SiC Plate bakeng sa ICP Etching

Litlhoko tsa Sebopeho: E Lokisitsoe bakeng sa Litikoloho tse Hlokang Plasma

Ho fihlela litlhoko tse thata tsa tikoloho ea ICP, poleiti ea SiC e tlameha ho ba le litšobotsi tse latelang tsa mantlha:

● Excellent Thermal Conductivity

SiC e na le conductivity e phahameng haholo ea mocheso, e fetang hole ea lisebelisoa tsa setso tse kang quartz kapa alumina. Sena se bolela hore se ka tsamaisa mocheso o hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea etching hole le sephaphatha, se thibelang mocheso oa lehae ka nepo.

melemo e: Netefatsa mocheso o ts'oanang ho pholletsa le bokaholimo ba liphaephe, ho fella ka botebo bo ts'oanang le taolo ea bohlokoa bo boholo (CD), ho ntlafatsa chai haholo le ho fokotsa sekhechana sa liphaphatha.

● Ho Khanyetso e Phahameng ea Plasma Shock

Sebakeng sa plasma ea etching ea ICP, thepa e tla tobana le bombardment e matla ea ion le ho bola ha lik'hemik'hale tsa li-radicals tsa mahala tse sebetsang. SiC e na le khanyetso e ntle ea plasma, haholo-holo likhase tse nang le fluorine kapa chlorine e nang le etching.

melemo e: Eketsa haholo bophelo ba ts'ebeletso ea sepalangoang sa liphaephe, fokotsa makhetlo a ho khutlisa le ho fokotsa nako, ka hona, fokotsa litšenyehelo tsa ts'ebetso le ho ntlafatsa ts'ebeliso ea lisebelisoa. Ka nako e ts'oanang, thepa e tsitsitseng ea thepa e boetse e fokotsa kotsi ea tšilafalo ea likaroloana.

● Tšebeliso e Hlollang ea Mocheso

Ha e kopantsoe le ts'ebetso ea eona e phahameng ea mocheso le coefficient e tlase ea katoloso ea mocheso, bajari ba SiC ba khona ho boloka mocheso o ts'oanang o ts'oanang ho pholletsa le sebaka sohle sa wafer. Sena se bohlokoa bakeng sa etching e nepahetseng, haholo bakeng sa lisebelisoa tse bobebe joalo ka GaN.

melemo e: Netefatsa hore sesebediswa se seng le se seng se entswe ka tsela e sa fetoheng, fokotsa ho fapana ha tshebetso ya sesebediswa, mme o fane ka boleng bo hodimo le botshepehi ba dihlahiswa tsa hao tsa LED.

Likarolo tsena tsa ts'ebetso li bohlokoa bakeng sa ho fihlella etching e ka phetoang le e nepahetseng ha ho etsoa lesela la LED.

Hobaneng U Khetha Semixlab: Tharollo e Tailored. Boleng bo Tshepehang

Ho khetha Semixlab ho bolela hore u khetha ts'ebetso, ts'epahalo le lits'ebeletso tse ikhethileng:

1. Litlhaloso tse fapaneng lia fumaneha, 'me litšebeletso tse ikhethileng li fanoa:

Re tseba hantle hore lisebelisoa le lits'ebetso tse fapaneng tsa ICP li na le litlhoko tse ikhethang bakeng sa boholo ba sejari sa wafer, boemo ba lesoba le mokhoa oa ho koala. Semixlab e fana ka mefuta e fapaneng ea litlhaloso tse tloaelehileng tsa bajari ba li-wafer tsa SiC ho fihlela litlhoko tsa mantlha tsa mmaraka.

Habohlokoa le ho feta, re fana ka lits'ebeletso tsa profeshenale tsa ho itlhophisa. Hore na o hloka boholo bo ikhethileng, meralo e rarahaneng ea meralo, kapa ntlafatso bakeng sa lits'ebetso tse ikhethileng, sehlopha sa rona sa boenjiniere se ka sebetsa haufi le uena ho fana ka litharollo tse entsoeng ka mahlale. Sena se bolela hore o ka fumana sesebelisoa se lumellanang hantle le lisebelisoa tsa hau le ts'ebetso, ho eketsa katleho ea tlhahiso le chai.

2. Boleng bo tsitsitseng & Phano e potlakileng

Sistimi ea rona e matla ea taolo ea boleng e netefatsa botsitso ho pholletsa le lihlopha, athe tlhahiso ea rona e sebetsang hantle le thepa e tiisa linako tse etellang pele ka potlako, e u thusa ho kopana le linako tse thata tsa tlhahiso.

Tšepa Semixlab - Molekane oa Hao oa SiC Material ho Advanced Plasma Etching

Ka phihlelo ea lilemo tse ngata tse sebeletsang indasteri ea ho roala semiconductor, Semixlab e kopanya tsebo e tebileng ea thepa, ts'ebetso ea morao-rao, le tšebeletso e shebaneng le bareki ho fana ka likarolo tse matlafatsang botsitso ba ts'ebetso le boleng ba sehlahisoa.

Kopo: E etselitsoe ICP Etching ho Indasteri ea LED

Ts'ebetsong e tsoetseng pele ea tlhahiso ea LED, etching ea ICP (Inductively Coupled Plasma) ke mohato oa bohlokoa bakeng sa ho fihlela mokhoa o nepahetseng oa ho etsa mohlala oa li-semiconductor wafers. Semixlab's SiC plate e sebetsa e le sejari kapa se ts'epahallang haholo nakong ea ts'ebetso ea ICP. Thepa ea eona e matla ea thepa e netefatsa botsitso ba ts'ebetso esita le tlas'a maemo a feteletseng a plasma, e leng se etsang hore e be karolo ea bohlokoa bakeng sa melapo ea tlhahiso ea LED e nang le lihlahisoa tse ngata, tse holimo-limo.