EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC lera la ceramic
SiC Ceramic Membrane e entsoeng ke Semixlab Semiconductor ke karolo e nepahetseng ea porous silicon carbide e entsoeng ka mokhoa o nepahetseng bakeng sa tikoloho e hloekileng le e phahameng ea mocheso ho CVD, MOCVD, le PECVD. Ka botsitso bo ikhethang ba lik'hemik'hale, matla a mochini, le ts'ebetso ea mocheso, e fana ka taolo e tšepahalang ea phallo ea khase, ho sefa likaroloana, le thibelo ea tšilafalo ka har'a li-reactor tsa tlhahiso ea semiconductor.
Tlhaloso
Tlhahisong e tsoetseng pele ea li-semiconductor, SiC Ceramic Membrane e sebetsa e le karolo e sebetsang ka ho toba e amang botsitso ba ts'ebetso, ho tšoana ha li-wafer, le ts'ebetso ea lihlahisoa ka kakaretso. Ka har'a litsamaiso tsa CVD, MOCVD, le PECVD, e sebetsa e le sehokelo sa bohlokoa lipakeng tsa likhase tsa tšebetso le tikoloho ea karabelo, ho netefatsa taolo e nepahetseng ea matla a phallo, ho leka-lekana ha mocheso, le khatello ea tšilafalo.
Ka meaho ea eona ea porous e ts'oanang haholo, lesela la SiC le khothaletsa laminar le phepelo ea khase e ajoang ka mokhoa o leka-lekaneng holim'a bokaholimo. Tšimo ena ea phallo e ts'oanang e fokotsa mefuta e fapaneng ea sebaka ka har'a mahloriso a pele, ka hona e ntlafatsa ho ts'oana ha botenya ba filimi le ho ts'oana ha sebopeho nakong ea epitaxial kapa dielectric deposition. Ka nako e ts'oanang, sebopeho se setle sa pore sa membrane se sebetsa joalo ka sesefa se sebetsang sa mocheso o phahameng oa mocheso, se ts'oara li-condensate, masala a khabone, le li-submicron particulates pele li fihla sebakeng se sebetsang sa wafer-e leng ntlha ea bohlokoa ho fokotsa sekhahla sa sekoli le ho boloka ts'epahalo e phahameng ea sesebelisoa.
Ka ntle ho phallo le ho sefa, SiC ceramic matrix e fana ka thibelo e matla ea mocheso le lik'hemik'hale ka har'a kamore ea ts'ebetso. E arola likarolo tse amehang ho tsoa ho mefuta e sebetsang hantle, e fokotsa tšilafalo, 'me e boloka bohloeki ba phaposi nakong ea nako e telele ea tlhahiso. Libakeng tsa mouoane, ho ka sebelisoa theknoloji e tšoanang ea membrane ho tsitsisa khatello le ho ts'oara lihlahisoa tse setseng, ho kenya letsoho mekhoeng e hloekileng ea ho ntša metsi le linako tse telele tsa tlhokomelo.
Ka ho kopanya mesebetsi ena ho karolo e le 'ngoe e tšoarellang, SiC Ceramic Membrane ha e ntlafatse feela ts'ebetso ea ts'ebetso ea CVD le MOCVD reactors empa e boetse e nolofalletsa tikoloho ea ts'ebetso e tsitsitseng le e pheta-phetoang-e finyellang bohloeki bo tiileng le litlhoko tsa ts'ebetso ea tlhahiso ea semiconductor ea moloko o latelang.
Sesepa sa ceramic sa SiC se entsoe joang
Lebenkele la Lihlahisoa tsa Semixlab
