EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
CVD SiC e koahetsoeng ka Graphite Showerhead
Semixlab's CVD SiC Coated Graphite Showerhead e entsoe bakeng sa ho boloka semiconductor ka mokhoa o batlang o le teng le tikoloho ea epitaxy moo ho ts'oana ha ts'ebetso, taolo ea likaroloana, le botsitso ba likarolo tsa nako e telele li leng bohlokoa ts'ebetsong ea tlhahiso. Ha e kopanya substrate ea graphite e hloekileng haholo le sekoahelo sa silicon carbide (SiC) se teteaneng sa lik'hemik'hale, karolo ena e tsoetseng pele e fana ka botsitso bo botle ba mocheso, khanyetso e phahameng ea mafome, le ho tšoarella ho ikhethang tlas'a maemo a ts'ebetso a mocheso o phahameng le a mabifi a lik'hemik'hale. Re labalabela lipotso tsa hau tse ling.
Tlhaloso
Hlooho ea shaoara ea graphite e koahetsoeng ka CVD SiC ke karolo ea kabo ea khase e sebelisoang ho epitaxy ea semiconductor le ts'ebetsong e tsoetseng pele ea wafer. E qala ka graphite e hloekileng haholo, ebe e fumana seaparo se teteaneng sa CVD silicon carbide. Mosebetsi oa shaoara o bonolo empa oa bohlokoa: ho fana ka khase ka ho lekana holim'a wafer, ha e ntse e tšoarella tlas'a mocheso o phahameng le lik'hemik'hale tse matla.
Ka hare ho phaposi ya karabelo, e sebetsa jwalo ka sehatsetsi sa kgase se nepahetseng. Dikhase tse sebetsang di phalla ka dikanale tse ka hare le paterone ya masoba a manyane a tswang, kahoo kgase e hasana ka ho lekana hodima wafer. Ho tshwana hoo ho ama ka ho toba ho tsitsa ha botenya ba filimi, boleng ba kristale, le hore na tshebetso ya hao e ka phetwa jwang.
Semixlab e etsa dihlooho tsa shaoara tse manehilweng ka CVD SiC tse ikgethileng bakeng sa mefuta e fapaneng ya ditshebediso – SiC epitaxy, GaN epitaxy, ditsamaiso tsa MOCVD, di-reactor tsa CVD, le mekgwa e meng ya ho kenya mocheso o phahameng.
Features senotlolo
● Ho tšoana hantle ha phallo ea khase - Paterone ea masoba le likanale tsa kahare li entsoe ka mochini ka nepo, kahoo kabo ea khase e lula e tsitsitse ebile e le sebakeng sohle sa ts'ebetso. Seo se thusa ho ntlafatsa botsitso ba filimi le tlhahiso ea wafer.
● Seaparo sa CVD SiC se hloekileng haholo – Lera le teteaneng la SiC le hanela likhase tse senyang hantle, e leng se bolelang hore likaroloana tse fokolang le kotsi e fokolang ea tšilafalo nakong ea tlhahiso.
● Ho tsitsa ho tiileng ha mocheso – Graphite e fana ka phallo e ntle ea mocheso, 'me sekoahelo sa SiC se eketsa tšireletso. Hammoho li thusa hlooho ea shaoara ho boloka sebopeho sa eona tlas'a maemo a thata a mocheso o phahameng.
● Bophelo bo bolelele ba tšebeletso – Ha e bapisoa le likarolo tse tloaelehileng tsa graphite, mofuta o koahetsoeng ka CVD SiC o hanela ho tsofala haholo ebile o tšoarella ka lik'hemik'hale. U fumana tlhokomelo e fokolang 'me litšenyehelo tsa ho nkela sebaka lia fokotseha.
● Boenjiniere bo ikhethileng – Re ka fetola litekanyo, mekhoa ea masoba a khase, liteishene tsa kahare, meaho ea ho kenya – ha e le hantle re ka etsa hore hlooho ea shaoara e lumellane le meralo e fapaneng ea reactor.
Bokhoni ba ho etsa thepa
Semixlab e etsa lintho tse ngata ka tlung:
● Ho sebetsa ka graphite ka nepo
● Ho koaheloa ha CVD SiC
● Ho sebetsa ka mokhoa o rarahaneng oa kanale ea khase
● Taolo e tiileng ea mamello
● Ho qeta le ho hlahloba bokaholimo
● Ntlafatso ea moralo o ikhethileng
Sehlopha sa rona sa boenjiniere se sebetsa haufi-ufi le bareki ho ntshetsa pele dihlooho tsa shaoara – ebang ke bakeng sa meralo e metjha ya disebediswa kapa e le dikarolo tse nkela sebaka.
Hobaneng u khetha Semixlab?
● Phihlelo e telele ka graphite ea semiconductor le likarolo tse koahetsoeng tsa SiC
● Lisebelisoa tse tala tse hloekileng haholo
● Theknoloji ea ho koahela ea CVD SiC ka tlung
● Tlhahiso e feto-fetohang e entsoeng ka mokhoa o ikhethileng
● Taolo e tiileng ea boleng
● Karabelo e potlakileng bakeng sa mehlala le liodara tsa tlhahiso
Re ikemiselitse ho fana ka likarolo tse tšepahalang tsa graphite tse koahetsoeng ka CVD SiC tse thusang bahlahisi ba semiconductor ho ntlafatsa ts'ebetso ea ts'ebetso, ho fokotsa likotsi tsa tšilafalo, le ho sebetsa ka mokhoa o tšepahalang ka nako e telele.
dikopo
SiC epitaxy – E sebediswa ho di-reactor tsa SiC epitaxial ho jala dikhase tse etellang pele ka ho lekana hodima wafer, e leng se thusang ho ntlafatsa ho lekana ha lera le ho fokotsa diphoso.
GaN epitaxy – E sebetsa ka disebediswa tsa MOCVD bakeng sa di-LED, di-elektroniki tsa motlakase, le disebediswa tsa RF.
Mekhoa ea CVD ea semiconductor - E tloaelehile litsamaisong tsa ho beha khase moo ho tsamaisoang khase ka nepo le taolo ea tšilafalo e leng tsa bohlokoa.
Tlhahiso e tsoetseng pele ea li-semiconductor tse kopantsoeng - E lumellana le mekhoa e fapaneng ea kholo ea kristale ea mocheso o phahameng le lits'ebetso tsa ho beha filimi e tšesaane.
Molemo oa Khatello
Melemo ea tekheniki ea sekoahelo sa CVD SiC
Seaparo sa CVD SiC se etsa lera le sireletsang le hloekileng haholo, le teteaneng haholo holim'a graphite. U fumana bokhoni ba ho sebetsa le ho sebetsa ka mocheso oa graphite, hammoho le khanyetso ea lik'hemik'hale ea silicon carbide.
Melemo ea bohlokoa:
● Moloko o tlase oa likaroloana
● Ho hanyetsa ho bola ho hoholo
● Ho hanyetsa mocheso hantle
● Tšilafalo e fokolang ea tšepe
● Ts'ebetso e tsitsitseng haholoanyane
● Nako e telele ea bophelo ba karolo
Melemo ena e etsa hore di-shawara tse manehilweng ka CVD SiC e be kgetho e ntle bakeng sa tlhahiso e tswetseng pele ya di-semiconductor, moo ho tsitsa ha tshebetso le bohloeki di leng bohlokwa.
Services Our
Lebenkele la Lihlahisoa tsa Semixlab
