Lesale la Wafer le koahetsoeng ka TaC bakeng sa SiC Epitaxy

Lesale la Wafer le Koahetsoeng la TaC bakeng sa SiC Epitaxy ke karolo ea bohlokoa ea ts'ebetso e etselitsoeng ho netefatsa botsitso ba mocheso le lik'hemik'hale moeling oa wafer nakong ea kholo ea epitaxial ea silicon carbide e mocheso o phahameng. Ts'ebetsong ea SiC CVD le MOCVD, maemo a moeli oa wafer a ama ho tšoana ha mocheso haholo, boitšoaro ba phallo ea khase, le ho kenngoa ha likokoana-hloko. Ka ho hlalosa hantle moeli oa karabelo ho potoloha li-wafer tsa SiC, lesale la wafer le bapala karolo ea bohlokoa ho tsitsiseng tikoloho ea kholo ea lehae. Sena se netefatsa botenya bo tsitsitseng ba epitaxial, kabo e ts'oanang ea doping, le chai e phahameng ea moeli nakong eohle ea tlhahiso.

Karolo ena e sebelisa graphite e sa fetoheng e hloekileng haholo e le thepa ea eona ea substrate, e bonts'ang ho tsamaisa mocheso ho ikhethang, botšepehi ba sebopeho, le ho sebetsa hantle tlas'a maemo a feteletseng a ts'ebetso. Bokaholimo ba substrate ea graphite bo koahetsoe ka mokhoa o ts'oanang ka lera le teteaneng la Tantalum Carbide (TaC), e leng se etsang thibelo e matla ea tšireletso e nang le khanyetso e ikhethang khahlanong le ho bola ha lik'hemik'hale le ho senyeha ha mocheso. Ka har'a tikoloho e thata ea SiC epitaxy - e sebetsang mochesong o fetang 1600 °C ka likhase tse arabelang tse nang le haedrojene le li-halogen - Tantalum Carbide Coating e thibela ho bola ha graphite ka katleho, e fokotsa tlhahiso ea likaroloana, 'me e boloka maemo a tsitsitseng a holim'a metsi nakong eohle ea potoloho e telele ea ts'ebetso.

Ho ya ka pono ya tshebetso, mehele ya wafer e manehilweng ka TaC e kenya letsoho ka ho toba ho tsitsiseng ha matla a mocheso le taolo ya phallo ya kgase, e fokotsa ho se tshwane ho amanang le bohale le ho fokotsa ho bewa ha dikokonyana hodima disebediswa tse potileng. Ho se sebetse ha dikhemikhale tsa TaC le ntlha e phahameng ya ho qhibiliha (3880°C) di nolofalletsa ho pepesehela dibaka tsa dikhemikhale tsa epitaxial tse senyang ntle le ho senyeha kapa ho kgaola ha lesela, e leng ntho ya bohlokwa bakeng sa ho boloka bongata bo tlase ba sekoli le tshebetso e ka phetwang ya tshebetso. Ha e bapiswa le dikarolo tse sa kwahelwang kapa tse tlwaelehileng tsa SiC, meaho e manehilweng ka TaC e eketsa bophelo ba tshebeletso haholo, e ntlafatsa botsitso ba tshebetso, mme e fokotsa ditjeo tsohle tsa beng ba yona tlhahisong ya bongata.

Jwalo ka mofani ya ka sehloohong wa China wa ditshebetso tsa SiC epitaxy, TaC Coated Wafer Rings ya rona e fana ka ditharollo tsa moralo tse ikgethileng tse etseditsweng ditlhoko tsa hao tse ikgethileng tsa tlhahiso. Re labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.

Tantalum carbide (TaC) e koahetsoeng holim'a karolo e nyenyane ea microscopic