Tantalum carbide e nang le masoba TaC

Semixlab e hlahisitse thepa ea graphite e nang le masoba e koahetsoeng ka tantalum carbide (TaC). E sebelisa masapo a graphite a nang le masoba a ka laoloang (50%–75%) ho sebelisa sebaka sa eona se seholo sa bokaholimo bakeng sa tataiso ea phallo ea khase le ho sefa. Ka theknoloji ea CVD, sekoahelo se teteaneng sa TaC (ntlha ea ho qhibiliha: 3880 °C) se beoa holim'a libaka tsa ka hare le tsa kantle, se fa thepa khanyetso e ikhethang ea mocheso o phahameng le khanyetso ea H₂ ea mafome (e fetang makhetlo a 10 ho feta likoahelo tsa SiC tse tloaelehileng). Moralo o ikhethang oa lera la phetoho ea gradient o netefatsa phetoho e boreleli ea coefficient ea katoloso ea mocheso, e thibelang sekoahelo ho petsoha kapa ho petsoha tlas'a litšitiso tse pheta-phetoang tsa mocheso. Sebopeho sena se nolofalletsa mesebetsi e mene ya mantlha kgolong ya kristale ya SiC: e sebetsang e le sefe se nepahetseng haholo ho thibela ditshila tsa dikarolwana, e laola hantle tshimo ya mocheso ka ho tsamaisa mocheso o phahameng wa TaC ho laola sekgahla sa kgolo, e tataisa phallo ya kgase e yang ka lehlakoreng le leng ka hara sebopeho sa pore ho kgothaletsa kgolo e tshwanang ya kristale, le ho boloka sepakapaka se tsitsitseng ka ho sebedisana ha bokahodimo bo teteaneng le kahare ho pore, ka hona e ntlafatsa haholo tlhahiso ya kristale le ho ikatisa ha tshebetso.

Sekema se tloaelehileng sa yuniti ea ho beha TaC: (a) sesebelisoa sa chlorination sebakeng seo; (b) reactor ea CVD.

Likarolo tsa kopo

1. Tšebeliso ea mantlha: Kholo ea kristale e le 'ngoe ea PVT SiC

Ts'ebetsong ea kholo ea kristale e le 'ngoe ea SiC ka mokhoa oa PVT (Physical Vapor Transport), lihlahisoa tsa rona li sebelisoa haholo-holo e le likarolo tsa tšimo ea mocheso tse kang li-crucible tse nang le masoba, likoahelo tsa crucible, li-tube tsa tataiso ea phallo le literei. Ha li bapisoa le lisebelisoa tsa setso tsa graphite, li ka felisa ho kenngoa ha carbon ka ho thibela likaroloana tsa carbon ho kena kristale ho fokotsa haholo liphoso tsa micropipe, ho thibela ho thehoa ha sekoti sa etch ka ho boloka botšepehi ba sebopeho nakong ea kholo ea potoloho e telele ho qoba polycrystallization, le ho ntlafatsa chai ka ho fana ka tikoloho e hloekileng ea kholo ho ntlafatsa boleng ba kristale le katleho ea tlhahiso.

2. Kopo e Atolositsoeng

①Sesebelisoa sa Epitaxy sa Semiconductor

Ts'ebetsong ea SiC epitaxy (LPE, lisebelisoa tsa MOCVD), thepa ea rona e ka sebelisoa e le li-heater, literei tsa graphite, le li-liners tsa kamore ea karabelo. Khanyetso ea NH₃ ea ho bola ha lesela la TaC e sireletsa likarolo tsa graphite ka katleho, e thibela tšilafalo ea litšila, 'me e atolosa bophelo ba ts'ebeletso ea likarolo, e netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea lisebelisoa tsa epitaxy.

②Lisebelisoa tsa ho Koahela tsa PV

Ts'ebetsong ea PECVD ea tlhahiso ea lisele tsa photovoltaic, lihlahisoa tsa rona li ka sebelisoa e le thepa ea ho koahela likepe tsa graphite le lipoleiti tsa thepa. Li hanela ho qojoa ke plasma e nang le fluorine/chlorine, li qoba phofo ea graphite e oelang ho silafatsa li-wafer tsa silicon, 'me li loketse lits'ebetso tsa lisele tse sebetsang hantle joalo ka PERC le HJT, li tlatsetsa ntlafatsong ea boleng ba lisele tsa photovoltaic.