Sesepa sa Epi se koahetsoeng ke SiC

Sesebediswa sa epitaxial se koahetsoeng ke SiC ke karolo ya bohlokwa ditshebetsong tsa epitaxy (EPI) ya semiconductor, moo taolo e nepahetseng ya mocheso, botsitso ba dikhemikhale, le tshilafatso e tlase haholo di leng bohlokwa bakeng sa ho fihlella di-layer tsa epitaxial tsa boleng bo hodimo.

Ka hare ho epitaxial reactor, susceptor e tshehetsa wafer ka ho toba mme e fumana maemo a moedi wa mocheso le wa dikhemikhale nakong ya kgolo ya kristale. Ho fapana le di-liners tsa kamore e sa sebetseng, di-susceptor tsa epitaxial di susumetsa ka mafolofolo ho tshwana ha mocheso, kinetics ya kgolo, le kabo ya dopant. Ka ho kopanya substrate ya graphite e hlwekileng haholo le seaparo se teteaneng sa CVD silicon carbide, susceptor ya Silicon Carbide Coated Epi e fana ka botsitso ba tshebetso ya nako e telele tlasa maemo a feteletseng a tshebetso.

Mesebetsi le Mesebetsi ea Motheo Mekhoeng ea Epitaxial

1. Tšehetso ea Wafer le Tsamaiso e Nepahetseng ea Thermal

Nakong ea kholo ea epitaxial, li-wafer li pepesehela mocheso o atisang ho feta 1000°C ho isa ho 1600°C. SiC Coated Epi susceptor e fana ka sethala se tsitsitseng sa mechini se nang le conductivity e ntle ea mocheso, e netefatsang phetisetso ea mocheso e sebetsang hantle le e ts'oanang ho wafer. Silicon Carbide Coating e boloka thepa e tsitsitseng ea bokaholimo ka nako e telele, e tšehetsa kabo ea mocheso o ts'oanang holim'a bokaholimo ba wafer le ho fokotsa maemo a mocheso a bohareng ho ea moeling a ka bakang liphetoho botenya le ho hanyetsa.

2. Taolo ea Lik'hemik'hale le ho Arola Litšila

Mekhoa ea Epitaxial hangata e etsahala libakeng tse nang le haedrojene e hloekileng haholo ho sebelisoa lintho tse ka pele tse arabelang tse kang silane, li-chlorosilane le likhase tse nang le khabone. Tlas'a maemo ana, li-substrate tse sa sirelelitsoeng tsa graphite li kotsing ea ho qhekelloa ke lik'hemik'hale, ho hohloa le ho hlahisoa ha likaroloana. Seaparo sa silicon carbide sa CVD se nang le bongata bo phahameng se sebetsa e le thibelo e matla ea ho hasana, se arola karolo ea mantlha ea graphite ho likhase tse senyang le ho thibela ho lokolloa ha litšila tse amanang le tšepe kapa khabone.

3. Sebopeho sa Kgolo e Tsitsitseng le Pheta-pheto ya Tsamaiso

Litšobotsi tsa bokaholimo ba susceptor li bapala karolo ea bohlokoa ho bopeng phallo ea khase, boitšoaro ba lera la moeli, le phetisetso ea mocheso o matla ka har'a kamore ea epitaxial. Silicon Carbide Coated Epi susceptor ea Semixlab e na le topography e laoloang ea bokaholimo le ho ntša metsi ka mokhoa o tsitsitseng, ho thusa ho boloka maemo a tsitsitseng a ts'ebetso ho pholletsa le leeto le leng le le leng. Botsitso bona bo tšehetsa sekhahla sa kholo sa epitaxial se ka phetoang, ho kenyelletsoa ha dopant ka mokhoa o ts'oanang, le ho lumellana ho tšepahalang ha wafer ho ea ho wafer le sesebelisoa ho ea ho sesebelisoa meleng ea tlhahiso e phahameng.

4. Khanyetso ea ho Potoloha ha Thermal le Bophelo bo Atolositsoeng ba Tšebeletso

Lisebelisoa tsa Epitaxial li feta potolohong ea mocheso khafetsa le ho hloekisoa ka matla ka har'a sebaka. Ho lumellana ha katoloso ea mocheso pakeng tsa sekoahelo sa SiC le substrate ea graphite ho fokotsa khatello ea mechine nakong ea ho futhumatsa le ho pholisa, ho fokotsa kotsi ea ho petsoha kapa ho arohana. Ha ho bapisoa le substrate tse sa koaheloang kapa tse koahetsoeng ka PVD, moralo oa sekoahelo sa CVD SiC o fana ka ho tšoarella ho hoholo, o atolosa linako tsa tlhokomelo ea thibelo le ho fokotsa litšenyehelo tsohle tsa beng ntle le ho beha ts'ebetso ea ts'ebetso kotsing.

Sesebelisi se seng le se seng sa Silicon Carbide Coated Epi se tsoang Semixlab se etsoa tlas'a taolo e thata haholo ea ts'ebetso, se totobatsa bohloeki ba ho roala, ho tšoana ha botenya le matla a ho khomarela. Jwalo ka kgwebo e etellang pele ya theknoloji lefapheng la ts'ebetso ya semiconductor epitaxial ya China, Semixlab e ntse e ikemiseditse ho fana ka mahlale a tswetseng pele le ditharollo tsa susceptor tsa SiC Coated Epi tse ikgethileng bakeng sa indasteri ya semiconductor. Semixlab e labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.