Sebōpi se chesang sa ho hatella bakeng sa ho kopanya peo ea kristale ea SiC

Ho tlamahana ha kristale ea peo ke e 'ngoe ea lits'ebetso tsa bohlokoa tse amang kholo ea kristale. Ho latela litšobotsi tsa ho tlamahana ha kristale ea peo, Semixlab e hlahisitse lisebelisoa tse khethehileng tsa ho hatisa ka vacuum bakeng sa ho tlamahana ha kristale ea peo. Sesebelisoa sena se fokotsa ka katleho liphoso tse fapaneng tse hlahisoang nakong ea ts'ebetso ea ho tlamahana, ka hona se ntlafatsa chai ea ho tlamahana ha kristale ea peo le boleng ba ho qetela ba likristale.

Ⅰ. Selelekela sa Lisebelisoa tsa ho Hatisa ka Setlolo sa Crystal Bonding sa Peo

1. E sebedisetswa ho kopanya peo ya kristale pele ho kgolo ya kristale ya SiC;

2. Peo e tlamiloeng e boloka ho khomarela ho 2300°C ntle le ho arohana, e fihlella ho kopana ho se nang lipululana ka 100% ka ho ba sephara le bokaholimo bo hloekileng ba wafer bo se nang ho monngoa ke litšila;

3. Terei e futhumatsang e sebelisa ho futhumatsa ha mofuta oa disc, ho netefatsa kabo e ts'oanang ea mocheso, ts'ebetso e bolokehileng, le ts'ebetso e bonolo ho e sebelisa;

4. Disensara tsa kgatello tse kentsweng ka tlasa terei di bontsha kgatello e sebediswang ho sesebediswa sa mosebetsi ka nepo.

II. Kakaretso ea Mesebetsi ea Lisebelisoa tsa ho Hatisa ka Motlakase oa Peō ea Crystal

Sebōpi sa Semixlab Seed Crystal Vacuum Hot Press Furnace se etselitsoe ho hatella ka ho chesa likristale tsa peo ea silicon carbide ka thuso ea vacuum.

1. Kamore ea tšepe e pholisitsoeng ka metsi e nang le mekhahlelo e 'meli e fokotsa mocheso oa bokaholimo ba sebōpi ka katleho, e fokotsa likotsi tsa mocheso o phahameng, 'me e fokotsa tšusumetso ea tikoloho;

2. E khona ho sebelisa le ho tšoara khatello ka boiketsetso, ho kenya butle-butle, le ho falla ka taolo e iketsang;

3. Litlhophiso tse fapaneng tsa sistimi ea vacuum li lumella khetho ea maemo a fapaneng a vacuum ho latela litlhoko tsa ts'ebetso;

4. Kabo e tšoanang ea khatello le ho nepahala ha taolo ea mocheso o phahameng;

5. Tšebeliso ea khatello e sebelisa mekhoa e nepahetseng ea ho sututsa ka mechine bakeng sa ho fana ka khatello e nepahetseng le e tsitsitseng, ho netefatsa ts'ebetso e sireletsehileng le ho lumellana le tikoloho;

6. Kgokelo ya kopanelo ya bokahohleng pakeng tsa hlooho e ka hodimo ya kgatiso le thupa e tshubang e tiisa ho tshwana ha hlooho e ka hodimo le terei e ka tlase nakong ya ho tobetsa, ho netefatsa kabo e tshwanang ya kgatello;

7. Hlooho e ka holimo ea khatiso e kenyelletsa ts'ebeliso ea khatello ea cushion bakeng sa ho fana ka matla ka mokhoa o boreleli, o bonolo ntle le tšusumetso, e thibelang ho robeha ha karolo ea mosebetsi;

8. Disensara tsa mocheso tse kenyelleditsweng sebopehong sa poleiti ya phetisetso ya mocheso le molaoli wa mocheso, ho nolofalletsa mocheso o nepahetseng wa ho futhumatsa le taolo ya lenaneo;

9. Pallet le hlooho e ka holimo ea khatiso li kenyelletsa lisebelisoa tsa ho thibela mocheso ho fokotsa tahlehelo ea mocheso.

Ⅲ. Tshebetso le Likarolo tsa Sesebelisoa sa ho Tobetsa se Chesang sa Semixlab Peō ea Crystal Vacuum

1. Ho ntšoa ha vacuum butle-butle ka sekhahla se laoloang sa ho pompa;

2. Kamore e kholo bakeng sa bokhoni bo bongata ba ntlafatso;

3. Hlooho e tsitsitseng ea khatiso e nang le ts'ebetso e iketsang;

4. Taolo ea ho phahamisa khatello le ho lokolla ka mokhoa o iketsang oa ho theola khatello le taolo ea risepe;

5. Taolo e nepahetseng ea mocheso ka potoloho ea mocheso le khatello e ka hlophisoang;

6. Liparamente tsa vacuum, khatello le mocheso tse ka fetoloang bakeng sa lits'ebetso tse fapaneng tsa ho kopanya;

7. Ho kopana ho teteaneng ho se nang lipululana tse lefela;

8. Sekhahla sa ho robeha se tlase haholo—hoo e ka bang ha ho na ho robeha ho bakoang ke sesebelisoa;

9. Ho lumellana: E tšehetsa li-wafer tsa lisenthimithara tse 6-12;

10. Khatello e phahameng ka ho fetisisa ea ho theohela tlaase: 1.6 T;

11. Sekheo sa ho qetela sa ho hloekisa: 5 Pa (serame);

12. Ho tšoana ha mocheso oa sethala sa ho futhumatsa: <±3℃, σ<4 (ho 200℃);

13. Phetoho ea khatello: <0.5%.

Liparamente tsa sebōpi se chesang bakeng sa ho kopanya peo