Sesupa-tsela sa Epi sa LED sa UV

UV LED Epi Susceptor ke karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso kholong ea epitaxial ea li-LED tsa ultraviolet. Maemo a mocheso o feteletseng, litaba tse ngata tsa aluminium, le lifensetere tse tšesaane tsa ts'ebetso li beha litlhoko tse boima haholo ho moralo oa thepa le sebopeho. Litsamaisong tsa tšepe tsa organic chemical vapor deposition (MOCVD) bakeng sa ho etsa li-LED tsa UV tse thehiloeng ho AlN le AlGaN, substrate e sebetsa e le sebopeho sa mantlha pakeng tsa tikoloho ea reactor le li-wafer tsa epitaxial, e susumetsa ka kotloloho ho tšoana ha mocheso, botsitso ba phallo ea khase, le boleng ba lera la epitaxial ka kakaretso.

Sesebediswa sa UV LED Epi Susceptor se sebedisa graphite ya maemo a semiconductor e le substrate ya sona, e sireleditsweng ke seaparo sa silicon carbide (SiC) se hlwekileng haholo, se etseditsweng tshebetso e tshepahalang tlasa maemo a tlwaelehileng a tshebetso ya mocheso o phahameng le e senyang ya kgolo ya epitaxial ya UV LED. Substrate ya graphite e fana ka tsamaiso e ntle ya mocheso le karabelo e potlakileng ya mocheso, e nolofalletsang taolo e nepahetseng ya mocheso wa bokahodimo ba wafer nakong ya kgolo ya AlGaN e nang le mocheso o phahameng ya aluminium. Tshebetso ena ya mocheso e bohlokwa bakeng sa ho fihlella botenya bo tshwanang, sebopeho sa aluminium se laolwang, le maqhubu a tsitsitseng a mosi ho pholletsa le wafer.

Sekoahelo sa Silicon Carbide se bapala karolo ea bohlokoa ho netefatseng botsitso ba ts'ebetso ea nako e telele. Tikolohong ea epitaxy ea LED ea UV e khetholloang ke sekhahla se phahameng sa phallo ea NH₃ le li-precursors tsa metalorganic tse arabelang haholo, graphite e sa sireletsehang e kotsing ea ho bola, tlhahiso ea likaroloana le tšilafalo. Sekoahelo se teteaneng sa SiC se arola substrate ea graphite ho khoholeho ea lik'hemik'hale ka kotloloho, se fokotsa haholo ho thehoa ha likaroloana le ho tsoa ha lintho ha ka nako e ts'oanang se eketsa ho hanyetsa potoloho ea mocheso le ho bola ha lik'hemik'hale. Sena se kenya letsoho tikolohong e hloekileng ea reactor le tlhahiso e ntlafetseng ea wafer, haholo-holo tlhahisong e phahameng.

Tlhahisong ea LED ea UV, substrate ha e sebetse feela e le mojari oa wafer empa hape e le ntlha ea bohlokoa e khethollang ho tšoana ha tšimo ea mocheso le phallo. Geometry ea eona le litšobotsi tsa bokaholimo li ntlafalitsoe ho fokotsa litlamorao tsa bohale le li-gradients tsa mocheso, ka hona li tšehetsa kholo e tsitsitseng ea epitaxial ho li-wafer tse le 'ngoe kapa tse ngata. Tshebetso e tsitsitseng le e ka phetoang ea mocheso e nolofalletsa taolo e tiileng ea ts'ebetso, e leng ea bohlokoa haholo bakeng sa maqhubu a tebileng a ultraviolet.

Sesebediswa sa Epi Susceptor sa LED sa UV se entswe bakeng sa nako e telele ya bophelo le tshebetso e tsitsitseng ya sehlopha ho ya ho sehlopha, e fokotsang makgetlo a tlhokomelo le ditjeo tsohle tsa beng. Motswako wa motheo wa graphite wa boleng bo hodimo le seaparo se tiileng sa SiC o nolofalletsa botsitso ba boholo le botšepehi ba bokahodimo nakong yohle ya tlhahiso e telele, ho thusa di-fabs ho kenya diresepe tse ntlafaditsweng tsa tshebetso le ho boloka chai e ngata ka nako e telele.

Jwalo ka karolo ya karolo e tswetseng pele ya Semixlab ya epitaxial, UV LED Epi Susceptor ena e bontsha kutlwisiso e tebileng ya khamphani ya ditlhoko tsa tshebetso ya LED ya UV le ho tsamaellana ha disebediswa. E loketse ditshebediso tsa epitaxial tsa aluminium nitride (AlN) le aluminium gallium nitride (AlGaN) tse hlokang ho nepahala ho ikgethang ha mocheso, ho tshwarella ha dikhemikhale, le ho phetwa ha tshebetso. Jwalo ka moetsi ya ka sehloohong wa China wa SiC-coated UV LED Epi Susceptors, Semixlab e ntse e ikemiseditse ho fana ka mahlale a tswetseng pele le ditharollo tsa dihlahiswa tse ikgethileng bakeng sa ditshebetso tsa epitaxial tsa LED tse tebileng tsa ultraviolet tsa semiconductor. Re labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.