Lesela la Ceramic le ka Holimo 0200-04654

Mekhoeng e tsoetseng pele ea ho beha filimi e tšesaane ea semiconductor, botsitso ba tikoloho ea kamore bo ama ka ho toba ho tšoana ha filimi, taolo ea likaroloana, le katleho ea ts'ebetso ea lisebelisoa. Jwalo ka karolo ea bohlokoa ea kamore ea sethala sa PECVD sa letoto la Lisebelisoa tse Sebelisitsoeng (AMAT), AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner e bapala karolo ea bohlokoa ho sireletseng kamore ea ts'ebetso, ho ntlafatsa mekhoa ea phallo ea khase, le ho fokotsa kotsi ea tšilafalo ea likaroloana. Karolo ena e sebelisoa haholo likamoreng tsa ts'ebetso tsa PECVD tse amanang le SiH₄ (silane) 'me ke e' ngoe ea lisebelisoa tsa bohlokoa bakeng sa ho boloka tlhahiso e tsitsitseng ea nako e telele le ts'ebetso e nang le chai e ngata.

AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner hangata e etsoa ka thepa ea ceramic ea alumina e hloekileng haholo. Alumina e hloekileng haholo e na le thepa e ntle ea dielectric, khanyetso ea mocheso o phahameng, le khanyetso khahlanong le mafome a plasma, e e nolofalletsang ho boloka botsitso ba sebopeho ka nako e telele libakeng tsa ts'ebetso ea PECVD. Ha e bapisoa le thepa ea tšepe, li-ceramic tsa Alumina li fokotsa kotsi ea liketso lipakeng tsa likhase tsa ts'ebetso le sebopeho sa kamore, li fokotsa mehloli ea tšilafalo ea tšepe, 'me li ntlafatsa haholo bohloeki ba kamore. Ho se sebetse hantle ha tsona ka lik'hemik'hale ho li lumella ho mamella libaka tse nang le likhase tse tloaelehileng tsa ts'ebetso le ho hloekisa tse kang SiH₄, N₂O, NH₃, le NF₃, ho fihlela litlhoko tsa tlhahiso e tsoetseng pele ea semiconductor bakeng sa maemo a tlase a likaroloana, bohloeki bo phahameng le ts'epo e phahameng.

Sethaleng sa AMAT Producer PECVD, 0200-04654 Top Ceramic Liner e sebakeng se ka holimo sa kanale ea ho pompa ea kamore ea ts'ebetso 'me e sebetsa e le karolo ea bohlokoa ea sistimi ea liner ea pompo ea kamore. Hangata e behiloe ka ntle ho sebaka sa ts'ebetso ea wafer, e sebetsa hammoho le Middle Ceramic Liner le Bottom Ceramic Liner ho theha sebopeho se felletseng sa tšireletso ea liner ea ceramic. Karolo ena ha e arole feela lihlahisoa tsa deposition ho tsoa ho amanang ka kotloloho le mabota a kamore ea tšepe empa hape e ntlafatsa kabo ea tšimo ea phallo ea mosi, e thusa ho boloka tikoloho e tsitsitseng ea khatello le phallo ea khase sebakeng sa ts'ebetso. Ka ho laola ka katleho pokello ea depositi le ho fokotsa kotsi ea ho lokolloa ha likaroloana, Top Ceramic Liner e bapala karolo ea bohlokoa ho ntlafatseng ho tšoana ha filimi, ho fokotsa bongata ba sekoli, le ho atolosa potoloho ea tlhokomelo ea kamore (PM Cycle).

Jwalo ka karolo ya bohlokwa e ka sebediswang e dula e pepesetswa ho di-deposition le di-cleaning cycles, Top Ceramic Liner e ntse e senyeha butle-butle tshebetsong ha nako e ntse e ya. Ho itshetlehile ka boiphihlelo bo boholo ba ho sebetsa ka di-wafer fabs, mekgwa e tlwaelehileng ya ho hloleha e kenyeletsa ho qhalana ha dikarolwana tse bakwang ke ho bokellana ha difilimi tse kentsweng, ho kgwahlama ha bokahodimo, mapetso a manyane a bakwang ke kgatello ya mocheso, ho tjhesa ka plasma, le ho qhalana ha dikarolwana tse entsweng sebakeng seo. Ha dihlahiswa tsa tshebetso di ntse di bokellana ka ho tswela pele hodima bokahodimo ba ceramic, ho qhaqha ha filimi le ho qhalana ho ka etsahala nakong ya ho hlwekisa kapa ho potoloha ha mocheso, ka hona ho theha mehlodi ya tshilafatso ya dikarolwana tse nyane. Tshebetso ya nako e telele ya mocheso o phahameng e ka boela ya fetola sebopeho sa dikarolwana tse nyane tsa bokahodimo ba ceramic, e leng se lebisang ho hoholo ha ho kgwahlama ha bokahodimo mme ka lebaka leo e ama tshebetso ya taolo ya dikarolwana tse nyane. Ha mapetso a ata ho ya dibakeng tse bohlokwa, a ka baka ho hloleha ha sebopeho sebakeng seo, qetellong a ama botsitso ba tshebetso ya kamore le nako ya ho sebetsa ha disebediswa. Ka hona, ho theha sistimi ya taolo ya bophelo ba saense, ho hlahloba maemo a bokahodimo kamehla, le ho kenya tshebetsong diphetoho tsa thibelo ke mehato ya bohlokwa ho netefatsa tshebetso e tsitsitseng ya ditsamaiso tsa PECVD.

Jwalo ka sethala se ikgethang ka dikarolo tsa disebediswa tsa semiconductor le ditharollo tse tswetseng pele tsa thepa, Semixlab e ikemiseditse ho fana ka dikarolo tsa semiconductor tsa boleng bo hodimo le ditshebeletso tsa tshehetso ya botekgeniki ho bahlahisi ba di-wafer ba lefatshe ka bophara, di-OEM tsa disebediswa, bafepedi ba dikarolo tsa semiconductor le dihlopha tsa tlhokomelo ya disebediswa.

Bakeng sa AMAT 0200-04654 Top Ceramic Liner, Semixlab e thehile sistimi e thata ea taolo ea boleng. Litekanyetso tse tiileng lia qobelloa ho pholletsa le ts'ebetso eohle—ho tloha ho khetho ea thepa e tala le ho sebetsa ka nepo ho isa tlhahlobong ea litekanyo le netefatso ea boleng ba bokaholimo—ho netefatsa hore sehlahisoa se boloka ts'ebetso e tsitsitseng tlas'a maemo a mocheso o phahameng, mojaro o phahameng oa ho beha thepa, le a rarahaneng a ts'ebetso. Ka nako e ts'oanang, ka ho sebelisa mehloli ea eona ea ketane ea phepelo ea lefats'e le boiphihlelo bo pharaletseng ba indasteri, Semixlab e thusa bareki ho khutsufatsa lipotoloho tsa theko, ho ntlafatsa taolo ea thepa ea likarolo tse ling, le ho fokotsa litšenyehelo tsohle tsa beng (TCO). Ebang ke bakeng sa litlhoko tsa ho nkela sebaka tsa OEM, merero ea ntlafatso ea lisebelisoa, kapa merero ea phepelo ea likarolo tse ling ea nako e telele, Semixlab e fana ka tšehetso e tšepahalang, e sebetsang hantle le ea botsebi.