Quartz Screen bakeng sa MOCVD

Ka sesebelisoa sa Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), skrini sa quartz se bapala karolo ea bohlokoa ho ntlafatseng lits'ebetso tsa kholo ea lifilimi tse tšesaane. Li bohlokoa bakeng sa ho ntlafatsa ts'ebetso e ts'oanang, ho boloka bohloeki, le ho ntlafatsa ts'ebetso ea tlhokomelo ea lisebelisoa. Ka tlase ke kakaretso e qaqileng ea likopo tsa bona tse ikhethileng le melemo.

Ⅰ. Mesebetsi ea mantlha ea li-Quartz Screens ho MOCVD

Lits'oants'o tsa Quartz li bohlokoa ho fihlela taolo e nepahetseng le liphetho tsa boleng bo holimo ho li-reactor tsa MOCVD:

1. Taolo ea Phallo ea Khase

Lits'oants'o tsa Quartz li arola likarolo tse fapaneng tsa kamore ea karabelo. Karohano ena e nepahetseng e tataisa tsela ea phallo ea likhase tse sebetsang (joalo ka mehloli ea tšepe le li-hydrides), e fokotsang moferefere haholo. Sephetho ke phepelo e tšoanang ea khase holim'a karolo e ka tlas'a lefatše, e ntlafatsang botenya le ho tšoana ha likarolo tsa epitaxial tse kang GaN le GaAs.

2. Tšilafalo Ho Ikhetha

Lits'oants'o tsena li sebetsa e le tšitiso, tse thibelang lintho tse hlahisoang ke karabelo (mohlala, li-particulate, li-depositi tse sa fetoheng) hore li se ke tsa oela holim'a substrate kapa likaroloana tsa bohlokoa joalo ka lishaoara. Boiketlo bo phahameng ba lik'hemik'hale tsa quartz bo tiisa hore skrine ka boeona ha e fetohe mohloli oa tšilafalo, ho sireletsa boleng ba filimi.

3. Taolo ea Mocheso

E sebetsa joalo ka thibelo ea mocheso, li-skrini tsa quartz li fokotsa phetisetso ea mocheso lipakeng tsa sebaka sa karabelo le likarolo tsa peripheral. Sena se thusa ho boloka mocheso o tsitsitseng, o bohlokoa haholo bakeng sa kholo ea li-semiconductors tse sa utloeng mocheso joalo ka InP le AlN.

Ⅱ. Mefuta e sa tšoaneng ea Moqapi e Tšehetsoeng ke Semixlab

Semixlab e fana ka mefuta e fapaneng ea meralo ea skrini ea quartz ho fihlela litlhoko tse fapaneng tsa ts'ebetso ea MOCVD:

1. Perforated Screens

Lits'oants'o tse nang le li-diameter tse khethehileng tsa lesoba li fumaneha ho ntšetsa pele phallo ea khase ho homogenize, e leng se etsang hore e be tse loketseng lits'ebetso tsa sekhahla sa phallo e phahameng tse hlokang ho ts'oana ho ikhethang.

2. Lits'oants'o tse fetolehang

Bakeng sa taolo e tsoetseng pele, li-skrini tse rotatable li lumella phetoho e matla ea phepelo ea phallo ea khase. Ts'ebetso ena e molemo haholo bakeng sa ho ntlafatsa ts'ebetso e ts'oanang ho li-wafers tsa sebaka se seholo, joalo ka 6-inch kapa 8-inch substrates.

3. Li-screens tse koahetsoeng

Ho ntlafatsa bokhoni ba anti-deposition le ho lelefatsa nako ea ts'ebetso ea ts'ebetso, re fana ka li-skrini tsa quartz tse nang le lisebelisoa tse kang SiC kapa Al₂O₃. Liaparo tsena li fana ka khanyetso e phahameng ea thepa e sa batleheng.

Lits'oants'o tsa Quartz ke likarolo tsa bohlokoa ho lisebelisoa tsa MOCVD, ts'ebetso ea ho leka-lekanya ts'ebetso le litšenyehelo. Moralo oa bona o tlameha ho ts'oana le litlhoko tsa sebopeho sa kamore ea karabelo, matla a khase le litsamaiso tse ikhethileng tsa thepa. Joaloka morekisi ea ka sehloohong oa China oa Quartz Screens bakeng sa MOCVD, Semixlab e ikemiselitse ho fana ka lihlahisoa tse ikhethileng le tharollo ea tekheniki. Re labalabela ka tieo tšebelisano-'moho e eketsehileng le uena.

Maemo a Konokono a Tshebediso

Lits'oants'o tsa Quartz li sebelisoa ka mokhoa o hlophisehileng ho pholletsa le ts'ebetso ea MOCVD ho ntlafatsa likarolo tse fapaneng tsa ts'ebetso:

1. Tšireletso ea Substrate

Tlhahisong ea li-batch, li-skrini li bohlokoa bakeng sa ho thibela tšilafalo pakeng tsa li-substrates tse haufi, e leng se etsang hore li tšoanelehe haholo bakeng sa litsamaiso tse ngata tsa MOCVD.

2. Tšireletso ea Showerhead

Ka ho beoa ka tlas'a hlooho ea shaoara, li-skrini tsa quartz li fokotsa ho kenella ka kotloloho mekoting ea lishaoara. Sena se eketsa nako ea ho hloekisa 'me qetellong se theola litšenyehelo tsa tlhokomelo.

3. Thibelo ea ho etsa lintho esale pele

Boemo bo nepahetseng ba li-skrini tsa quartz bo lumella ho lieha ho kopanya mehloli ea tšepe le li-hydrides. Sena se thibela mekhoa e sa rateheng ea khase ea khase e ka lebisang ho sebopeho sa likaroloana, joalo ka karabelo ea pele ho nako lipakeng tsa TMGa le NH₃ nakong ea kholo ea GaN.

Melemo ea lintho tse bonahalang tsa Quartz

Khetho ea quartz ea maiketsetso (SiO₂) bakeng sa li-skrini tsena e tsamaisoa ke thepa ea eona e ikhethang e loketseng tikoloho e thata ea MOCVD:

1. Bohloeki bo Phahameng & Ho hanyetsa ha Corrosion

Quartz ea rona ea maiketsetso e ithorisa ka bohloeki bo fetang 99.99%. E hanyetsana haholo le mekhoa e tloaelehileng ea ho hloekisa e kenyelletsang li-acid tse matla tse kang HF le HCl, 'me ka bomalimabe, ha e sebetsane le likhase tse sebetsang tse kang H₂ le NH₃.

2. Thermal Stability

Ka ntlha ea ho nolofatsa hoo e ka bang 1700 ° C le tekanyo e tlase ea ho atolosa mocheso oa 5.5×10⁻⁷/°C, li-skrini tsa quartz li boloka botšepehi ba tsona ba sebopeho 'me ha li fokotsehe tlas'a mocheso o tloaelehileng oa MOCVD (800-1200 ° C).

3. Optical Transparency

Ponaletso ea quartz e lumella li-pyrometer tsa infrared ho lekola mocheso oa substrate ka nepo skrineng. Sena se nolofalletsa taolo ea ts'ebetso ea nako ea nnete le taolo e nepahetseng ea mocheso.