SiC Coated Set Disc

SiC Coated Set Disc Sebopeho

Semixlab SiC Coated Set Disc ke sesebelisoa sa liphaephe se etselitsoeng lisebelisoa tsa Aixtron MOCVD. Haholo-holo e entsoe ka likarolo tse peli tse latelang:

1. Lisebelisoa tsa substrate: graphite e phahameng ea isostatic

Lintho tse bonahalang: conductivity e phahameng haholo ea mocheso (ho fihla ho 180 W / m·K), botsitso bo matla mocheso o phahameng, ha ho bonolo ho holofala kapa ho petsoha.

Melemo: E fana ka ts'ebetso e ntle ea mocheso le matla a sebopeho bakeng sa li-wafers, e leng motheo oa bohlokoa oa ho netefatsa ho lumellana ha mokhoa oa ho hōla.

2. Ho roala ka holim'a metsi: CVD deposition ea high-purity SiC (silicon carbide)

Mokhoa oa ho beha: CVD e ntlafalitsoeng ka plasma kapa mokhoa oa mocheso oa CVD o sebelisoa, 'me botenya ba ho roala bo laoloa pakeng tsa 50-200μm.

Tlhaloso ea sebopeho: Bokaholimo bo teteaneng ebile ha bo na masoba, 'me bo matla ba Mohs bo haufi le 9, 'me bo hanyetsana le kutu le mocheso o phahameng haholo.

Hobaneng u khetha Semixlab?

Haeba u batla:

● SiC Coated Set Disc e phahameng ea ts'ebetso bakeng sa mekhoa ea Aixtron.

● Litharollo tsa lik'hamera tse tšehetsang boholo ba tloaelo, litšebeletso tsa ho nchafatsa le maemo a mocheso o phahameng oa mocheso.

● Likarolo tsa boleng bo holimo tse ntlafatsang tlhahiso ea MOCVD le ho atolosa potoloho ea botsitso ba ts'ebetso.

Ka kopo ikopanye le rona hona joale ho fumana qotso ea morao-rao le litlhaloso tsa tekheniki. Re fana ka lits'ebeletso tsa lefats'e ka bophara le lits'ebeletso tsa ts'ehetso ea tekheniki ho u thusa ho romella ka potlako moleng oa hau oa tlhahiso.

Tlhahlobo ea bohlokoa ea 'mele

1. Ho hanyetsa mocheso o phahameng

Moeli o ka holimo oa mocheso o sebetsang o ka fihla ho 1600 ° C +. Sebopeho sa ho roala se ke ke sa phunyeha kapa sa phunya ka lebaka la khatello ea mocheso 'me se ka mamella tikoloho ea nako e telele ea MOCVD.

2. Thermal conductivity le mocheso o tšoanang

Motsoako oa substrate + coating o etsa hore conduction ea mocheso e sebetse hantle le ho qoba mathata a kholo a bakoang ke mocheso o sa lekaneng. Ho tsitsisa ha conduction ea mocheso ho netefatsa kabo e ts'oanang ea botenya ba deposition le sebopeho, mme e ntlafatsa chai.

3. Ho hanyetsa ho bola ha lik'hemik'hale

Ho roala ho ka hanela likhase tse senyang haholo tsa MOCVD tse kang hydrogen, ammonia, TMGa le TMAl. Thepa ka boeona ke sebopeho se teteaneng sa β-SiC mme hoo e ka bang ha ho na karabelo ea lehlakore e bang teng ka khase e arabelang.

4. Taolo ea likaroloana tsa bokaholimo

Sebaka sa ho roala se na le mahlahahlaha a tlaase (Ra <0.5μm) 'me ha ho bonolo ho adsorb likaroloana kapa ho senya. Fokotsa ts'ilafalo ea li-micro-particle, tse loketseng haholo bakeng sa lits'ebetso tsa boholo bo boholo ba lisenthimithara tse 6 ho ea holimo.

Maemo a kopo ea sehlahisoa le mesebetsi ea bona

1. E etselitsoe ka ho khetheha bakeng sa mohaho oa Aixtron Planetary Reactor

E sebetsa ho likamore tsa karabelo tsa meaho ea polanete e fetohang joalo ka AIX 200 le AIX 2800G4.

Sebopeho sa Disc se entsoe ka nepo ho netefatsa symmetry ea mocheso le ho leka-lekana ha moea oa sephaphatha nakong ea ho potoloha.

2. Karolo ea bohlokoa ho motsoako oa semiconductor epitaxy

E sebetsa ho kholo ea MOCVD epitaxial ea lisebelisoa tse fapaneng tsa metsoako ea III-V, ho kenyelletsa empa e sa felle ho:

● GaN/AlGaN: bakeng sa li-LED, lasers, lisebelisoa tsa matla.

● AlN, InGaN: bakeng sa li-LED tsa UV le lisebelisoa tsa maqhubu a holimo.

● GaAs/InP epitaxy: bakeng sa lisebelisoa tsa elektronike tsa lebelo le phahameng le lisebelisoa tsa puisano tsa laser.

Semiconductor chip epitaxy indasteri ketane:

Semixlab SiC Coated Set Disc mabenkeleng