Lesale le le Leng la Ceramic 0200-04877

Mekhoeng e tsoetseng pele ea ho betla plasma ea semiconductor, botsitso ba thepa, ho nepahala ha litekanyo, le ho lumellana ha plasma ha likarolo tsa kamore ea ka hare ho khetholla ka ho toba botsitso ba fensetere ea ts'ebetso, ts'ebetso ea chai, le litšenyehelo tsa ts'ebetso ea lisebelisoa. AMAT 0200-04877 Single Ring Ceramic ke e 'ngoe ea likarolo tsa bohlokoa tsa ts'ebetso ea ceramic tse sebelisoang liforomong tsa etch tsa Applied Materials (AMAT). Haholo-holo e entsoe ka ceramic ea alumina (Al₂O₃) e hloekileng haholo, e sebelisoa haholo lits'ebetsong tsa taolo ea ts'ebetso bakeng sa libaka tsa wafer edge le lits'ebetso tsa ts'ireletso ea kamore ka lebaka la ho hanyetsa ha eona ho hoholo ho ts'enyeho ea plasma, thepa ea ho kenya motlakase le botsitso ba mocheso.

Mabapi le litšobotsi tsa sebopeho, 0200-04877 e na le moralo o tloaelehileng oa Single Ring Ceramic, 'mele oa eona o ka sehloohong o entsoe ka lesale la ceramic la alumina le hloekileng haholo. Thepa ea Al₂O₃ e na le litšila tse tlase tsa tšepe, matla a phahameng a dielectric, matla a matle a mechini, le conductivity e ntle ea mocheso, e bonts'ang khanyetso e ikhethang ea ho bola tikolohong ea plasma e thehiloeng ho fluorine, e thehiloeng ho chlorine, le e nang le oksijene. Ha e bapisoa le li-ceramic tse tloaelehileng tsa boenjiniere, alumina e hloekileng haholo e fokotsa kotsi ea ho lokolloa ha likaroloana ka katleho 'me e fokotsa tšilafalo ea ts'ebetso ha e ntse e boloka botsitso ba nako e telele, ka hona e fihlela litlhoko tse thata tsa lits'ebetso tse tsoetseng pele bakeng sa likarolo tsa bohlokoa tsa kamore.

Liforomong tsa ho betla tsa AMAT, Single Ring Ceramic hangata e kenngoa sebakeng se ka thoko sa Electrostatic Chuck (ESC), e behiloeng pakeng tsa moeli oa wafer le lebota le ka hare la kamore, e sebeletsa e le karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso ka har'a kamore ea ho betla. Mosebetsi oa eona oa mantlha ha se feela tšehetso ea sebopeho, empa ho e-na le hoo ke ho kenya letsoho ntlafatsong le taolong ea kabo ea tšimo ea plasma ka kakaretso. Nakong ea ho betla plasma e nang le bongata bo phahameng, sebaka sa moeli oa wafer hangata se na le mathata a kang ho ntlafala ha li-ion, sekhahla sa etch se phahameng, le ho senyeha ha ho tšoana ha profile. Ka geometry ea eona e entsoeng hantle le thepa ea dielectric, Single Ring Ceramic e fetola tšimo ea motlakase e ka thoko, e tataisa plasma ho theha kabo ea matla e ts'oanang haholoanyane holim'a wafer. Sena se ntlafatsa boemo ba moeli oa wafer le ho ntlafatsa ts'ebetso ea Across-Wafer Uniformity (AWU). Ho feta moo, lesale lena la ceramic le sireletsa mathoko a ESC, likopano tsa electrode, le meaho ea tšepe e ka tlase ka ho thibela li-ion tse nang le matla a phahameng le li-radical tse arabelang ho ama ka kotloloho likarolo tsa bohlokoa, ka hona ho atolosa linako tsa tlhokomelo ea lisebelisoa le ho fokotsa litšenyehelo tsohle tsa beng.

Jwalo ka karolo ya bohlokwa e ka sebediswang e pepesetswang nako e telele dibakeng tse nang le matla a mangata a plasma, Single Ring Ceramic e ke keng ya qojwa e hlahella ka botsofadi ba thepa le ho senyeha ha tshebetso nakong ya tshebediso. Ho itshetlehile ka boiphihlelo ba tshebediso bo tswang ho dikhamphani tse etellang pele tsa lefatshe tsa wafer fabs le IDM, mekgwa e tlwaelehileng ya ho hloleha e kenyeletsa haholo tahlehelo ya boholo ka lebaka la kgoholeho ya plasma, ho tsofala ho sa tlwaelehang dibakeng tsa chamfer ya bohale, ho ata ha mapetso a manyane a bokahodimo, ho lokollwa ha dikarolwana tse ngata, le ho bokellana ha depositi sebakeng seo. Ha bokahodimo ba lesale la ceramic bo pepesetswa ke ho phatloha ho sa kgaotseng ha ion, sebopeho sa microstructure ya thepa se fetoha butle-butle, se lebisang ho hodimo ha ho ba thata ha bokahodimo le kotsi e kgolo ya ho hlahisa dikarolwana. Nakong ya potoloho ya mocheso o phahameng le phetoho ya tshebetso, kgatello e bokellaneng ya mocheso le yona e ka baka ho thehwa ha dikarolwana tse nyane, ho beha botsitso ba tshebetso kotsing e kgolo. Ha ditekanyo tsa bohlokwa tsa lesale la ceramic di feta ditlhaloso tsa taolo ya sesebediswa, hangata sena se fella ka ho fokotseha ha ho lekana ha etch ya bohale, ho kheloha ha tekanyo ya bohlokwa (CD), ho eketseha ha diphoso tsa dikarolwana le tahlehelo ya chai.

Jwalo ka sethala sa profeshenale se ikgethileng ka dikarolo tsa semiconductor le ditharollo tse tswetseng pele tsa thepa, Semixlab e ikemiseditse ho fana ka disebediswa tsa semiconductor tsa boleng bo hodimo le ditshebeletso tsa dikarolo tsa bohlokwa ho bareki ba lefatshe ka bophara tlhahisong ya wafer, tlhokomelo ya disebediswa, le ketane ya phepelo ya dikarolo. Ka ho sebedisa dipatlisiso tsa nako e telele le boiphihlelo bo sebetsang ka di-platform tsa disebediswa tse kgolo tse kang AMAT, LAM Research, TEL, Kokusai, le Hitachi High-Tech, Semixlab ha e fane feela ka ditharollo tsa dikarolo tsa ceramic tse hlwekileng haholo tse fihlelang maemo a OEM empa hape e fana ka tlhahlobo ya thepa, netefatso ya dibopeho, tlhahlobo ya ho hloleha, le ditshebeletso tsa tlhahlobo ya phetolo ya lehae tse etseditsweng ditlhoko tse ikgethang tsa kopo ya bareki. Bakeng sa dikarolo tsa bohlokwa tsa kamore tse kang 0200-04877 Single Ring Ceramic, Semixlab e thehile sistimi e felletseng ya taolo ya boleng e akaretsang taolo ya bohlweki ba thepa e tala, ho sebetsa ka nepo, tlhahlobo ya dibopeho tse tebileng, le tsamaiso ya boleng ba bokahodimo, ho netefatsa tshebetso e tsitsitseng ya sehlahiswa dibakeng tse thata tsa plasma.

Ka ho sebelisa boiphihlelo bo pharaletseng ba indasteri, bokhoni ba karabelo e potlakileng, le mehloli ea ketane ea phepelo ea lefats'e, Semixlab e thusa bareki ho khutsufatsa lipotoloho tsa theko, ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhokomelo, le ho ntlafatsa nako ea ho sebetsa ha lisebelisoa. Bakeng sa bareki ba batlang mekhoa e meng ea OEM, tsamaiso ea potoloho ea bophelo ea likarolo tse ling, kapa ntlafatso e tsoetseng pele ea ts'ebetso ea ho qoelisa, Semixlab ha se mofani oa likarolo feela empa ke molekane ea tšepahalang bakeng sa tlhokomelo ea lisebelisoa tsa semiconductor le tšehetso ea ts'ebetso.