Mosireletsi oa Lipolanete oa ALD

ALD Planetary Susceptor ke sethala sa tšehetso le motsamao sa wafer se entsweng ka nepo se etselitsoeng ka ho khetheha lits'ebetso tsa filimi e tšesaane ea atomic layer deposition (ALD) tse sebelisoang tlhahisong e tsoetseng pele ea semiconductor. Ts'ebetsong tsa ALD, kholo ea filimi e laoloa ke likarabelo tsa bokaholimo tse ipehelang meeli ea athomo. Ka lebaka leo, ho fihlella ho beoa ho tsitsitseng ho pholletsa le li-wafer tse ngata ho hloka taolo e felletseng holim'a ho tšoana ha ho pepesehela, botsitso ba mocheso, le ho pheta-pheta ha ts'ebetso. Jwalo ka karolo ea mantlha, Planetary wafer carrier e theha motheo oa ho fihlela maemo ana ka ho hokahanya motsamao oa wafer, taolo ea mocheso, le botsitso ba ts'ebetso ka har'a kamore ea karabelo ea ALD.

Ka hara sistimi ya ALD, Planetary wafer Holder e tshehetsa di-wafer tse ngata mme e di kganna ka hara motswako o laolwang wa ho potoloha ha dipolanete le ho ipotoloha. Motsamao ona o matla o lekanya ho se sebetse hantle ha dikamore tse kang kabo ya phallo ya pele ho nako, nako ya bodulo ya reactant, le di-gradients tsa mocheso. Ka ho netefatsa hore wafer ka nngwe e ba le maemo a tshwanang a ho bewa ho pholletsa le potoloho ya ALD, susceptor ya dipolanete e ntlafatsa ho tshwana ha botenya ba filimi kahare le pakeng tsa di-wafer.

Melemo ea ALD Planetary Susceptor

Ho tsitsa ha mocheso ho emela mosebetsi o mong oa bohlokoa oa sejana sa polanete sa wafer. Mekhoa ea ALD e hloka ts'ebetso ka har'a maemo a mocheso o moqotetsane ho boloka liketso tse ipehelang tsa bokaholimo le ho thibela kholo e kang ea CVD. Sesupa-moea sa wafer se fana ka phetisetso e tsitsitseng, e ts'oanang ea mocheso ho wafer, e fokotsa liphetoho tsa mocheso oa lehae tse ka amang bongata ba filimi, sebopeho le thepa ea motlakase. Bokhoni bona bo bohlokoa haholo bakeng sa lits'ebetso tse amang mocheso joalo ka ALD ea mocheso o tlase le ALD e ntlafalitsoeng ke plasma (PEALD).

Ho ya ka pono ya tlhahiso, ALD Planetary Susceptor ke sesebediswa sa bohlokwa bakeng sa tlhahiso ya ALD e ka atoloswang le e tshepahalang. Ka ho ntlafatsa botsitso ba sehlopha, ho fokotsa ho se tshwane ha filimi, le ho tshehetsa taolo e tsitsitseng ya mocheso, e thusa di-fab ho fihlella chai e hodimo, meedi e thata ya tshebetso, le ho fokotsa ditjeo tsohle tsa beng. Ho Semixlab, ALD Planetary Susceptor e bontsha kutlwisiso ya rona e tebileng ya fisiks ya tshebetso ya ALD, kopanyo ya disebediswa, le ditlhoko tsa ho bewa ha filimi ka tekanyo e kgolo. E fana ka tharollo e tshepahalang bakeng sa theknoloji ya ho bewa ha filimi e tshesane ya moloko o latelang. Re labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.