Ke Eng e Etsang Hore Li-membrane tsa Ceramic tsa SiC li Loke bakeng sa ho Hloekisa ka ho Fetisisa le ho Hanela Lik'hemik'hale Tlhahisong ea Semiconductor?

Tlhahisong ea semiconductor esita le karoloana e nyane ka ho fetisisa kapa litšila tsa lik'hemik'hale li ka senya sehlopha sa li-wafer tse lebisang ho tieho le likoli tse turang. Ke ka lebaka leo ho sefa ho bapalang karolo ea bohlokoa hakana ho bolokeng lits'ebetso li hloekile haholo. Li-membrane tsa ceramic tsa Silicon carbide (SiC) li fetohile khetho e ratoang bakeng sa libaka tsena tse thata. Li fana ka motsoako o ikhethang oa ho tiea le ho hanyetsa lik'hemik'hale tseo boholo ba lisebelisoa tse ling li ke keng tsa li bapisa. Ho tloha ho sebetsana le li-acid tse mabifi ho isa ho pholoheng mocheso o phahameng, SiC e tiileng boloka maro a hloekile le litsamaiso li tšepahala. Ho utloisisa hore na ke hobane'ng ha maro ana a sebetsa hantle hakana ho ka thusa baenjiniere le litsebi ho etsa liqeto tse betere bakeng sa ho boloka tlhahiso le nako e telele ea lisebelisoa.

Meaho ea Lera la SiC e Thusa Botsitso ba Mocheso o Phahameng le Lik'hemik'hale Joang?

Li-membrane tsa ceramic tsa Silicon carbide (SiC) li hahiloe ho sebetsana le maemo a ka senyang thepa e meng e mengata ea ho sefa kapele. Sephiri se ka har'a sebopeho sa tsona. SiC e entsoe ka marang-rang a litlamo tse matla tsa covalent tse e fang thata le botsitso bo feteletseng. Sebopeho sena se lumella lera ho hanela ho petsoha kapa ho sotha esita le tlas'a mocheso o phahameng haholo ho etsa hore le lokele lits'ebetso tse kang ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale kapa ho kolobisa metsi moo metsi a ka fihlang ho likhato tse makholo tsa Celsius. Li-pores tse ka har'a lera la SiC li tšoana haholo 'me li laoloa ka nepo. Ho tšoana hona ho thusa ho boloka sekhahla se tsitsitseng sa phallo ha ka nako e ts'oanang ho thibela likaroloana esita le khatellong e phahameng. Hobane thepa ha e ruruhe, ha e qhibilihe kapa ha e arabele ka lik'hemik'hale tse mabifi e ka sefa li-acid, li-base le li-solvents tsa organic ntle le ho senyeha. Ha ho bapisoa, lera la polymer hangata lea hloleha tlas'a maemo a tšoanang ebang ke ka ho robeha kapa ka ho ntša litšila ka har'a mokelikeli. Lera la SiC le lona le rua molemo ho tsamaiso ea tsona ea mocheso. Mocheso o abuoa ka ho lekana ho pholletsa le lera ho thibela libaka tse chesang tse ka fokolisang thepa kapa tsa baka litšila. Ha e le hantle sena se bolela bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso le litšitiso tse fokolang bakeng sa ho hloekisa kapa ho nkela sebaka. Mohlala, ho fab ea semiconductor e sebetsanang le nitric acid e matla, SiC e tiileng e ka sefa tharollo ka ho tswela pele ka dikgwedi moo sefe sa polymer se tlwaelehileng se ka hlokang ho nkelwa sebaka matsatsi a mang le a mang a mmalwa. Molemo o mong ke matla a mechini. Esita le tlasa sekgahla se phahameng sa phallo kapa kgatello e phahamang, di-membrane tsa SiC di boloka sebopeho le tshebetso ya tsona. Botsitso bona bo netefatsa hore bokgoni ba ho sefa ha bo theohe ha nako e ntse e ya mme di-wafer di sireleditswe dikarolwana tse ka amang chai. Ka ho kopanya khanyetso ya dikhemikhale, botsitso ba mocheso o phahameng le ho tshwarella ha mechini di-membrane tsa SiC di fana ka sefa se tshepahalang dibakeng tse ding tse thata ka ho fetisisa tsa tlhahiso ya semiconductor.

Hobaneng ha Li-membrane tsa SiC li le Bohlokoa bakeng sa Litšebeliso tsa UPW, CMP, le Chemical Filtration?

Tlhahisong ea semiconductor, li-slurry tsa chemical mechanical polishing (CMP) tsa metsi a hloekileng haholo (UPW) le litharollo tsa lik'hemik'hale tse matla li bohlokoa mohatong o mong le o mong oa ts'ebetso. Litšila, esita le sekaleng sa nanometer li ka baka liphoso ho li-wafer, tsa fokotsa chai le boleng ba sehlahisoa. Mona ke moo li-membrane tsa ceramic tsa SiC li pakang bohlokoa ba tsona. Sebopeho sa tsona se nepahetseng sa li-pore le botsitso ba lik'hemik'hale li etsa hore li be ntle bakeng sa ho sefa likaroloana le li-ion tse sa batleheng ntle le ho hlahisa litšila tse ncha. Bakeng sa litsamaiso tsa UPW, ho boloka likaroloana tse tlase haholo le litaba tsa tšepe ho bohlokoa. Li-membrane tsa SiC li ka sebetsana le mocheso o phahameng le ho hanela ho bola, e leng se li lumellang ho tlosa likaroloana tse ka tlase ho micron ka katleho. Ho fapana le li-membrane tsa polymer ha li ntše lintho tse phelang kapa ho senyeha ha nako e ntse e ea, ho thusa masela ho boloka bohloeki ba metsi nakong ea potoloho e telele ea ts'ebetso. Sena se fokotsa nako ea ho se sebetse 'me se fokotsa kotsi ea tahlehelo ea chai e bakoang ke metsi a silafetseng. Taolo ea likaroloana tsa CMP slurry filtration e bohlokoa. Li-membrane tsa SiC li ka sefa likaroloana tse khorofo ka ho nepahala ho hoholo ha li ntse li mamella khatello ea lik'hemik'hale le ea mechini ea phallo e tsoelang pele ea slurry. Ho tšoarella ha tsona ho netefatsa kabo e tsitsitseng ea boholo ba likaroloana, e amang ka ho toba ho ts'oana ha polishing le boleng ba bokaholimo ba wafer. Ho tsitsa hona ho boetse ho bolela hore liphetoho tse fokolang tsa sefa tse bolokang nako le litšenyehelo tsa ts'ebetso lia fokotseha. Ho sefa ka lik'hemik'hale, joalo ka li-acid le li-solvent tse sebelisoang ho hlaba kapa ho hloekisa li rua molemo ho tsoa ho thepa e tšoanang. Li-membrane tsa SiC li hanela lik'hemik'hale tse matla tse ka senyang boholo ba li-filter tsa polymer tse lumellang ts'ebetso e tsoelang pele ntle le ho beha ts'ebetso ea ho sefa kotsing. Li-wafer le lisebelisoa li sirelelitsoe likarolong le masala a lik'hemik'hale ka bobeli, ho ntlafatsa ts'epo ea ts'ebetso ka kakaretso. Ka ho kopanya khanyetso e phahameng ea lik'hemik'hale, botsitso ba mocheso, le ho sefa ka nepo likaroloana, SiC e tiileng Li fana ka ts'ebetso e tsitsitseng ho pholletsa le lits'ebetso tsa ho sefa tsa UPW, CMP, le lik'hemik'hale. Ha li sireletse li-wafer feela hore li se ke tsa silafatsoa empa li boetse li thusa masela a semiconductor ho boloka bokhoni, ho fokotsa tlhokomelo, le ho lelefatsa bophelo ba lisebelisoa tsa bohlokoa tsa ts'ebetso.