Sekepe sa GaN / GaAs se koahetsoeng ke CVD SiC se koahetsoeng ke Epitaxy Susceptor

Kaho ea motheo e bonolo haholo. Re sebelisa motheo oa graphite o nang le botebo bo phahameng, o sa fetoheng 'me re holisa lera le teteaneng la β-SiC holimo ka CVD. Seo se u fa motlakase oo u o batlang ho tsoa ho graphite, ha letlalo la SiC le sebetsana le k'hemistri. NH₃, H₂, le eng kapa eng eo ts'ebetso e e lahlelang ho eona - lesela le boloka seo sohle hole le graphite e ka tlase. Sephetho ke karolo e tšoarellang ho GaN, GaAs, Micro-LED, RF, le lisebelisoa tsa semiconductor tsa matla.

Ke eng e etsang hore ba sebetse lefatšeng la sebele?

Mabapi le bohloeki: re khetha ka thepa e tala ea graphite. Mekhahlelo ea isostatic eo re e sebelisang e qala e hloekile, 'me sekoahelo sa CVD SiC se qetella se teteaneng haholo. Tšilafalo ea tšepe e tlase hoo u sa lokelang ho tšoenyeha ka hore e silafatsa kamore ea epitaxy e hloekileng haholo.

Boitšoaro ba mocheso le bona bo bohlokoa. Re etsa boiteko ba ho bapisa boemo ba mocheso e le hore wafer e bone mocheso o ts'oanang holim'a bokaholimo ba eona. E matha nako e telele mochesong o phahameng, e futhumatsang ka potlako le e phodileng - susceptor e lula e tsitsitse ka tekanyo eohle. Ho tsitsa hoo ho bonahala ka ho lekana ha botenya le taolo ea sebopeho kamora ho matha.

Tlhaselo ea lik'hemik'hale mohlomong ke eona ntho e tšoenyang haholo ho GaN MOCVD. Haeba u kile ua shebella karolo e se nang letho ea graphite e senyeha ka mor'a lipotoloho tse 'maloa, ua tseba seo ke se bolelang. Seaparo sa SiC se fetola matla ao. Se hanela likhase tsa ts'ebetso hamolemo haholo, 'me hobane ha se lahle thepa ha e ntse e tsofala, u fumana likaroloana tse fokolang tse phaphametseng ho potoloha kamore. Kamore e hloekileng, chai e betere - e otlolohile joalo.

Ka mechine, sekoahelo sea khomarela. Re entse mosebetsi o mongata ho khomareleng, kahoo ha o ruruhe kapa ho petsoha leha karolo e bona ho thothomela ha mocheso. Sebopeho se teteaneng sa CVD se thusa le ka seo. Basebelisi hangata ba bona nako ea bophelo e telele ka makhetlo a 'maloa ho feta eo ba neng ba tla e fumana ho tsoa ho graphite e sa koaheloang, e leng se bolelang hore nako e nyane ea ho hloekisa kamore le ho fetola likarolo e ea fokotseha.

Hangata u tla li fumana hokae?

GaN MOCVD le HVPE — li-LED, lisebelisoa tsa motlakase, li-chip tsa RF, li-Micro-LED. Mocheso oa ts'ebetso o pakeng tsa 1000 °C le 1100 °C, hantle feela sebakeng se loketseng sistimi ena ea thepa.

GaAs MOCVD — Li-VCSEL, li-laser tsa puisano tsa optical, li-sensor tsa infrared, likarolo tsa RF. Litlhoko tse tšoanang tsa mocheso, k'hemistri e fapaneng hanyane, tlhoko e tšoanang ea sesebelisoa se hloekileng, se tsitsitseng.

Lisebelisoa tse akaretsang tsa semiconductor tsa mocheso o phahameng — ho feta li-reactor tsa epitaxy feela, li hlaha likopanong tsa bajari ba wafer le likarolo tsa sebaka sa mocheso moo bohloeki le botsitso ba mocheso li leng bohlokoa.

Mokhoa oa ho boloka boleng bo tsitsitse

O ka ba le graphite e ntle ka ho fetisisa le k'hemistri e ntle ka ho fetisisa ea ho roala, empa haeba ts'ebetso e sa kenngoe, karolo e ke ke ea sebetsa. Re khetha mekhahlelo ea graphite ho latela conductivity ea mocheso, bongata, le botsitso ba nako e telele. Ebe mohato oa CVD o lokisoa ho latela moralo o mong le o mong - haholo-holo oa bohlokoa bakeng sa li-susceptor tse bophara bo boholo kapa eng kapa eng e nang le jiometri e thata. Sepheo ke ho koahela ka ho lekana le ho khomarela ho matla, ho se na matheba a masesaane kapa mathoko a fokolang.

Sehlopha se seng le se seng se feta libakeng tse 'maloa tsa tlhahlobo: botenya ba ho koahela, ho ba thata ha bokaholimo, litekanyo tsa bohlokoa, bohloeki, le botšepehi ba ho koahela ka kakaretso. Ha se botle, empa ke sona se bolokang palo ea likaroloana e le tlase 'me se u lumella ho pheta ts'ebetso ea hau ntle le lintho tse makatsang tse mpe.

Hobaneng o lokela ho sebelisa SiC coating ho fapana le graphite e se nang letho?

Ha re e hlalosa ka bokhutšoanyane: graphite e hlobotseng e a jeoa. Graphite e koahetsoeng ka SiC ha e jeoe. Haholo-holo, u fumana:

● Ho hanyetsa likhase tse senyang hamolemo

● Tlhahiso ea likaroloana e fokotsehile haholo ha nako e ntse e ea

● Bophelo bo bolelele bo nang le thuso pele ho nkeloa sebaka

● Maemo a ts'ebetso a tsitsitseng haholoanyane

● Litholoana tse phahameng le tse tsitsitseng tsa wafer

Ke motsoako o utloahalang — graphite e tsamaisa mocheso, SiC e nka tšebeliso e mpe ea lik'hemik'hale. Ho epitaxy ea semiconductor ea metsoako, seo e se e le tharollo e ka sebelisoang ka lebaka le itseng.

Tlhophiso

Hoo e ka bang ha re hahe karolo e tšoanang habeli. Bongata ba seo re se romelang se etsoa setšoantšong sa moreki kapa se lokisitsoe ho latela mohlala o itseng oa reactor. Re ka fetola:

● Boholo ba wafer le sebopeho sa pokotho

● Palo le tlhophiso ea lipokotho

● Mekhoa ea masoba le masoba a phunyeletsang

● Botenya ka kakaretso

● Litlhoko tsa ho qetela ka holim'a metsi

Li-prototype le bongata ba tlhahiso ka bobeli li lokile — re tla sebetsa le uena ho sa tsotelehe hore na u hloka likarolo tse 'maloa tsa liteko kapa ho romelloa ka mokhoa o tsitsitseng.

Hangata ile a botsa lipotso

Hantle-ntle setlolo se koahetsoeng ke SiC se etsa eng?

E tšoara li-wafer nakong ea kholo ea epitaxial, e jala mocheso ka ho lekana holim'a wafer, 'me e sebelisa lera la SiC ho sireletsa graphite likhaseng tse senyang tsa ts'ebetso.

Hobaneng o sa sebelise graphite e sa koaheloang feela?

Graphite e sa koaheloang e bola ka potlako haholo likhase tse kang ammonia e chesang le haeterojene. Seo se hlahisa dikarolwana, se kgutsufatsa nako ya bophelo, mme se senya chai. Seaparo sa SiC se rarolla mathata ao kaofela a mararo.

Na u ka li haha ​​bakeng sa li-reactor tse fapaneng?

Ehlile. Re etsa litekanyo, meralo ea lipokotho, le lipaterone tsa masoba hore li lumellane le sesebelisoa sefe kapa sefe sa MOCVD kapa HVPE seo u se sebelisang.

Li loketse mekhoa efe?

GaN LED, matla, le RF epi; Micro-LED; VCSEL le GaAs epitaxy — kae kapa kae moo o hlokang sesebelisoa se hloekileng, se tsitsitseng mochesong o phahameng.