0200-09911 Lesale la Sekoahelo sa Quartz

Lesale la Sekoahelo sa Quartz la AMAT 0200-09911 ke karolo ea quartz e hloekileng haholo e entsoeng ka mokhoa o nepahetseng e etselitsoeng ho sebelisoa litsamaisong tsa ho betla ka plasma. E sebetsa e le lesale le sireletsang le le laolang ts'ebetso le kentsoeng ka har'a kamore ea ho betla ka plasma, haholo-holo liforomong tsa ts'ebetso ea wafer tsa 200mm.

E entsoe ka quartz e kopantsoeng e hloekileng haholo, karolo ena e ntlafalitsoe bakeng sa tikoloho e feteletseng ea semiconductor e khetholloang ka:

● Ho pepesehela plasma ka matla a mangata

● Lik'hemik'hale tse arabelang (mohlala, lik'hemik'hale tse thehiloeng ho fluorine)

● Maemo a ho potoloha ha mocheso ka potlako

Ho Semixlab Technology, sehlahisoa sena se entsoe ka taolo e tiileng holim'a:

● Bohloeki ba thepa (tšilafalo e tlase ea tšepe)

● Mamello ea litekanyo (ea bohlokoa bakeng sa taolo ea ts'ebetso ea bohale)

● Qetello ea bokaholimo (ho fokotsa tlhahiso ea likaroloana)

Sena se netefatsa tshebetso e tsitsitseng lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa tlhahiso ea li-semiconductor.

Mekhoa e Tloaelehileng ea ho hloleha

Jwalo ka karolo e ka sebediswang e sebetsang tlasa maemo a thata a plasma, Ring ya Sekoahelo sa Quartz e na le mekgwa e mmalwa ya ho senyeha:

1. Khoholeho e Bakiloeng ke Plasma

● Ho otloloha ha bokaholimo ka lebaka la ho phatloha ha li-ion

● Ho lahleheloa ke thepa butle-butle ho fetola jiometri

Tšusumetso: Ho fokotseha ha ho tšoana ha etch le ts'ebetso e sa tsitsang ea ts'ebetso

2. Ho Tlosoa ha Lik'hemik'hale le Tšilafalo

● Polima kapa ho bokellana ha sehlahisoa se seng holim'a metsi

● Ho petsoha kapa ho taboha ha mocheso o ntse o potoloha

Tšusumetso: Tlhahiso ea likaroloana le tšilafalo ea wafer

3. Ho petsoha ha khatello ea mocheso

● Metsamao e pheta-phetoang ea ho futhumatsa le ho pholisa e baka mapetso a manyenyane

● Ho ata ha mapetso ho lebisang ho hloleheng ha sebopeho

Tšusumetso: Ho robeha ka tšohanyetso le nako e sa reroang ea ho phomola

4. Moloko oa Karolo

● Quartz e tsofalang e lebisa ho robeheng ha maqheku a manyane

● Ho senyeha ha bokaholimo ho lokolla likaroloana ka kamoreng

Tšusumetso: Tahlehelo ea chai le bofokoli lia eketseha

Hobaneng o lokela ho khetha theknoloji ea Semixlab?

Ho Semixlab Technology, re kopanya boiphihlelo bo tebileng ba ts'ebetso ea semiconductor le bokhoni bo tsoetseng pele ba tlhahiso ea quartz ho fana ka:

● Lisebelisoa tsa quartz tse hloekileng haholo bakeng sa ts'ebetso e hloekileng haholo

● Ho sebetsa ka nepo bakeng sa ho lumellana hantle le OEM

● Tshebetso e ntlafaditsweng ya bophelo bohle ho fokotsa ditjeo tsa beng (CoO)

● Taolo e tiileng ea boleng e tsamaellanang le litekanyetso tsa semiconductor fab

Likarolo tsa rona tse nkelang sebaka li entsoe ho fihlela kapa ho feta litlhaloso tsa OEM, ho netefatsa kopanyo e se nang sekoli le ts'ebetso e tšepahalang maemong a thata a etch.

Boemo ba Lisebelisoa le Karolo ea Ts'ebetso

Boemo ba ho kenya

Lesale la Sekoahelo sa Quartz hangata le kenngoa:

● Ho potoloha sebaka sa wafer

● Holim'a kapa haufi le moeli oa chuck ea motlakase (ESC)

● Ka hare ho sebaka seo ho pepesehelang plasma ho sona sa kamore ea ho phunya

E sebetsa e le karolo ea kopano ea taolo ea moeli, e sebetsa hammoho le likarolo tse kang mehele ea ho tsepamisa maikutlo le mehele ea moriti.

Mesebetsi ea mantlha

1. Tšireletso ea Kamore le Likarolo

Lesale le sebetsa e le thibelo ea sehlabelo, le sireletsa likarolo tsa bohlokoa (tse kang li-ESC le mabota a kamore) ho:

● Ho phatloha ha plasma ka ho toba

● Ho bola ha lik'hemik'hale

● Ho qhalana ho bakoang ke ione

Sena se eketsa bophelo ba tšebeletso ea likarolo tsa kamore tse nang le boleng bo holimo haholo.

2. Taolo ea Moeli oa Plasma le Botsitso ba Ts'ebetso

Jeometri ea boenjiniere (mohlala, liprofaele tse nang le litepisi le likarolo tse nang le li-notched) e thusa:

● Laola kabo ea sheath ea plasma haufi le moeli oa wafer

● Fokotsa ho kheloha ha phello ea moeli

● Ntlafatsa ho tšoana ha etch le taolo ea CD (boemo bo tebileng)

Sena se bohlokoa haholo-holo lits'ebetsong tsa phetisetso ea mekhoa e nepahetseng haholo.

3. Tsamaiso ea Phallo ea Khase le Lihlahisoa tse ling

Lesale la sekoahelo le tlatsetsa ho:

● Matla a phallo ea khase a laoloang moeling oa wafer

● Ho bokellana ha polymer ho fokotsehile libakeng tse sa batleheng

● Maemo a kamore a tsitsitseng nakong ea ts'ebetso e telele

Sena se tšehetsa ka ho toba ho pheta-pheta le ntlafatso ea chai.