Sesebelisi sa Ceramic sa Adaptara ea Mohloli oa 300mm

Sesebelisoa sa AMAT 300mm Source Adapter Ceramic Insulator ke karolo ea bohlokoa lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa ho sebetsana le filimi e tšesaane ea semiconductor tse entsoeng ke Semixlab. E etselitsoe ka ho khetheha liforomo tsa wafer tsa 300mm, sesebelisoa sena sa ceramic se sebetsa e le sebopeho se tšepahalang haholo pakeng tsa litsamaiso tsa phepelo ea matla a RF le likarolo tsa mohloli ka har'a likamore tsa ts'ebetso.

Ditsamaisong tse kang plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), physical vapor deposition (PVD), le platforms tsa ho fata, karolo ena e bapala karolo ea bohlokoa ho bolokeng ho itšehla thajana ha motlakase, botsitso ba plasma, le botšepehi ba mechini. Jwalo ka karolo e sa sebelisoeng empa e le ea bohlokoa ts'ebetsong, e ama ka kotloloho botsitso ba ts'ebetso, tlhahiso, le nako ea ho sebetsa ha lisebelisoa.

Khetho ea Lihlahisoa

Alumina e hloekileng haholo (Al₂O₃) e khethiloe e le thepa ea substrate ka lebaka la ts'ebetso ea eona e phahameng e pakiloeng libakeng tsa semiconductor tse sebelisang plasma haholo. Liserame tsa Alumina li fana ka tekano e ntle ea thepa ea motlakase, mocheso le lik'hemik'hale, e netefatsang ts'ebetso e tsitsitseng ea nako e telele.

Melemo ea bohlokoa ea thepa e kenyelletsa:

● Matla a phahameng a dielectric: E netefatsa ho thibela ho ruruha ho sebetsang hantle tlasa masimo a maqhubu a phahameng a RF, e thibela ho dutla le ho ntsha metsi a arc.

● Khanyetso e ntle ea plasma: E boloka botsitso ba sebopeho tlas'a libomo tsa ion le ho pepesehela likhase tse arabelang.

● Kotsi e tlase ea tšilafalo: Alumina e hloekileng haholo e fokotsa tlhahiso ea likaroloana, e fihlela litekanyetso tse thata tsa kamore ea ho hloekisa.

● Ho tsitsa ha mocheso: E mamella ho potoloha ha mocheso khafetsa ntle le ho fetoha kapa ho senyeha ha ts'ebetso.

Ha ho bapisoa le thepa e meng ea letsopa e kang aluminium nitride (AlN) kapa silicon carbide (SiC), aluminium oxide (Al₂O₃) ke tharollo e theko e tlaase le e pakiloeng indastering e sebelisoang haholo lits'ebetsong tse kang li-insulator, masale le li-bushing bakeng sa li-platform tsa OEM tsa semiconductor.

Sebopeho sa Sehlahisoa le Moralo o Sebetsang

Sesebelisoa sa ho thibela motlakase sa AMAT 0200-07442 se entsoe e le adaptara ea mohloli, se kopanyang mesebetsi ea sebopeho le ea motlakase karolong e le 'ngoe ea ho nepahala.

Mesebetsi ea eona ea mantlha e kenyelletsa:

Ho Itšehla Motlakase (Mosebetsi o ka Sehloohong)

Sesebelisoa sena sa ho thibela motlakase se arola likarolo tsa phepelo ea motlakase oa RF tse nang le motlakase o phahameng ho tsoa mohahong oa kamore e thehiloeng fatše, ho netefatsa ts'ebetso e sireletsehileng le e tsitsitseng ea sistimi ea plasma.

Botsitso ba Tikoloho ea Plasma

Ka ho boloka sebopeho se tsitsitseng sa dielectric, karolo ena e thusa ho theha kabo e ts'oanang ea tšimo ea motlakase, e leng ea bohlokoa bakeng sa ho fihlela bongata bo tsitsitseng ba plasma le ho tšoana ha filimi.

Tšehetso le Tokiso ea Mekaniki

Adaptara e fana ka tšehetso ea sebopeho bakeng sa kopano ea electrode e kaholimo kapa hlooho ea spray, e netefatsa hore mamello ea bohlokoa—joalo ka ho ba bataletse, ho tsepamisa maikutlo, le ho nepahala ha ho otlolla—li bolokoa nakong ea ts'ebetso ea wafer ea 300mm.

Taolo ea Khatello ea Mocheso

E etselitsoe ho mamella mocheso oa ts'ebetso le khatello ea mechine, karolo ena e thusa ho fokotsa ho bokellana ha khatello, e netefatsa ho tšepahala ha nako e telele.

Moralo ona o nang le mesebetsi e mengata o bonts'a mokhoa o pharaletseng lefapheng la lisebelisoa tsa semiconductor mabapi le ho kopanya mesebetsi ea motlakase, ea mechini le ea mocheso ka har'a likarolo tse tsoetseng pele tsa letsopa.