Ke Hobane'ng ha Lisebelisoa tsa ho Futhumatsa tsa Graphite li le Bohlokoa Mekhoeng ea Semiconductor ea Mocheso o Phahameng?

Tlhahisong ea semiconductor, ho laola mocheso ke e 'ngoe ea likarolo tsa bohlokoa ka ho fetisisa tsa ts'ebetso. Mehato e mengata, joalo ka ho annealing ka wafer, ho hasana, le ho kenngoa ha mouoane ka lik'hemik'hale, e hloka mocheso o phahameng haholo le o nepahetseng. Lintho tse futhumatsang tsa graphite li bohlokoa bakeng sa sena hobane li ka mamella mocheso o feteletseng ntle le ho senyeha le ho fana ka mocheso o lekanang. Ho tsitsa hona ho bohlokoa kaha liphetoho tse nyane tsa mocheso li ka ama sehlopha sohle sa li-chip. Ho tseba hore na ke hobane'ng ha graphite e sebelisoa le hore na e sebetsa joang ho thusa baenjiniere le litsebi ho boloka tlhahiso e tšepahala ebile e sebetsa hantle ha ba ntse ba thibela liphoso tse turang.

Karolo ea likarolo tsa ho futhumatsa tsa graphite ka har'a li-epitaxy, diffusion, le oxidation ovens

Lintho tse futhumatsang tsa graphite li bapala karolo ea bohlokoa lits'ebetsong tse ngata tsa mocheso o phahameng tlhahisong ea semiconductor, ho kenyeletsoa epitaxy, diffusion, le oxidation. Ho epitaxy, mekhahlelo e mesesaane ea silicon ea kristale e lengoa holim'a li-wafer, ts'ebetso e hlokang mocheso o ts'oanang haholo hangata o fetang 1000°C. Likarolo tsa graphite li futhumatsa kapele 'me li boloka mocheso o tsitsitseng ho pholletsa le wafer, li thibela liphoso tse kang kholo ea lera le sa lekanang kapa ho falla ha kristale, e leng se ka fokotsang boleng ba chip le ho fokotsa chai. Li-oven tsa diffusion, moo li-dopants li eketsoang ho li-wafer tsa silicon, le tsona li itšetleha ka graphite bakeng sa taolo e nepahetseng ea mocheso. Nakong ea ho hasana, li-wafer li pepesetsoa likhase tsa mocheso o phahameng e le hore liathomo li ka fallela ka har'a lattice ea silicon. Bokhoni ba graphite ba ho mamella mocheso ona ntle le ho arabela le likhase bo netefatsa ts'ebetso e hloekileng le e ka boleloang esale pele. Ho futhumatsa ho sa lekanang ho ka lebisa kabong e sa tloaelehang ea dopant, e amang ts'ebetso ea transistor, empa graphite e fana ka botsitso bo hlokahalang ho qoba mathata a joalo. Li-oven tsa oxidation, tse holisang mekhahlelo e mesesaane ea silicon dioxide holim'a li-wafer, ka ho tšoanang li itšetlehile ka likarolo tsa graphite ho boloka mocheso o nepahetseng hobane sekhahla sa kholo ea oxide se na le kutloelo-bohloko haholo mochesong. Graphite e dumella baenjiniere ho hlahisa dikarolo tse lekanang tsa oxide tse hlokahalang bakeng sa dielectric tsa heke le ho kenya mocheso. Ho pholletsa le ditshebediso tsena tsohle, graphite e etsa ho fetang feela ho fana ka mocheso, e netefatsa ho tshepahala, ho pheta-pheta, le tshireletso kgahlanong le tshilafatso kapa matheba a chesang a ka senyang di-wafer. Ho tsitsa ha yona ka dikhemikhale le ho tsamaisa mocheso hantle ho etsa hore e be kgetho e tshepahalang, mme baenjiniere ba kgetha dikarolo tsa graphite ka hloko bakeng sa tshebetso ya tsona le bophelo ba tsona bo bolelele, ba tseba hore esita le diphetoho tse nyane tsa mocheso di ka ba le ditlamorao tse kgolo tlhahisong ya semiconductor.

Hobaneng ha graphite e sebetsa hantle ho feta li-heater tsa tšepe maemong a mocheso o phahameng haholo

Lits'ebetsong tsa semiconductor tsa mocheso o phahameng haholo, lintho tse futhumatsang tsa graphite Li fana ka melemo e 'maloa ho feta li-heater tsa tšepe. Graphite e ka mamella mocheso o phahameng haholo ntle le ho qhibiliha kapa ho lahleheloa ke matla, ha litšepe tse kang tungsten kapa molybdenum hangata li hloka sepakapaka se sireletsang ho thibela oxidation. Graphite ka tlhaho e hanela mocheso o feteletseng libakeng tse sa sebetseng kapa tsa vacuum, e leng se etsang hore e tšepahale haholoanyane bakeng sa lits'ebetso tse fetang 1200°C. E boetse e aba mocheso ka ho lekana haholo ka lebaka la ho tsamaisa mocheso ha eona hantle. Ho fapana le li-heater tsa tšepe, tse ka hlahisang libaka tse chesang kapa mocheso o sa lekanang, graphite e netefatsa mocheso o tsitsitseng ho pholletsa le kamore ea sebōpi, e leng sa bohlokoa bakeng sa kholo ea kristale le ho hasana ha dopant kaha esita le liphetoho tse nyane li ka baka liphoso le ho fokotsa chai. Graphite e arabela kapele liphetohong tsa matla, e lumella taolo e nepahetseng ea lipotoloho tsa ho futhumatsa le ho pholisa, ntlha ea bohlokoa lits'ebetsong tse kang ho kenella ha mocheso ka potlako kapa ho hasana ka mehato e mengata. Ho tsitsa ha eona ka lik'hemik'hale mochesong o phahameng ke molemo o mong o moholo, kaha litšepe li ka arabela ka likhase tsa ts'ebetso kapa oxidation, tse ka 'nang tsa silafatsa li-wafer. Tlhaho ea ho se sebetse ha Graphite sepakapakeng se laoloang e boloka lits'ebetso li hloekile ebile e fokotsa liphoso. Ka lebaka la bokhoni ba eona ba ho sebetsana le mocheso o feteletseng, ho fana ka mocheso o ts'oanang, ho arabela kapele, le ho hanela lik'hemik'hale, graphite ke khetho e ratoang bakeng sa lionto tse sebelisoang mehatong e bonolo le e nepahetseng ea tlhahiso ea semiconductor, ho netefatsa ho tšepahala ho hoholo le boleng bo tsitsitseng ba chip.

Tšusumetso ea ho tšoana ha ho futhumatsa boleng ba wafer le botsitso ba ts'ebetso

Ho tšoana ha ho futhumatsa ho bohlokoa bakeng sa ho boloka boleng ba wafer le botsitso ba ts'ebetso tlhahisong ea semiconductor. Li-wafer li na le kutloelo-bohloko haholo ho liphapang tsa mocheso, 'me esita le likhato tse' maloa ho pholletsa le wafer e le 'ngoe li ka fetola tsela eo liathomo li tsamaeang ka eona nakong ea ho hasana kapa hore na lifilimi tse tšesaane li hola joang ka har'a epitaxy le oxidation. Ho futhumatsa ho sa lekanang ho ka baka liphoso tse kang ho sotha, ho senyeha ha kristale, kapa kabo e sa tloaelehang ea dopant, tseo kaofela li amang ts'ebetso ea chip ea ho qetela. Lintho tse futhumatsang tsa graphite thusa ho rarolla bothata bona ka ho jala mocheso ka ho lekana ho pholletsa le kamore ea sebōpi. Ho khanna ha tsona mocheso ho phahameng ho netefatsa hore mocheso o mathōkong a wafer o batla o tšoana le bohareng, e leng se etsang hore lits'ebetso li bonoe esale pele le ho tsitsa ho tloha sehlopheng se seng ho ea ho se seng. Ho futhumatsa ho sa khaotseng ho boetse ho fokotsa khatello holim'a li-wafer, ho thibela mapetso a manyane a ka senyang lipotoloho tse bonolo. Botsitso ba ts'ebetso bo boetse bo na le melemo hobane mocheso o sa lekanang o ka baka hore liketso tsa lik'hemik'hale li tsoele pele kapele haholo kapa butle libakeng tse fapaneng, e leng se fellang ka botenya bo sa tsitsang ba filimi kapa ho kenella ha dopant. Likarolo tsa graphite li fokotsa ho feto-fetoha hona, li lumella lionto ho boloka libaka tse tsitsitseng ka nako e telele, e leng habohlokoa haholo lits'ebetsong tsa mehato e mengata moo ho kheloha ho honyenyane qalong ho ka bakang mathata a maholo hamorao. Ka ho fana ka mocheso o ts'oanang le o tšepahalang, likarolo tsa graphite li thusa ho netefatsa chai e phahameng, ts'ebetso e betere ea sesebelisoa, le tlhahiso e ka boleloang esale pele, e leng se etsang hore e be karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea semiconductor ea mocheso o phahameng.

Mekhoa e tloaelehileng ea ho hloleha le lintho tse nahanoang bophelong bohle ba lisebelisoa tsa semiconductor

Leha ho le joalo lintho tse futhumatsang tsa graphite Li tšepahala haholo, ha li na tšireletso ea ho tsofala le ho hloleha qetellong. Ho tseba litsela tse tloaelehileng tseo li senyehang ka tsona le hore na hangata li nka nako e kae ho thusa baenjiniere ho rera tlhokomelo le ho thibela ho se sebetse ho sa lebelloang lisebelisoa tsa semiconductor. Bothata bo bong bo atisang ho hlaha ke ho petsoha ha 'mele. Le hoja graphite e ka mamella mocheso o phahameng, ho futhumatsa le ho pholisa ho pheta-phetoang ho baka khatello ha nako e ntse e ea. Mapetso a manyane a ka thehoa le ho hola, qetellong a fokotsa bokhoni ba karolo ea ho futhumatsa ka ho lekana kapa, maemong a boima, a etsa hore e robehe. Ho oxidation ke bothata bo bong. Graphite e tsitsitse moeeng o se nang letho kapa o se nang letho, empa ho pepesehela oksijene mochesong o phahameng ho ka senya thepa butle-butle. Ke ka lebaka leo lifono hangata li sebetsang tlas'a maemo a naetrojene, argon, kapa vacuum. Esita le oxidation e nyane e ka fokotsa conductivity le ho khutsufatsa nako ea bophelo ea karolo. Tšilafalo e ka boela ea ama ts'ebetso. Litšila likhase tsa ontong li ka lula holim'a libaka tsa graphite, tsa fokotsa phetiso ea mocheso le ho kenya liphoso ka har'a li-wafer, kahoo ho hloekisa khafetsa le ho sefa khase hantle ho bohlokoa. Bophelo bohle bo boetse bo susumetsoa ke tsamaiso ea motlakase, kaha graphite e itšetlehile ka ho futhumatsa ho hanyetsang. Ho sebetsa ka ntle ho motlakase o khothaletsoang kapa mekhahlelo ea hona joale ho ka baka libaka tse chesang tse potlakisang ho tsofala. Ha li hlokometsoe hantle, likarolo tsa graphite li ka nka lipotoloho tse makholo ho isa ho tse likete tsa mocheso. Baenjiniere ba latela lihora tsa tšebeliso le ho hlahloba likarolo bakeng sa matšoao a pele a ho petsoha, oxidation, kapa tšilafalo. Ka ho utloisisa mekhoa ena ea ho hloleha le ho latela mekhoa e metle, bahlahisi ba ka boloka lionto li sebetsa hantle 'me ba qoba ho hloka nako e ngata kapa liphoso tsa wafer.