0200-10246 Quartz GDP (Poleiti ea Kabo ea Khase)

AMAT 0200-10246 Quartz GDP (Sethala sa Kabo ea Khase) ke karolo ea quartz e kopantsoeng ka nepo e phahameng e etselitsoeng ho fana ka kabo e tšoanang ea khase le tšebelisano-'moho e laoloang ea plasma lisebelisoa tsa ts'ebetso ea semiconductor. Hangata e hlophisitsoe e le liner ea Uni-Insert e nang le paterone ea masoba a 88, e sebetsa e le sebopeho sa bohlokoa pakeng tsa litsamaiso tsa kabo ea khase ea ts'ebetso le sebaka sa karabelo ea plasma.

E entsoe bakeng sa lits'ebetso tse tsoetseng pele tsa plasma etch le CVD, karolo ena e sebetsa tlas'a maemo a feteletseng, ho kenyeletsoa:

● Ho pepesehela plasma ka matla a mangata

● Likhase tse sebetsang ka mokhoa o arabelang (mohlala, lik'hemik'hale tse thehiloeng ho fluorine le chlorine)

● Libaka tse phahameng tsa ho potoloha ha mocheso oa ताप

● Litlhoko tsa ho tšoana ha ts'ebetso e tiileng

Ho fapana le likarolo tsa tšireletso ea kamore e sa sebetseng, GDP ea Quartz ke karolo ea bohlokoa ba ts'ebetso e susumetsang ka kotloloho ho ts'oana ha phallo ea khase, kabo ea bongata ba plasma, le taolo ea boholo bo bohlokoa (CD).

Ho Semixlab Technology, di-insert tsa rona tsa Quartz GDP di etswa ka ho sebedisa quartz e hlwekileng haholo e kopantsweng le ho sebetsa ka ho nepahala ha lesoba le taolo e tiileng ya boleng, ho netefatsa tshebetso e tsitsitseng le e ka phetwang ditsamaisong tse hlokang di-semiconductor.

Boemo ba Lisebelisoa le Mesebetsi ea Ts'ebetso

Boemo ba ho kenya

Hangata GDP ea Quartz e kenngoa:

● Kopanong e ka holimo ea kamore ea ts'ebetso

● Ka hare kapa ka tlas'a shaoara

● Ka ho toba holim'a bokaholimo ba wafer, bo shebile sebaka sa plasma

E sebetsa e le sebaka sa mantlha sa ho kenya khase sebakeng sa plasma.

Mesebetsi ea mantlha

1. Kabo ea Khase e Tšoanang (Mosebetsi o ka Sehloohong)

● Paterone ea ho nepahala ea masoba a 88 e netefatsa:

● Kabo e lekanang ea likhase tsa ts'ebetso ho pholletsa le wafer

● Sekhahla sa phallo ea khase se laoloang le tsela eo se tsamaeang ka eona

Sephetho: Ho tšoana ha plasma ho ntlafetseng le sekhahla se tsitsitseng sa ho tshwaya/ho ntsha ho pholletsa le wafer.

2. Sebopeho sa Plasma le Taolo ea Botsitso

Ka ho laola kamoo likhase li kenang sebakeng sa plasma, GDP:

● E ama ho hotetsoa ha plasma le ho tswela pele ha yona

● E bopa kabo ea bongata ba plasma

Tšusumetso: Ho ntlafala ha botsitso ba ts'ebetso le ho fokotseha ha phapang lipakeng tsa li-wafer.

3. Ho Tšoana ha Ts'ebetso le Taolo ea CD

Sebopeho sa jeometri le moralo oa masoba li ama ka kotloloho:

● Ion le kabo e matla

● Dikemikhale tsa karabelo hodima bokaholimo ba wafer

Molemo: Profaele e ntlafalitsoeng ea etch, ho tšoana ha CD, le ho pheta-pheta ha wafer ho ea ho wafer.

4. Tshireletso le Taolo ea Tšilafalo ea Kamore

Jwalo ka motjhini wa quartz, GDP le yona e:

● E sireletsa likarolo tsa tšepe tsa shaoara hore li se ke tsa pepesehela plasma

● E fokotsa likotsi tsa tšilafalo ea tšepe

Mekhoa e Tloaelehileng ea ho hloleha

Ka lebaka la ho pepesehela ha eona ka kotloloho plasma le likhase tse arabelang, GDP ea Quartz e tlas'a mekhoa e 'maloa ea ho fokotsa ts'ebetso:

1. Ho kwala ha masoba (Ho ntshwa ha dihlahiswa tse itseng)

● Li-polymer kapa lihlahisoa tse ling tsa karabelo li bokellana ka har'a masoba

● Phallo ea khase e fokotsehileng kapa e sa lekanang

Tšusumetso: Tahlehelo ea ho tšoana ha kabo ea khase le ho se tsitse ha ts'ebetso.

2. Khoholeho e Bakiloeng ke Plasma

● Ho phatloha ha li-ion ho holisa bophara ba masoba

● Ho otlolla bokaholimo ho fetola matla a phallo

Tšusumetso: Liphetoho kabong ea bongata ba plasma le ho kheloha ha CD.

3. Ho Fokotsa le ho Hlahisa Dikaroloana

● Lifilimi tse bolokiloeng lia taboha ha nako e ntse e ea

● Likaroloana li kena tikolohong ea kamore

Tšusumetso: Keketseho ea bongata ba sekoli le tahlehelo ea chai.

4. Ho petsoha ha khatello ea mocheso

● Ho potoloha ha mocheso khafetsa ho baka mapetso a manyenyane

● Botšepehi ba sebopeho boa fokola ha nako e ntse e ea

Tšusumetso: Ho hloleha ha likarolo le nako e sa lebelloang ea ho se sebetse.

5. Ho Phalla ha Khase

● Ho senyeha ha nako e telele ho fetola sebopeho sa kahare sa 'mele

● Phetoho e butle-butle kabong ea khase

Tšusumetso: Ho kheloha ho poteletseng empa ho le bohlokoa ha ts'ebetso, ho thata ho e fumana.

Hobaneng o lokela ho khetha theknoloji ea Semixlab?

Ka boiphihlelo bo bongata ba thepa ea semiconductor le tlhahiso ea quartz e nepahetseng, Semixlab Technology e fana ka litharollo tsa Quartz GDP tse sebetsang hantle tse etselitsoeng libaka tse tsoetseng pele tsa plasma:

● Quartz e Hloekileng ka ho Fetisisa: E netefatsa tšilafalo e tlase le tšebelisano e tsitsitseng ea plasma.

● Ho Sebetsa ka Mechini e Mengata ka ho Nepahetseng: Boholo ba masoba, sebaka le jeometri e nepahetseng bakeng sa kabo e ntle ea khase.

● Ntlafatso ea Bokaholimo: E fokotsa tlhahiso ea likaroloana le ho ntlafatsa bohloeki ba ts'ebetso.

● Tshebetso e Atolositsoeng ya Bophelo: Ho hanyetsa ho ntsha ha lero la plasma le kgatello ya mocheso ho ntlafetse.

● Moralo o Tsamaellanang le OEM: Kopanyo e se nang sekoli le litsamaiso tsa AMAT le maemo a ts'ebetso.

GDP ea Quartz ea AMAT 0200-10246 e sebelisoa haholo ho:

● Lisebelisoa tse sebelisitsoeng tsa 200mm plasma etch systems

● Likamore tsa ts'ebetso tsa CVD le PECVD

● Mekhoa ea ho etsa li-semiconductor tse nang le tekano e phahameng

E bohlokoa haholo lits'ebetsong tse hlokang taolo e tiileng ea ts'ebetso, ho kenyeletsoa:

● Ho phunya maqhutsu a tsoetseng pele

● Tlhahiso ea li-semiconductor tsa motlakase (SiC, IGBT)

● MEMS le tlhahiso ea lisebelisoa tse ikhethang