Lesale la Deflector le koahetsoeng ka TaC

Lesale la Semixlab la TaC Coated Deflector ke karolo e nepahetseng haholo ea taolo ea tšilafalo le taolo ea moea e etselitsoeng tikoloho ea semiconductor epitaxy le CVD. Libakeng tsena, ho tšoana ha wafer, botsitso ba lik'hemik'hale tsa kamore, le ho tšoarella ha thepa ho khetholla ka kotloloho chai ea tlhahiso le nako ea ho sebetsa ha lisebelisoa. Ha e behiloe ka maqiti ho potoloha moeli oa wafer kapa moeli oa substrate, lesale lena la deflector le sebetsa e le sesebelisoa sa bohlokoa sa ho bopa phallo ea khase nakong ea kholo ea epitaxial ea Si, SiC, le GaN, e nolofalletsang taolo e nepahetseng holim'a kabo ea precursor ea reactant le tekanyo ea tšimo ea mocheso oa wafer holim'a metsi.

Likamoreng tsa epitaxial tse nang le mocheso o phahameng, moo haeterojene, likhase tse nang le chlorine, hydrocarbons le ammonia li arabelang mochesong o atamelang kapa o fetang 1500 °C, botšepehi ba ho koahela ba hardware ea kamore e ba ntlha ea bohlokoa ho fumaneng boleng ba filimi e tšesaane. Tantalum carbide (TaC), e nang le ntlha ea eona e phahameng haholo ea ho qhibiliha e ka bang 3880 °C le khanyetso e ikhethang ea lik'hemik'hale, e fana ka tšireletso e tsitsitseng khahlanong le ho senyeha ha thepa, ho petsoha ha bokaholimo, kapa tšilafalo ea tšepe, ka hona e boloka tikoloho e laoloang ea ho boloka lintho nakong ea potoloho e telele ea tlhahiso.

Ka mokhoa oa eona oa ho kheloha ha phallo ea moea, TaC Coated Deflector Ring e bopa le ho tsitsisa lera la moeli oa likhase tse arabelang, e fokotsa liphetoho tsa botenya ba moeli, e fokotsa pokello ea lifilimi tse nang le liparasitic tse ngata, le ho sireletsa wafer ho tsoa tšilafatsong ea likaroloana tse tsoang maboteng a kamore kapa ho tsofala ha hardware. Ho tsitsisa hona ha gradient ea lebelo la phallo ea moea ho bohlokoa bakeng sa ho fokotsa liphoso tsa epitaxial tse kang ho senyeha ha sefofane sa basal, liphoso tsa ho bokellana, ho se be le likoti, le ho se tšoane ha moeli oa filimi.

Li-moduleng tsa ts'ebetso ea CVD le ALD, ho pepesehela khafetsa linthong tse senyang le libakeng tse ntlafalitsoeng ke plasma ho ka lebisa ho bola ha likarolo tsa kamore tse sa phekoloang, ha bokaholimo bo koahetsoeng ke TaC bo sebetsa e le thebe e sa sebetseng ka lik'hemik'hale, bo boloka bohloeki ba kamore, bo fokotsa makhetlo a tlhokomelo, le ho fokotsa litšenyehelo tsohle tsa beng ba lifeme tsa tlhahiso ea wafer tse nang le bophahamo bo phahameng. Sebopeho se senyenyane le se nang le masoba a tlase sa sekoahelo se fokotsa ho tšoloha ha likaroloana 'me se thibela ho petsoha ha kristale e bakoang ke mocheso, e leng se nolofalletsang potoloho e tsoelang pele ea ts'ebetso ntle le ho beha botšepehi ba kamore kotsing kapa bohloeki ba wafer kotsing.

Masale a ho kheloha a koahetsoeng ka Semixlab TaC a etsoa ho latela maemo a ho khomarela a koahetsoeng a laoloang le netefatso ea metrology ho netefatsa matla a ho khomarela a tsitsitseng, ho tšoana ha botenya, le ho lumellana ha ts'ebetso ho pholletsa le liforomo tse fapaneng tsa sebōpi sa epitaxial le filimi e tšesaane. Ka ho kopanya ts'ebetso ea thepa, boenjiniere ba phallo ea khase, le moralo o shebaneng le ts'epo, likopano tsa masale a ho kheloha a koahetsoeng ka Semixlab TaC li fetohile karolo ea bohlokoa ho fihlelleng katleho ea nako e telele ea fab, chai e phahameng ea wafer, le botsitso ba ts'ebetso tlhahisong ea semiconductor ea moloko o latelang. Re labalabela ka tieo ho ba molekane oa hau oa nako e telele Chaena.