Sesebelisi sa ho Kopanya sa Thermal ka Potlako

Lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa semiconductor, Potlako ea Thermal Processing (RTP) e bapala karolo ea bohlokoa ho fihlelleng taolo e nepahetseng ea mocheso bakeng sa ts'ebetso ea dopant, ho thehoa ha silicide, le ho kenngoa ha dielectric. Motheong oa sistimi e 'ngoe le e 'ngoe ea RTA, Rapid Thermal Annealing Susceptor e sebetsa e le sebopeho sa bohlokoa sa mocheso pakeng tsa mohloli oa mocheso le li-wafer tsa silicon, e ama ka kotloloho ho ts'oana ha mocheso le botsitso ba ts'ebetso. RTA Susceptor ea Semixlab e entsoe bakeng sa potoloho ea mocheso e phahameng, e khutšoanyane, e netefatsang phetiso e tsitsitseng le e ka phetoang tlas'a maemo a ho futhumatsa le ho pholisa ka potlako a tloaelehileng mekhoeng e tsoetseng pele ea Rapid Thermal Processing (RTP).

Semixlab's SiC-Coated Graphite Susceptor e entsoe ka graphite e hloekileng haholo, e fanang ka conductivity e ikhethang ea mocheso le boima ba mocheso bo laoloang bakeng sa karabelo e potlakileng ea mocheso ha e ntse e fokotsa ho lieha ha mocheso. Karolo ea graphite e koahetsoe ka lera le sireletsang la inert silicon carbide (SiC) le ntlafatsang botsitso ba bokaholimo, le thibelang tlhahiso ea likaroloana, 'me le ntlafatsa haholo ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso, oxidation le ts'enyeho ea lik'hemik'hale.

Mekhoeng ea RTP, RTA Susceptor e bapala karolo ea bohlokoa ho tsitsiseng tšimo ea mocheso holim'a bokaholimo ba wafer. Ka ho monya matla a mahlaseli ka katleho le ho a ntša hape ka mokhoa o ts'oanang, susceptor e fokotsa maemo a mocheso ka hare le pakeng tsa li-wafer. Ho tšoana hona ho bohlokoa bakeng sa ho fihlela taolo e nepahetseng holim'a resistivity ea filimi e tšesaane nakong ea ts'ebetso ea ho kenngoa ha ion, ho boloka botsitso ba mohato nakong ea ho thehoa ha silicide ea tšepe, le ho thibela khatello ea filimi e sa lekanang nakong ea ho kenngoa ha dielectric.

Semixlab's Wafer Heating Susceptor e ntlafalitsoe bakeng sa ho tsamaisana le liforomo tse tloaelehileng tsa lisebelisoa tsa RTP le RTA, e tšehetsa boholo ba wafer ba 200 mm le 300 mm. Bokaholimo ba eona bo koahetsoeng ke SiC bo bontša ho tsoa ha khase hanyane le botsitso bo botle ba ho ntša metsi nakong ea potoloho e pheta-phetoang ea mocheso, e thusang ho boloka tekanyo e nepahetseng ea mocheso le ho fokotsa nako ea ho se sebetse ha lisebelisoa ka lebaka la tšilafalo kapa tlhokomelo.

Ho ya ka pono ya tlhahiso, Semixlab's Rapid Thermal Annealing Susceptor ke karolo ya bohlokwa ya tshebetso e susumetsang ho tshwana ha motlakase, sekgahla sa diphoso, le katleho ya disebediswa ka kakaretso (OEE). Ka ho kopanya thepa e hlwekileng haholo, theknoloji e pakilweng ya ho kwahela, le moralo o shebaneng le tshebetso, Semixlab e fana ka tharollo e tswetseng pele ya RTA substrate e netefatsang tshebetso e tsitsitseng ya mocheso, e fokotsang dikotsi tsa tshilafatso ya dikarolwana, mme e fihlella botsitso ba tshebetso ya nako e telele. Habohlokoa le ho feta, Semixlab e ikemiseditse ho fana ka theknoloji ya sejoale-joale le ditharollo tsa RTA susceptor tse ikgethileng bakeng sa ditsamaiso tsa RTP tsa semiconductor. Re labalabela ka tieo ho ba molekane wa hao wa nako e telele Chaena.