EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
CVD SiC Focus Ring
Semixlab CVD SiC Focus Ring ke karolo ea plasma e entsoeng ka nepo e etselitsoeng ho ntlafatsa boits'oaro ba semiconductor maemong a tsoetseng pele a semiconductor le a deposition. E entsoe ka silicon carbide ea CVD e hloekileng haholo, selikalikoe se fana ka khanyetso e tsotehang, botsitso bo botle ba mocheso, le microstructure e tšoanang haholo. Melemo ena ea thepa e etsa hore ho be le sebopeho se tsitsitseng sa sheath, botenya bo ntlafetseng, le tšireletso e ka tšeptjoang ea moeli nakong ea ts'ebetso ea matla a phahameng a plasma. Re lebelletse patlisiso ea hau e eketsehileng.
Tlhaloso
Ka har'a tlhahiso e tsoetseng pele e thehiloeng ho plasma-based semiconductor Ring, Semixlab CVD SiC Focus Ring e bapala karolo ea bohlokoa ho tsitsisa tikoloho ea ts'ebetso le ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng ea boemo ba wafer. selikalikoe sa ho tsepamisa maikutlo ha se feela ntho e ka jeoang empa ke karolo ea boenjiniere e sebetsang e bopang ka kotloloho boitšoaro ba plasma moeling oa wafer. Ka ho pota-pota substrate ka mokhoa o hlophisitsoeng, selikalikoe sa ho tsepamisa maikutlo se lokisa kabo ea sebaka sa motlakase sa sebaka seo 'me se laola ho thehoa ha plasma sheath haufi le moeli oa wafer. Phetoho ena e laoloang e fokotsa likhaello tse amanang le ts'ebetso - joalo ka ho tenyetseha ho feta tekano, ho sotha profaele, le ho beha ka mokhoa o sa ts'oaneng - hoo hangata ho hlahang ka lebaka la phapano ea tlhaho ea plasma density le ion trajectories haufi le meeli e bulehileng.
Reng e tsepamisitsoeng maikutlo e boetse e sebetsa e le mokoallo oa bohlokoa oa tšireletso. Libakeng tse nang le matla a phahameng a plasma, mathōko a pepeneneng a kotsing ea ho silafatsoa ke likaroloana, masking a micro-mask, le khoholeho ea mechine. Semixlab CVD SiC Focus Ring e beha mefuta e sebetsang libakeng tse loketseng tsa ts'ebetso, e sireletsa sebaka sa sephaphatha ha e ntse e thibela tšebelisano e sa batleheng ea lik'hemik'hale lipakeng tsa plasma le lisebelisoa tsa kamore. Sena se kenya letsoho ntlafatsong ea ts'ebetso ea ho qhelela ka thoko le phokotso e lekantsoeng ea bofokoli, tseo ka bobeli li leng bohlokoa bakeng sa tlhahiso e phahameng ea lisebelisoa.
Ntho ea bohlokoa ka ho tšoanang ke karolo ea selikalikoe sa ho boloka botsitso ba kamore nakong ea ts'ebetso e atolositsoeng ea lisebelisoa. Ntle le selikalikoe sa ho tsepamisa maikutlo hantle, mabota a kamore le likarolo tsa electrostatic chuck li na le boiphihlelo bo potlakileng, bo hlahisang likaroloana le ho hlahisa mokhoa oa ho hoholeha. Lesale la Semixlab le monya le ho mamella maemo a thata a plasma, ka katleho e sebetsa e le sebopeho se laoloang sa mahlabelo. Geometry ea eona e entsoeng ka boenjiniere le lisebelisoa tse phahameng tsa CVD SiC li netefatsa ho koalloa ka mokhoa o tsitsitseng oa plasma, boitšoaro bo ka lebelloang bophelo bohle, le botsitso bo phahameng ba boemo bo phahameng ho pholletsa le potoloho e pheta-phetoang ea mocheso le plasma.
Ka ho kopanya lits'ebetso tsena ho karolo e le 'ngoe e nepahetseng haholo, Semixlab CVD SiC Focus Ring e thusa masela ho fihlela taolo e matla ea ts'ebetso, ho ts'oara ho ts'oanang ha li-wafer, le ho pheta-pheta nako e telele. Sena se etsa hore selikalikoe e be motheo oa sethala sa sejoale-joale sa plasma le sethala sa deposition ho fapana le karolo e bonolo, e ikamahanyang ka kotloloho le lintho tse tlang pele indastering ka bophara tsa ntlafatso ea lihlahisoa, botsitso ba lisebelisoa le ts'ebetso e tsitsitseng ea lisebelisoa.
Joaloka moetsi ea ka sehloohong oa CVD SiC Focus Ring le mofani oa thepa naheng ea China, re ikemiselitse ho fa indasteri ea ho etsa li-semiconductor ka boeletsi bo tsoetseng pele ba tekheniki le lits'ebeletso tse ikhethileng tsa sehlahisoa, hammoho le tšehetso e felletseng ea kamora thekiso. Semixlab e labalabela ho ba molekane oa hau oa nako e telele Chaena.
Services Our
Lebenkele la Lihlahisoa tsa Semixlab
