Ke Hobaneng ha Masale a ho Tiisa a SSiC a Sebelisoa Haholo Ts'ebetsong ea Semiconductor Etch?

Tlhahisong ea semiconductor ea sejoale-joale, ts'ebetso ea ho phunya ke e 'ngoe ea mehato e thata ka ho fetisisa. Mocheso o phahameng, likhase tse matla, le lipotoloho tse potlakileng li ka senya lisebelisoa kapele, haholo-holo litiiso tse bolokang kamore e sa kene moea. Litiiso tsa setso tsa graphite kapa tsa ceramic hangata li sitoa ho sebetsana le maemo ana, e leng se lebisang tlhokomelong khafetsa le ho se sebetseng. Haufinyane tjena, masale a ho tiisa a sintered silicon carbide (SSiC) Li hapile tlhokomelo hobane li tšoarella haholoanyane ebile li hanela lik'hemik'hale. Li mamella mocheso le mafome hamolemo, li lumella lisebelisoa ho sebetsa nako e telele le ka mokhoa o tšepahalang haholoanyane, e leng molemo o moholo bakeng sa lifeme tse lekang ho boloka tlhahiso e phahameng.

Litlhoko tsa ts'ebetso ea ho tiisa tikolohong ea plasma etch

Litsamaisong tsa ho tjhesa ka plasma, masale a ho tiisa a bapala karolo ea bohlokoa ho bolokeng ts'ebetso e tsitsitse le kamore e hloekile, 'me a tobana le maemo a mang a thata ka ho fetisisa tlhahisong ea semiconductor. Ka hare ho sesebelisoa sa ho tjhesa, plasma e nang le matla a mangata, likhase tse arabelang, le liphetoho tse potlakileng tsa mocheso li ka senya thepa e sa lokelang mosebetsi kapele. Esita le ho lutla ho honyenyane ho ka lumella likhase tsa ts'ebetso ho tsoa kapa litšila ho kena, ho ama ho tšoana ha etch le tlhahiso ea wafer. Hore e sebetse hantle, lesale la ho tiisa le tlameha ho sebetsana le ho futhumatsa le ho pholisa khafetsa ntle le ho petsoha kapa ho etsa likheo, ho hanela tlhaselo e senyang ea likhase tse ngata tsa etch, le ho boloka botsitso ba mechini tlas'a liphetoho tsa khatello le khatello. Lisebelisoa tsa setso tsa graphite kapa tsa ceramic hangata li thatafalloa ho fihlela litlhoko tsena tsohle, li senyeha butle-butle ha nako e ntse e ea 'me li siea likaroloana tse ka silafatsang li-wafer. Sintered silicon carbide, kapa SSiC, e hlahile e le mokhoa o mong o matla. Thepa ea eona ea thepa e e lumella ho mamella mocheso o phahameng ka katoloso e nyane, ho hanela tšenyo ea lik'hemik'hale, le ho boloka sebopeho sa eona ka lipotoloho tse ngata. Ho tsitsa hona ho netefatsa ts'ebetso e ka boleloang esale pele ho tloha sehlopheng ho ea ho sehlopha le ho fokotsa litšitiso tsa tlhokomelo. Bakeng sa baenjiniere ba sebelisang lisebelisoa tsa ho tjhesa ka plasma, ba sebelisa Masale a SSiC e ka etsa phapang ea sebele, ea ntlafatsa katleho ea tlhahiso le boleng ba li-wafer tse hlahisoang, e leng ntho ea bohlokoa tlhahisong ea li-semiconductor tse nang le bophahamo bo phahameng.

Thepa ea lik'hemik'hale le ea mechine ea carbide ea silicon e sintered

Carbide ea silicon e sintered, kapa SSiC, ke thepa e hahiloeng ho sebetsana le maemo a thata a lits'ebetso tsa semiconductor etch hamolemo haholo ho feta thepa e mengata ea setso ea ho tiisa. Ka lik'hemik'hale, e mamella hoo e batlang e le likhase tsohle tse arabelang tse sebelisoang ho etching ka plasma, ho kenyeletsoa likhase tse thehiloeng ho fluorine le chlorine, kahoo e hanela ho bola le ho senyeha esita le ka mor'a lipotoloho tse makholo kapa tse likete. Ka lehlakoreng le leng, litiiso tse tloaelehileng tsa graphite kapa alumina li ka senyeha butle-butle, tsa siea likaroloana tse nyane tse ka silafatsang li-wafer. Ho tsitsa hona ha lik'hemik'hale ho boloka ts'ebetso ea etch e hloekile ebile e tsitsitse haholoanyane. Ka mechine, SSiC e matla haholo ebile e thata, e na le sebopeho se teteaneng, se ts'oanang se hanelang ho petsoha le ho fetoha tlas'a mocheso o phahameng le khatello ea mechini. Masale a ho tiisa lisebelisoa tsa etch ka har'a plasma a hatelloa khafetsa ha kamore e bokelloa le ho hatelloa, 'me Masale a SSiC e boloka sebopeho sa tsona nakong ea lipotoloho tsena, e netefatsa hore e tiisoa ka thata nako le nako. Katoloso ea eona e tlase ea mocheso e boetse e fokotsa likheo tse ka sitisang moea o kenang ka kamoreng. Ho feta moo, SSiC e hanela ho tsofala haholo, e mamella khohlano khahlanong le libaka tse kopanang ntle le ho petsoha kapa ho phatloha, e leng se eketsang nako ea bophelo ba lesale le ho fokotsa nako ea ho se sebetse ha tlhokomelo. Ka kakaretso, motsoako oa khanyetso ea lik'hemik'hale, matla a mechini, botsitso ba mocheso le ho tšoarella ho etsa hore SSiC e be khetho e tšepahalang bakeng sa baenjiniere, e thusang lisebelisoa tsa ho shapa ho sebetsa nako e telele, ho hloeka le ho bolela esale pele tlas'a maemo a mabifi ka ho fetisisa.

Papiso pakeng tsa litiiso tsa SSiC, graphite, le graphite tse koahetsoeng

Ha ho kgethwa mehele ya ho kwala bakeng sa disebediswa tsa ho ntsha plasma, ho thusa ho utlwisisa dipharologanyo pakeng tsa graphite, graphite e kwahetsweng, le SSiC, kaha thepa ka nngwe e sebetsa ka tsela e fapaneng tlasa maemo a fapaneng. Graphite e bile kgetho ya setso hobane e bonolo ho e sebedisa mme e theko e tlase, mme e sebetsana le dithempereichara tse itekanetseng le dikgatello hantle. Leha ho le jwalo, dibakeng tse mabifi tsa etch, graphite e ka tsofala kapele, ya arabela le dikhase, mme ya hlahisa dikarolwana, e leng se eketsang dikotsi tsa tshilafatso le ditlhoko tsa tlhokomelo. Katoloso ya yona e phahameng ya mocheso e boetse e etsa hore e be le tshekamelo ya ho etsa dikgeo nakong ya potoloho ya ho futhumatsa le ho phodisa. Graphite e kwahetsweng e ntlafatsa mefokolo ena ka ho eketsa lera le sireletsang, hangata la thepa e thata jwalo ka tantalum carbide, e eketsang khanyetso ya dikhemikhale le ho diehisa kgoholeho ya mobu. Le hoja graphite e kwahetsweng e nka nako e telele ho feta graphite e tloaelehileng, lera le ka qetella le tabohile, mme diphoso lera le ka fokotsa katleho, la pepesa graphite e ka tlase. Sintered silicon carbide, kapa SSiC, e fana ka tshebetso e matla ka ho fetisisa bakeng sa ditsamaiso tse batlang tsa etch. E ke ke ya sebetsa ka dikhemikhale ho dikhase tse ngata tsa etch, e na le katoloso e tlase haholo ya mocheso, mme e boloka matla a mechini ho feta dipotoloho tse ngata. Ho fapana le graphite e koahetsoeng, thepa ea eona e tsitsitse hohle, kahoo ha ho na kotsi ea hore karolo e fokolang ea motheo e pepesoe. Ho tšoarella hona ho fokotsa litšitiso tsa ts'ebetso, tlhahiso ea likaroloana le tlhokomelo, e leng se etsang hore SSiC e be khetho e khethiloeng bakeng sa ho phunya plasma ka bongata bo phahameng, moo boleng ba nako ea ho sebetsa le oafer li leng bohlokoa haholo, ha graphite kapa graphite e koahetsoeng e ka amoheleha maemong a sa hlokeng haholo.

Sebelisa mabokose a ommeng, CVD, le likamoreng tsa ts'ebetso ea vacuum

Masale a ho tiisa a SSiC li ntse li ata haholo likamoreng tse fapaneng tsa ts'ebetso ea semiconductor hobane li ka mamella maemo a mang a thata ka ho fetisisa indastering. Lisebelisoang tse omileng tsa etch, tikoloho ea plasma e mabifi haholo, ka likhase tse arabelang joalo ka CF₄, SF₆, le Cl₂ li hlasela thepa e mengata ea setso. Masale a SSiC a hanela ho bola ho tsoa likhase tsena 'me a boloka tiiso e tiileng esita le ka ho futhumatsa le ho pholisa ka potlako, e leng se thusang ho boloka ho tšoana ha etch le ho fokotsa tšilafalo e leng ntlha ea bohlokoa bakeng sa li-node tse tsoetseng pele moo esita le likaroloana tse nyane li ka senyang wafer. Likamoreng tsa chemical vapor deposition (CVD), mocheso hangata o feta 1,000°C, 'me li-precursor tse senyang li ka senya kapele litiiso tsa graphite kapa tsa ceramic. Khanyetso ea lik'hemik'hale ea SSiC le botsitso ba mocheso li lumella lipotoloho tse telele tsa deposition ntle le ho hloleha ha setiiso, ho ntlafatsa nako ea ho sebetsa ha sesebelisoa le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhokomelo. Likamore tsa ts'ebetso ea vacuum le tsona li rua molemo ho SSiC, kaha ho fihlela vacuum e phahameng haholo ho hloka litiiso tse sa tsoeng ke khase kapa ho senyeha tlas'a liphetoho tsa khatello. Katoloso e tlase ea mocheso ea SSiC le thepa e matla ea mechini li thusa ho boloka vacuum e tiileng, e leng ea bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tse kang deposition ea lera la athomo kapa plasma etching moo bohloeki ba khase le botsitso ba khatello li amang boleng ba wafer ka kotloloho. Liphihlelo tse ntle tsa lefats'e la 'nete li bontša hore ho fetoha ho tloha ho graphite e koahetsoeng ho ea ho SSiC ka lisebelisoa tse omileng tsa 300 mm ho atolosa bophelo ba lisebelisoa, ho fokotsa likoli tse amanang le likaroloana, le ho fokotsa nako ea ho sebetsa. Lisebelisoang tsa CVD, SSiC e thusa ho boloka ho tšoana ha ho koahela ka nako e telele. Ka kakaretso, SSiC e kopanya khanyetso ea lik'hemik'hale, ho tšoarella le botsitso ba mocheso, e leng se etsang hore e be khetho e tšepahalang haholo ho pholletsa le mefuta e mengata ea likamore tlhahisong ea sejoale-joale ea semiconductor.