Sesebelisi sa Lipolanete se koahetsoeng ke SiC

Semixlab's SiC Coated Planetary Susceptor e entsoe bakeng sa moloko o latelang oa semiconductor epitaxy le ts'ebetso ea mocheso ea CVD, moo ho tšoana ha mocheso, kholo e se nang sekoli, le botsitso ba kamore ea nako e telele li leng bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea sesebelisoa. Sekepe sena se etselitsoe ka ho khetheha libaka tse nang le mocheso o phahameng o fetang 1500°C le k'hemistri e rarahaneng ea khase e fumanehang hangata lits'ebetsong tsa epitaxial tsa silicon, SiC, le GaN. Seaparo sa SiC se ikhethileng se fana ka lera le teteaneng, le hloekileng haholo le sireletsang le thibelang tšilafalo le ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng, ea potoloho e telele linthong tse hlokang tlhahiso.

Ditshebetsong tsa epitaxial tsa semiconductor tse kang kgolo ya Si, SiC, le GaN, di-wafer tsa polanete di sebetsa e le sethala sa mantlha sa mechini le sa thermal bakeng sa ho tsamaisa di-wafer sebakeng sa karabelo. Ho tsamaisa ha tsona mocheso ka botlalo ho nolofalletsa kabo e nepahetseng ya mocheso, ha sistimi ya ho potoloha ha polanete e netefatsa ho lekana ha sekgahla sa kgolo, ho kenngwa ha dopant, le boleng ba kristale ho pholletsa le di-wafer tse ngata. Tlhahisong ya disebediswa tsa motlakase tsa SiC, esita le ho fetofetoha ha mocheso wa substrate wa ±1-2% ho ama bongata ba ho falla ha sefofane sa basal le tshebetso ya sesebediswa. Ho tshwana ho matlafaditsweng ha mocheso ho fanwang ke di-wafer tsa polanete tse kwahetsweng ke SiC ho thusa di-fabs ho fokotsa bongata ba diphoso, ho ntlafatsa ho tshwana ha botenya, le ho eketsa chai ya sehlopha ho ya ho sehlopha.

Ka nqane ho lits'ebetso tsa epitaxial, susceptor ena e boetse e bohlokoa haholo ts'ebetsong ea ho hasana ha mouoane oa lik'hemik'hale le ho kenya mocheso, e sebetsa e le sebopeho se tsitsitseng sa mocheso pakeng tsa mohloli oa mocheso le bokaholimo ba wafer. Litšobotsi tsa eona tsa bokaholimo bo se nang masala, bo nang le likaroloana tse tlase li fokotsa likotsi tsa tšilafalo nakong ea potoloho e telele ea mocheso, li sireletsa li-wafer hore li se ke tsa phunya, ho thehoa ha likaroloana, kapa tšilafalo ea mokokotlo. Ha e bapisoa le likopano tsa tšehetso tse tloaelehileng tse thehiloeng ho graphite, moralo oa sekoahelo sa Semixlab oa SiC o atolosa bophelo ba ts'ebeletso haholo, o fokotsa nako ea ho se sebetse bakeng sa ho hloekisa le ho nchafatsa, 'me o fana ka litšenyehelo tse tlase bakeng sa mela ea tlhahiso e phahameng.

Semixlab SiC Coated Planetary Susceptor ka 'ngoe e etsoa ka ho sebelisa li-substrate tsa graphite tse hloekileng haholo le theknoloji e tsoetseng pele ea ho beoa ha sekoahelo sa CVD SiC ho netefatsa matla a ho khomarela sekoahelo, ho tšoana ha botenya, le ho hanyetsa ho ts'oaroa ke mocheso. Sehlahisoa sena se fana ka litekanyo le litlhophiso tse ka fetoloang ho amohela liforomo tse etellang pele tsa epitaxial tse sebelisoang tlhahisong ea lisebelisoa tsa semiconductor tse kholo. Litšebeletso tsa tekheniki tsa Semixlab li kenyelletsa tlhahlobo ea ts'ebetso ea sekoahelo, boeletsi ba ho lumellana ha kamore, le tsamaiso ea potoloho ea bophelo, e etselitsoeng ho thusa masela ho holisa bokhoni, ho boloka chai, le ho ntlafatsa potoloho ea tlhahiso ea lisebelisoa. Re labalabela ka tieo lipotso tsa hau tse ling.