlahisoa tsa rona li na le netefatso ea boleng bo botle ho tsoa mohloling. Ka nako e ts'oanang, ts'ebetso ea ho roala ha TaC ea Semixlab e boemong bo ka sehloohong indastering, ka ho teteana ha eona, ho khomarela le ho hanyetsa ha kutu ho 'nile ha netefatsoa ka mekhahlelo e mengata ea ho netefatsa ts'ebetso,' me e 'nile ea sebelisoa haholo ho lisebelisoa tsa SiC epitaxial tse phahameng, tse tšeptjoang haholo ke bareki.

Kopo ea Konokono: Setsi sa Bohlokoa sa Heating ho SiC Epitaxy Equipment

Semixlab's TaC-coated graphite heaters e bapala karolo ea bohlokoa ho lisebelisoa tsa SiC epitaxy. Mosebetsi oa eona o ka sehloohong ke ho sebetsa e le setsi sa ho futhumatsa, ho jara le ho futhumatsa ka mokhoa o ts'oanang Wafer Susceptor e behiloeng ka holim'a eona.

Maemo a Mehaho: Ka kamoreng e tloaelehileng ea SiC epitaxial, mohaho o atisa ho ba ka tsela e latelang:

1. TaC-coated graphite heater (Semixlab Product): E fumaneha boemong bo ka tlaase, ke mohloli o ka sehloohong oa mocheso.

2. Wafer Susceptor: E behiloe ka holim'a heater, sesepa sa wafer susceptor hangata se entsoe ka graphite e phahameng ea bohloeki kapa thepa e 'ngoe e hanyetsanang le mocheso o phahameng' me e ka 'na ea koaheloa. Li-groove tsa eona tse entsoeng ka nepo li sebelisoa ho tšoara liphaephe tsa SiC.

3. Li-Wafers tsa SiC (Wafer): Li behiloe holim'a disk ea carrier, ke substrate bakeng sa kholo ea ho qetela ea epitaxial layer.

Mokhoa oa ho futhumatsa le Mathata:

1. Litlhoko tsa Mocheso o Phahameng: SiC epitaxial kgolo ka tlwaelo e hloka mocheso o phahameng haholo (hangata o fetang 1500∘C kapa ho feta) ho etsa bonnete ba ho bola ha khase e tlang pele ho nako le ho theha likarolo tsa boleng bo holimo, tse nang le kristale e le 'ngoe ea SiC holim'a liphaphatha. Li-heaters tsa Semixlab li thehiloe holim'a substrate ea graphite e hloekileng, e phahameng ea mocheso-conductivity ho etsa bonnete ba hore mocheso o phahameng o hlokahalang o fihla le ho ts'oaroa ka mokhoa o potlakileng, o ts'oanang. Semixlab heater e sebelisa bohloeki bo phahameng ba graphite e nang le conductivity e phahameng ea mocheso e le substrate ho netefatsa hore mocheso o phahameng o hlokahalang o fihla le ho bolokoa ka potlako le ka mokhoa o ts'oanang.

2. Ho tšoana ho bohlokoa: Ho lumellana ha mocheso oa sebaka sa mocheso ho ama ka ho toba ho ajoa ha mocheso oa disk ea carrier, e leng eona e lekanyetsang ho tsitsa ha sekhahla sa kgolo, botenya ba epitaxial, le mahloriso a doping sebakeng se seng le se seng holim'a sephaphatha. Mocheso ofe kapa ofe oa mocheso o ka lebisa ho sekoli ho epitaxial layer le ho fapana ho hoholo ha ts'ebetso ea lisebelisoa, 'me Semixlab e ntlafatsa kabo ea tšimo ea mocheso oa mocheso ho fokotsa phapang ea mocheso ka moralo o rarahaneng le mokhoa oa ho etsa tlhahiso.

3. Mathata a Botsitso ba Lik'hemik'hale: Likhase tse senyang haholo (mohlala, silane, propane, hydrogen, le likhase tse dopant) li fetisoa ka mokhoa oa epitaxial. Lithempereichara tse phahameng, likhase tsena li mabifi haholo ho graphite e tloaelehileng, e bakang tšenyo ea pele ho nako ea likarolo tsa graphite le ho lokolla likaroloana tsa carbon tse silafatsang kamore ea ho itšoara le li-wafers, tse amang haholo boleng ba epitaxial layer le lihlahisoa tsa lisebelisoa.

Semixlab TaC Coating Solution le Melemo:

Ke ka lebaka la liphephetso tsena Semixlab e sebelisang theknoloji ea ho roala ea Tantalum Carbide (TaC) e tsoetseng pele. TaC Coating e fa liheater tsa graphite ts'ebetso e phahameng:

1. Ho Fokotseha ho Hlahisoa ha Karolo le Kotulo e Ntlafetseng: Ka ho thibela ka katleho khoholeho le ho chekoa ha karoloana ea graphite, TaC Coating e fokotsa mohloli oa likaroloana tse tsoang phaposing ea tšebetso mohloling. Ka ho thibela ka katleho khoholeho ea mobu le pulverization ea substrate ea graphite, ho roala ha TaC ho fokotsa mohloli oa ntho e nyenyane ka kamoreng ea ts'ebetso ho tloha mohloling, e leng ea bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea liphaphatha tsa boleng bo phahameng ba SiC epitaxial tse nang le sekoli se tlaase, 'me ka ho toba se tlatsetsa lihlahisoa tsa sesebelisoa sa ho qetela.

2. Ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale le ho hanyetsa kutu: Ho tsitsisa ha lik'hemik'hale tse phahameng haholo tsa TaC le khatello ea mouoane e tlase li sireletsa karoloana ea graphite hore e se ke ea sebetsana le likhase tse sebetsang mochesong o phahameng le libakeng tse senyang. Sena se fokotsa haholo tšilafalo ea likaroloana ka lebaka la khoholeho ea mocheso, e tiisa ho hloeka ha tikoloho ea ho hōla ha epitaxial, le ho ntlafatsa boleng ba lera la epitaxial le ho tšepahala ha sesebelisoa.

3. Ts'ebetso e tsitsitseng le ho Pheta-pheta: Mofuthu o tsitsitseng, oa nako e telele ke motheo oa li-inter-batch (batch-to-batch) le intra-batch (ka har'a-batch) botsitso ba ts'ebetso le ho pheta-pheta, tseo Semixlab's TaC-coated graphite heaters e fanang ka tsona, ho etsa hore mokhoa oa hau oa SiC epitaxial o tšepahale le ho laoleha.

4. Bophelo bo atolositsoeng le ho fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebetso: Botenya le ho khomarela ka matla ha TaC e koahelang, e ntlafatsa haholo ho tšoarella ha heater ea graphite, e lelefatsa bophelo ba eona ba ts'ebeletso tlas'a maemo a thata a ts'ebetso. Sena se bolela hore ho na le nako e fokolang ea ho lokisoa le ho fokotsa likarolo tse ling khafetsa, e leng ho fokotsang litšenyehelo tsohle tsa thepa ea bareki.

5. Ho boloka Ts'ebetso e Ntle ea Thermal: Ts'ebetso ea ho roala ea TaC e ntlafalitsoeng ka hloko e fana ka tšireletso e ntle haholo ha e ntse e boloka ka hohle kamoo ho ka khonehang boleng bo phahameng ba mocheso oa graphite substrate, ho netefatsa hore mocheso o fetisetsoa ka mokhoa o nepahetseng le ka mokhoa o ts'oanang ho terei ea sejari sa wafer le liphaephe tse kaholimo bakeng sa taolo e nepahetseng ea mocheso.