Seketsoana sa Quartz bakeng sa Phallo ea Ts'ebetso ea Wafer

Seketsoana sa rona sa Quartz ke sejari sa silika sa silika se entsoeng ka bohloeki bo holimo se etselitsoeng ts'ebetso ea ho hasana ha ho etsoa li-semiconductor. E etselitsoe ho mamella mocheso o phahameng le maemo a mabifi a ts'ebetso, e fana ka ts'ehetso e tsitsitseng ea mochini ha e ntse e fokotsa tšilafalo, e netefatsa ts'ebetso e nepahetseng nakong ea ts'ebetso ea wafer.

Ntlafatsa Tšebeliso ea Phatlalatso ho Ts'ebetso ea Wafer

Ho fihlella kabo e tšoanang ea li-dopant ho li-wafers tsohle ts'ebetsong ea phallo ho bohlokoa bakeng sa ts'ebetso ea sesebelisoa sa semiconductor le chai. Ho tšoana ho fapaneng ho ipapisitse le taolo ea mocheso, matla a phallo ea khase, boemo ba wafer, le ho lumellana ha thepa. Ka tlase ke tlhahlobo e qaqileng ea tekheniki ea lintlha tsa bohlokoa le tharollo:

1. Optimized Thermal Management

Bothata: Kabo e sa leka-lekaneng ea mocheso ka har'a li-wafers kapa ka har'a tube ea sebōpi e baka maemo a fapaneng a phallo, e lebisang ho phapano ea mahloriso a radial kapa axial.

tharollo:

● Sebelisa liketsoana tsa quartz tsa boemo bo holimo tse nang le sebaka se nepahetseng ho fokotsa mocheso oa mocheso.

● Kenya ts'ebetsong taolo ea sebōpi sa libaka tse ngata ho lokisa mocheso hantle ka bolelele ba phapu ea phallo.

● Butle-butle lithempereichara tsa ho nyoloha le ho theoha ho fokotsa mocheso oa mocheso le libaka tse chesang tse sebakeng sa heno.

2. Phallo ea Khase e Laolehileng le Phallo ea Dopant

Bothata: Phallo ea khase e sa ts'oaneng e lebisa tlhokomelong e fapaneng ea dopant libakeng tse fapaneng tsa wafer, e bakang botebo bo sa tsitsang ba mateano.

tharollo:

● Rala libaka tsa seketsoana le sebaka sa sekhechana ho khothaletsa phallo ea khase ea laminar ho potoloha sephaphatha ka seng.

● Fetola sebaka seo ho kenang khase ho sona le maemo a phallo ho felisa libaka tse shoeleng le moferefere.

● Hloekisa liketsoana kamehla e le hore u se ke ua tšela metsi a ka thibelang likanale tsa khase.

3. Wafer Positioning le Load Configuration

Bothata: Ho bokellana ka tsela e sa nepahalang ea wafer kapa chebahalo ho ka baka litlamorao tsa moriti le ho pepesehela ka mokhoa o sa tšoanelang likhase tse phatlollang.

tharollo:

● Boloka sebaka se tsitsitseng sa sekotjana ho latela boholo ba sekontiri le bophara ba sebōpi.

● Qoba ho tlala seketsoana; boloka bohole bo nepahetseng ba wafer-to-wafer.

● Fetola kapa flip wafers ka mekhoa ea mefuta e mengata ha ho hlokahala ho leka-lekanya ho pepeseha.

Ts'ebetsong ea li-wafer, li-Quartz Boats li bapala karolo ea mesebetsi e mengata - ho tloha ts'ehetso e nepahetseng ea mochini, taolo e ts'oanang ea mocheso, ho pepeseha ha khase e laoloang, phokotso ea tšilafalo, ho ea ho ts'ebetso e phahameng ea li-batch. Khetho e nepahetseng ea seketsoana, tlhokomelo, le tlhophiso ea seketsoana ke ea bohlokoa ho etsa bonnete ba hore profaele ea phallo e tsitsitseng, chai e ngata, le ts'epahalo ea sesebelisoa. Semixlab e amohela tlhahlobo ea hau ea tlhoko ea sehlahisoa.

Likopo tsa Boats tsa Quartz Mekhoeng ea Phallo

Likoloi tsa Quartz ha li na li-wafer tse ts'oarellang ts'ebetsong ea phallo; moralo oa bona le thepa ea bona e ama ka kotloloho boleng ba liphaephe, ho tšoana ha dopant, le chai. Ka tlase ke tlhaloso e qaqileng ea lisebelisoa tsa bona tsa bohlokoa:

1. Tšehetso ea Mechanical le Precise Wafer Positioning

Likepe tsa Quartz li fana ka ts'ehetso e tsitsitseng e otlolohileng bakeng sa li-wafers tse ngata, ho thibela ho kobeha, ho thella, kapa ho phunya nakong ea potoloho ea mocheso o phahameng oa mocheso.

Moralo oa Slot le Tokiso: Sekotjana se seng le se seng se etselitsoe ho boloka sebaka se tsitsitseng sa wafer-to-wafer, se bohlokoa bakeng sa ts'ebetso ea batch. Sebaka se nepahetseng se tiisa:

2. Tsamaiso ea Mocheso

Katoloso e tlase ea mocheso oa Quartz le botsitso bo phahameng ba mocheso li e lumella ho boloka bots'epehi ba sebopeho mochesong o tloaelehileng ho tloha ho 800 ° C ho isa ho 1,200 ° C.

Kabo e sa Tšoaneng ea Mocheso: Geometry ea seketsoana le matla a phahameng a mocheso a quartz a thusa ho boloka esita le mocheso o holim'a metsi ho pholletsa le beche eohle, e amang ka kotloloho li-profile tsa dopant.

3. Tsamaiso ea Phallo ea Khase le Phano ea Dopant

Moralo oa likepe tsa quartz o netefatsa phallo ea laminar ea likhase tsa tšebetso ho potoloha sephaphatha se seng le se seng, ho thibela libaka tse shoeleng le ho se leka-lekane ha mahloriso a lehae.

Sebaka se nepahetseng se lumella esita le ho pepesehela likhase tsa oxidizing kapa dopant, ho netefatsa botebo bo ts'oanang ba mateano le litšobotsi tsa motlakase tse tsitsitseng.

4. Thibelo ea Tšilafalo

Quartz ha e kenelle ka lik'hemik'hale mochesong o phahameng, e fokotsa tšilafalo ea tšepe le ho hlahisa likaroloana, e leng lintlha tse tloaelehileng tse fokotsang lihlahisoa lits'ebetsong tsa phallo.

Botšepehi ba Bokahohle: Libaka tse boreleli le tse se nang sekoli li fokotsa ho ntšoa ha likaroloana. Ho roala kapa ho belisoa ho ka sebelisoa bakeng sa nako e telele ea bophelo ka mekhoa e mabifi.

5. Phatlalatso ea Batch le Ts'ebetso e Atlehang

Likoloi tsa Quartz li entsoe ho eketsa palo ea li-wafers ka sehlopha ntle le ho senya ho tšoana ha mocheso kapa phallo ea khase. Sena se lumella ho feta, ho bohlokoa haholo bakeng sa tlhahiso ea semiconductor e phahameng haholo.