TaC e koahetsoeng ka botebo ba UV LED Susceptor

TaC Coated Deep UV LED Susceptor ke karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso lits'ebetsong tsa tšepe-organic chemical vapor deposition (MOCVD) tse sebelisoang tlhahisong ea li-LED tse tebileng tsa ultraviolet (UV). Susceptor ena e etselitsoe ka ho khetheha ho sebetsa tlas'a maemo a feteletseng a ts'ebetso, e tšehetsa ka kotloloho ho futhumatsa ha wafer le ho fana ka tikoloho e hlokahalang ea mocheso le lik'hemik'hale bakeng sa kholo ea boleng bo holimo ea epitaxial ea aluminium nitride (AlN) le likarolo tse phahameng tsa aluminium gallium nitride (AlGaN).

Mokhoeng o tebileng oa LED oa MOCVD oa UV, kholo ea epitaxial hangata e hlaha mochesong o phahameng ho feta o sebelisoang bakeng sa li-LED tsa setso tse thehiloeng ho gallium nitride, tse tsamaeang le sekhahla se phahameng haholo sa phallo ea ammonia le sepakapaka se nang le naetrojene. Tlas'a maemo ana, thepa ea setso ea susceptor e ka ba le tšenyo ea bokaholimo, ho lokolloa ha khabone, le ho se tsitse ha lik'hemik'hale, e leng se lebisang ho fokotseng boleng ba epitaxial le ho fokotseha ha ts'ebetso ea sesebelisoa. Seaparo sa tantalum carbide (TaC) holim'a bokaholimo ba susceptor se bontša botsitso bo ikhethang ba mocheso le lik'hemik'hale, se nolofalletsa ts'ebetso e tšepahalang mochesong o phahameng le ho boloka litšobotsi tse tsitsitseng tsa bokaholimo ho pholletsa le potoloho ea tlhahiso.

Mosebetsi o ka sehloohong oa TaC Coated Deep UV LED Susceptor ke ho fana ka ho futhumatsa wafer ka mokhoa o ts'oanang le o ka phetoang nakong ea ts'ebetso ea kholo ea MOCVD. Motsoako oa substrate ea boleng bo holimo ea graphite le sekoahelo se teteaneng sa tantalum carbide se netefatsa phetiso e sebetsang hantle ea mocheso le thepa e tsitsitseng ea mahlaseli, e nolofalletsang taolo e nepahetseng ea mocheso oa wafer. Botsitso bona bo bohlokoa bakeng sa taolo e nepahetseng ea motsoako oa aluminium kholong ea AlGaN epitaxial, e amang ka kotloloho ho ts'oana ha bolelele ba maqhubu a mosi le katleho ea ka hare ea lisebelisoa tsa LED tse tebileng tsa UV.

Karolo ea bohlokoa ka ho lekana ke karolo ea sekoahelo sa tantalum carbide ho thibeleng tšilafalo. Ho sebelisa khabone ka mokhoa o feteletseng ke phephetso e tsebahalang kholong e tebileng ea epitaxial ea LED ea UV, kaha esita le litekanyo tse nyane tsa khabone ea morao li ka ama boleng ba thepa le bophelo ba sesebelisoa haholo. Seaparo sa tantalum carbide se sebetsa e le tšitiso e matla ea ho hasana, se arola karolo ea mantlha ea graphite tikolohong ea ts'ebetso ka katleho le ho fokotsa ho hasana ha khabone tlas'a maemo a mocheso o phahameng oa MOCVD. Ho se sebetse ha eona ka lik'hemik'hale ho phahameng ho boetse ho fokotsa kotsi ea tšilafalo ea tšepe, ho tlatsetsa ho fokotseng bongata ba sekoli le ho ntlafala ha ts'epo ea sesebelisoa.

TaC Coated Deep UV LED Susceptor e boetse e bonts'a ho hanyetsa ho hoholo tikolohong e thata ea lik'hemik'hale e ikhethang lits'ebetsong tse tebileng tsa UV MOCVD. Ha e bapisoa le li-susceptor tsa setso tse koahetsoeng ka silicon carbide, tantalum carbide e bontša botsitso bo boholo moeeng o kopaneng oa ammonia le hydrogen-nitrogen tse phallang ka bongata, ka hona li liehisa ho senyeha ha lesela le ho atolosa bophelo ba likarolo. Ho tšoarella hona ho fetolela linako tse telele tsa tlhokomelo, nako e phahameng ea ho sebetsa ha lisebelisoa, le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

TaC Coated Deep UV LED Susceptor e etselitsoe ho lumellana le liforomo tse kholo tsa MOCVD, ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea ts'ebetso ho pholletsa le li-wafer le li-batches, e leng habohlokoa bakeng sa ho holisa theknoloji e tebileng ea UV LED ho fihlela tlhahisong e kholo. Susceptor ka 'ngoe e etsoa tlas'a lits'ebetso tse laoloang ho netefatsa ho tšoana ha ho koahela, ho khomarela ho matla, le ts'ebetso e ka phetoang ea mocheso, e bonts'ang boitlamo ba Semixlab ho boleng, ts'epo, le moralo o tsamaisoang ke ts'ebeliso.

Jwalo ka khamphani e etellang pele theknoloji tsamaisong ya China ya semiconductor epitaxial, Semeixab e ikemiseditse ho fa indasteri ya semiconductor mahlale a tswetseng pele le ditharollo tsa dihlahiswa tsa TaC Coated Deep UV LED Susceptor tse ikgethileng. Re ka bapisa mesebetsi le mehlala e tsamaellanang ya dihlahiswa tsa rona le ditlhoko tsa hao tse ikgethang tsa dihlahiswa, ho netefatsa tshebetso e boreleli ya tlhahiso ya khamphani ya hao. Semeixab e labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.