Li-block le likotoana tsa mohloli oa CVD-SiC tse hloekileng haholo

Tlhahisong ea li-wafer tsa SiC tsa lisenthimithara tse 6 le tse 8, mokhoa oa setso oa ho tsamaisa mouoane oa 'mele (PVT) hangata o ama bothata: Tšilafalo ea Lerōle la Khabone (lerōle la C) le sekhahla se sa tsitsang sa sublimation se tsoang phofo ea SiC.

Re ntlafalitse li-block tsa rona tsa mohloli oa CVD-SiC tse hloekileng haholo le likotoana ka ho khetheha ho sebetsana le meeli ea ho nepahala ha mehloli ea phofo ea setso. Ho qala ka li-precursors tsa CVD-SiC tsa sehlopha sa semiconductor, re sebetsana le thepa ka potoloho e ikhethileng ea ho sila le ho hlophisa. Sena ha se feela taba ea ho hloekisa bokaholimo—ke ts'ebetso e tebileng ea tlhoekiso e fetolang likarolo tse khutlisitsoeng hore e be thepa ea mohloli e sebetsang hantle bakeng sa moloko o latelang oa li-wafer tsa SiC. Sephetho ke thepa ea mohloli e nang le bongata bo phahameng, ea sehlopha sa 7N e ntlafatsang li-gradients tsa tšimo ea mocheso le ho eketsa chai ea kholo ea kristale haholo.

Litlhaloso & Ho odara

● Bohloeki: 6N5 ho isa ho 7N

● Boholo: 5mm - 50mm (E ka fetoloa)

● Sephutheloana: Mekotla ea PE e thibelang ho sisinyeha e nang le mekhahlelo e 'meli, e koetsoeng ka vacuum.

● Nako ea ho etella pele: Ketane ea phepelo e tsitsitseng e nang le bokhoni ba ho romella lefatšeng ka bophara.

Lisebelisoa tse Lebeletsoeng

Kgolo ya kristale ya PVT SiC: E loketse di-substrate tse tsamaisang motlakase tsa 4H-SiC le tse thibelang mocheso ka halofo.

Sekala sa Wafer sa lisenthimithara tse 8: Se etselitsoe masimo a maholo a mocheso a li-reactor tsa moloko o latelang moo ho se tsitse ha phofo ho holisoang.

Tlhahlobo le Ntshetsopele ya Maemo a Hodimo: Bakeng sa dilaboratori tse hlokang EPD e tlase ka ho fetisisa (Etch Pit Density) le MPD.

Moeli oa Semixlab: Tšepo e Tšehelitsoeng ke Lintlha

Ha indasteri e ntse e leba tlhahisong ea SiC ea lisenthimithara tse 8, ho tšoana ha thepa ea mohloli e ba sesosa se seholo sa nako ea ho sebetsa ha lisebelisoa. Likarolo tsa CVD-SiC li fana ka bongata bo boholo ba ho bokellana le sublimation e ka lebelloang e hlokahalang bakeng sa ho matha ha kristale ka potoloho e telele le ka chai e ngata.

Setifikeiti sa GDMS: Sehlopha se seng le se seng se romelloa ka tlaleho ea tlhahlobo ea GDMS ea likarolo tse felletseng.

Ho Hlophisa ka Mokhoa o Ikhethileng: Re fana ka ho hlophisa boholo ka nepo (mohlala, 5-20mm kapa 20-50mm) ho tsamaisana le jeometri ea hau e ikhethang ea ho bola.

Molemo oa Semixlab: Litholoana tse Phahameng, Litšenyehelo tse Tlase

7N Bohloeki bo Phahameng: Taolo e feletseng ea litšila tsa tšepe ha se sepheo feela—ke tekanyetso ea rona. Re sebelisa thepa e tala e thehiloeng ho CVD, re fana ka mohloli o hloekileng oa 99.99999% o netefatsang hore likristale tsa hau tsa 4H-SiC li lula li se na sekoli ho tloha peong ho ea holimo.

Ho Roba Mokoallo oa Kholo: Bongata ba masela a khomaretsoe ho 0.5 mm/h. Dikarolo tsa Semixlab di thusa ho fetisa boima bo phahameng, di sutumelletsa tshebetso ya hao ya PVT ho 1.46 mm/h. Ke tsela e potlakileng ya ho hodisa tlhahiso ya hao ya di-inch tse 8.

Sublimation e Hloekileng: Phofo ea setso e na le tšilafalo ea "lerōle la C". Sebopeho sa rona sa likotoana tse tiileng se netefatsa hore ha ho na likaroloana tse itseng karolong ea mouoane, se thibela MPD le ho boloka lipalo tsa ho falla ha tsona li le haufi le 3000 cm⁻².

Sebetsa sa Indasteri: Re fana ka mokhoa o mong o tsitsitseng, o hloekileng haholo ka ho khutlisa CVD-SiC ea sehlopha sa semiconductor. U fumana thepa e hloekileng ho feta phofo ea maiketsetso empa e theko e boima bakeng sa tlhahiso ea bongata.

Papiso ea Tekheniki: Li-chunks khahlanong le Phofo ea Setso