SiC Coated Graphite Susceptor

SiC (Silicon Carbide) e koahetsoeng ka graphite susceptor ke karolo ea bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea semiconductor, haholo-holo e batlang lisebelisoa tse phahameng tsa mocheso tse kang epitaxial deposition le MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition).

Li-susceptors tsena li etselitsoe ho tšoara le ho futhumatsa li-wafers tsa silicon ka nepo e ikhethang, ho netefatsa phepelo e tšoanang ea mocheso le tikoloho ea ts'ebetso e hloekileng. Li-susceptors tsa rona li bohlokoa bakeng sa ho hlahisa lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo, tse ts'oanang, tseo e leng motheo oa lisebelisoa tse tšepahalang le tse sebetsang hantle tsa semiconductor.

Ⅰ. Lisebelisuoa tsa Sehlooho le Lintho tsa Bohlokoa

Li-susceptors tsa rona li hahiloe ka bokhabane ho sebelisoa mokokotlo o phahameng oa graphite le lera le sireletsang la Silicon Carbide (SiC).

High-Purity Graphite: Karolo ea graphite e fana ka ts'ebetso ea mantlha ea sebopeho le ts'ebetso ea mocheso. Botsitso ba eona bo botle ba mocheso bo e lumella ho sebetsa ka mocheso o phahameng haholo ntle le deformation. Boima ba mocheso o tlase oa graphite bo thusa ho futhumatsa ka potlako le ka mokhoa o pholileng, e leng ntho ea bohlokoa bakeng sa linako tse potlakileng tsa potoloho tikolohong ea tlhahiso.

Seaparo sa Silicon Carbide (SiC): Seaparo sa SiC se sebelisoa ho graphite ka mokhoa oa CVD (Chemical Vapor Deposition). Sena se etsa hore ho be le bokaholimo bo teteaneng, bo se nang masoba bo thata ka ho fetelletseng le bo sa sebetseng ka lik'hemik'hale. SiC e fana ka khanyetso e phahameng ea khoholeho ea plasma le tlhaselo ea likhase tse mabifi tsa ts'ebetso, ho thibela tšilafalo le ho hlahisa likaroloana. Sena se tiisa ts'ebetso e hloekileng, se lelefatsa bophelo ba karolo, 'me se sireletsa graphite e ka tlaase hore e se ke ea senyeha.

Ⅱ. Melemo ea Ts'ebetso ho Tlhahiso ea Wafer

Li-susceptors tsa rona tsa SiC tse koahetsoeng ka graphite li bapala karolo ea bohlokoa ho netefatsa boleng le katleho ea masela a semiconductor.

● Unmatched Thermal Uniformity: Moralo oa susceptor, o kopantsoe le thepa ea mocheso ea SiC le graphite, e netefatsa hore mocheso o ajoa ka ho lekana ho pholletsa le bokaholimo bohle ba liphaphatha. Sena ke sa bohlokoa bakeng sa ho fihlela botenya ba filimi e ts'oanang le thepa e ts'oanang ea thepa, e leng senotlolo sa tlhahiso e phahameng ea lisebelisoa.

● Taolo e Phahameng ea Tšilafalo: Seaparo sa SiC se se nang porous le sa lik'hemik'hale se thibelang ho tsoa le ho tsoa ha likaroloana ho tloha substrate ea graphite. Sena se fokotsa haholo kotsi ea ho silafala ha li-wafer le likoli, e leng phephetso e tloaelehileng lits'ebetsong tsa mocheso o phahameng.

● Tšireletseho e Matlafalitsoeng le Nako ea Bophelo: Thepa e matla ea SiC e sebetsa e le thebe e sireletsang khahlanong le lintho tse senyang le tse senyang, e leng ho lelefatsang bophelo ba ts'ebetso ea susceptor haholo. Sena se fokotsa makhetlo a mangata a ho nchafatsa le ho fokotsa litšenyehelo tse akaretsang tsa tlhokomelo.

● Ho Pheta-pheta ha Mokhoa o Phahameng: Ka ho fana ka tikoloho e tsitsitseng le e tsitsitseng ea mocheso le lik'hemik'hale, li-susceptors tsa rona li lumella mekhoa e phetoang haholo. Ho lumellana hona ho bohlokoa bakeng sa tlhahiso e kholo ea lisebelisoa tse tšepahalang tsa semiconductor.

Ho Semixlab, re ikemiselitse ho fana ka indasteri ea semiconductor ka likarolo tsa premium le ts'ebeletso e ke keng ea bapisoa ea Customization. Re fana ka moralo o felletseng oa tloaelo le tlhahiso bakeng sa li-susceptors tsa graphite tse koahetsoeng ke SiC. Sehlopha sa rona sa boenjiniere se ka sebelisana le uena ho theha susceptor e lumellanang hantle le litlhaloso tsa lisebelisoa tsa hau le litlhoko tse ikhethang tsa ts'ebetso.