Karolo ea PECVD liseleng tsa letsatsi

PECVD (plasma e ntlafalitsoeng ea mouoane oa lik'hemik'hale) ke e 'ngoe ea lits'ebetso tsa mantlha tsa tlhahiso ea lisele tsa photovoltaic. E sebelisoa haholo ho beha lifilimi tsa bohlokoa tse sebetsang (joalo ka silicon nitride-SiNx) holim'a li-wafers tsa silicon ho fihlela mesebetsi e khahlanong le ho bonts'a le ea ho feta. Terei ea PECVD e phetha karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ena, ho netefatsa ho ts'oana ha ho behoa ha filimi, botsitso bo botle ba li-wafers tsa silicon le ts'ebetso e nepahetseng ea lisebelisoa. E ka khona ho hlahisa lifilimi tse teteaneng ka mocheso o tlase (300-400 ° C) ka ho kenya ts'ebetso ea lik'hemik'hale ka plasma, e ntlafatsa haholo ts'ebetso ea ho fetola photoelectric ea betri.

Ts'ebetso ea PECVD ka liseleng tsa photovoltaic ke efe?

1.Silicon wafer pretreatment

Ka mor'a ts'ebetso ea ho hasana, sephaphatha sa silicon se theha mokoloko oa PN, 'me ka mor'a hore e tšele ho tlosa lera la doping, e kena sethaleng sa PECVD. Lintho tse silafatsang ka holim'a metsi (joalo ka mesaletsa ea lintho tse phelang le li-ion tsa tšepe) li hloka ho hloekisoa hantle ho netefatsa hore filimi e khomarela.

2.Ho kenya le ho theha tikoloho ea vacuum

Li-wafers tsa silicon li behiloe ka tsela e lekanang sekepeng sa PECVD 'me li romelloa ka kamoreng ea ho arabela ka letsoho la robotiki. Kamore e isoa ho 10⁻²–10⁻³ Torr ho kenyelletsa tšitiso ea oksijene le mongobo.

3.Plasma activation le ho beha filimi e tšesaane

Kenyelletso ea khase: Silane (SiH₄) le ammonia (NH₃) li tsoakoa ka tekanyo le ho kenngoa ka kamoreng ea ho arabela.

Mohloli oa matla oa RF o hlasimolla plasma: Sebaka sa motlakase sa maqhubu a phahameng (joalo ka 13.56 MHz) se etsa hore khase e hlahise li-radicals tse sebetsang haholo tse kang SiH₃⁻ le NH₂⁺.

Boitšoaro bo holimo: Li-radicals tsa mahala li sebetsana le bokaholimo ba silicon wafer ho hlahisa amorphous silicon nitride (a-SiNx: H), 'me botenya bo laoloa ho 70-80 nm ho ntlafatsa ho monya ha leseli (refractive index ~2.0).

4.Annealing le passivation phello e matlafatsang

Ka mor'a hore ho behoe, infrared annealing (300-450 ° C) e sebelisetsoa ho lokolla khatello ea filimi, 'me liathomo tsa haedrojene li hasana ho ea ho sekoli holim'a silicon ho finyella lik'hemik'hale tsa lik'hemik'hale (ho fokotsa sekhahla sa ho kopanya holimo).

5.Ho pholile le ho tlosoa

Seketsoana sa PECVD se tsoa ka kamoreng e nang le mochine o tsamaisang thepa, 'me sephaphatha sa silicon se kena mohatong o latelang (joaloka khatiso ea skrine) ka mor'a ho pholile mocheso oa kamore.

Ke lisebelisoa life tse sebetsang tsa PECVD Boat?

PECVD likepe (kapa PECVD graphite boats) li sebelisoa haholo-holo tšimong ea photovoltaic ho tsamaisa likaroloana tsa lisele tsa letsatsi ka kamoreng ea PECVD. Hangata liketsoana tsena li entsoe ka lisebelisoa tse ling tse hanyetsanang le mocheso o phahameng joalo ka graphite kapa quartz, 'me li ka mamella tikoloho e phahameng ea mocheso ts'ebetsong ea PECVD. PECVD Boat e ama ka kotloloho ho ts'oana ha deposition le sekhahla sa ho arohana.

· Ho jara li-substrates: Mosebetsi o ka sehloohong oa seketsoana sa PECVD ke ho beha substrate ea sele ea letsatsi ka kamoreng ea ho arabela ea PECVD bakeng sa ho beha filimi e tšesaane.

· Ho futhumatsa ka mokhoa o ts'oanang: Ka ho arola mocheso o lekanang, etsa bonnete ba hore substrate e boloka mocheso o tsitsitseng nakong eohle ea ts'ebetso, kahoo e ntlafatsa boleng le ho tšoana ha filimi.

· Corrosion resistance: Kaha ts'ebetso ea PECVD e kenyelletsa likhase tse sa tšoaneng tsa lik'hemik'hale, sekepe sa PECVD se hloka ho ba le khanyetso e ntle ea ho senya ho tiisa botšepehi ba eona nakong ea tšebeliso ea nako e telele.

Lintlha tsa moralo oa PECVD Boat ke life?

Moralo oa eona o hloka ho fihlela litlhoko tse latelang:

Thepa e hanyetsa mocheso o phahameng le ho bola:

Quartz kapa silicon carbide coated graphite hangata e sebelisoa ho mamella khoholeho ea plasma le tikoloho ea mocheso o phahameng (likepe tsa graphite li hloka ho nkeloa sebaka khafetsa ho qoba tšilafalo ea likaroloana).

Ntlafatso ea Sebopeho:

Moralo oa sekotjana o sekamang: netefatsa sebaka se ts'oanang lipakeng tsa liphaephe tsa silicon (5-10 limilimithara) le ho qoba ho fetoha ha botenya ba filimi (tebello e ts'oanang <5%).

Edge guide groove: ntlafatsa kabo ea phallo ea moea e sebetsang le ho fokotsa phapang ea botenya ba filimi e bakoang ke phello ea bohale.

Phetoho bakeng sa tlhahiso e kholo:

E lumellana le li-wafers tsa silicon tse kholo (tse kang M10 / G12), bokhoni ba sekepe se le seng bo ka fihla likotoana tsa 200-300, 'me matla a tlhahiso a ntlafatsoa (joalo ka sesebelisoa se le seng se ka sebetsanang le likotoana tsa 4000 ka hora).

Khokahano e kopaneng ea phetisetso ea othomathiki, e sebelisana le letsoho la AGV/robotic ho hlokomela ts'ebetso e sa sebetsoeng.

Litšenyehelo le tlhokomelo:

Bophelo ba seketsoana sa graphite bo ka ba likhoeli tse 6-8, 'me se hloka ho khethoa khafetsa (joalo ka tharollo ea HF) ho tlosa masala a litšila.

Likepe tsa Quartz li theko e boima empa li na le kotsi e tlase ea tšilafalo, 'me li loketse tlhahiso e kholo ea boima ba theknoloji ea TOPCon/HJT.

Element bakeng sa Quartz

Hobaneng u khetha Semixlab?

Semixlab ke moetsi le mofani oa thepa ea ka sehloohong oa PECVD Chaena. Lihlahisoa tsa rona tsa likepe tsa PECVD li kenyelletsa likepe tsa graphite tsa PECVD, likepe tsa quartz tsa PECVD, joalo-joalo.

Re ka fana ka lihlahisoa tse ikhethileng le lits'ebeletso tsa tekheniki ho latela litlhoko tsa hau tsa tlhahiso. Ha e le hantle, ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea indasteri ea photovoltaic, ts'ebetso e tsoelang pele ea theknoloji ea PECVD le lisebelisoa li tla tsoela pele ho khothalletsa ntlafatso ea lisele tsa photovoltaic le ho atolosoa ha tekanyo ea tlhahiso. Semixlab e ikemiselitse ho sebetsa le uena ho kenya letsoho haholoanyane indastering ea lisele tsa photovoltaic.