EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Seteishene sa Quartz se Hloekileng ka ho Fetisisa le Sekoahelo sa MOCVD
Likarolo tsa Opaque Quartz tse hloekileng haholo li entsoe bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor MOCVD, ho kenyeletsoa le lintho tsa bohlokoa tse sebelisoang joalo ka Heat Shields le Precision Shutters. Ka ho sebelisa mokhoa o ikhethang oa ka hare oa ho hasanya li-micro-bubble, likarolo tsena li fetola mahlaseli a mocheso a sebakeng seo hore e be mahlaseli a holimo a infrared a lekanang haholo, a ntlafatsang haholo ho tšoana ha lera la epitaxial. Li na le bohloeki ba ≥99.999% le coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso, li fana ka tšireletso e phahameng ea mocheso mochesong o kaholimo ho 1100℃ ha li ntse li fokotsa tšebeliso ea matla le ho thibela tšilafalo ea tšepe - e leng se etsang hore e be tharollo e ntle le e theko e tlaase bakeng sa mela ea tlhahiso e phahameng.
Tlhaloso
Sebopeho se senyenyane: Sebopeho se teteaneng sa di-bubble tse nyane se fana ka tshebetso e ntle ya ho hasanya mocheso.
Quartz e sa Tšoaneng: "Sethibelo sa Mocheso o Tšoanang" bakeng sa Mekhoa ea MOCVD
Quartz ea rona e nang le bohloeki bo phahameng e feta thepa e tloaelehileng ea quartz. E etsoa ka mokhoa o ikhethileng oa ho kopanya o hlahisang bongata bo boholo ba li-micro-bubble tse tšoanang, tse nang le bophara bo laoloang hantle pakeng tsa 10-100µm. Li-bubble tsena ke motheo oa ts'ebetso e ikhethang ea mocheso oa thepa:
● Phetoho ea Infrared Scattering & Far-Infrared (FIR):
Mahlasedi a mantlha a tsoang ho likarolo tsa ho futhumatsa tsa MOCVD (tse kang li-filament tsa tungsten kapa graphite) a na le leseli le haufi le Infrared (NIR). Quartz e bonaletsang e batla e kenella ka botlalo ho NIR, e leng se lebisang ho mocheso o sebakeng seo le "libaka tse chesang" holim'a substrate. Lipululana tsa kahare ho quartz e sa bonahaleng li nolofalletsa ho bonahatsa ka hare ho se nang palo le ho hasana, ka katleho ho thibela ho kenella ka kotloloho ha NIR. Mocheso o monngoa le ho ntšoa hape e le mahlaseli a bokaholimo a Far-Infrared (FIR) a tšoanang haholoanyane. Phetoho ena e netefatsa tšimo ea mocheso e ts'oanang haholo ka har'a kamore ea MOCVD, e leng ea bohlokoa bakeng sa ho fihlela likarolo tsa epitaxial tsa boleng bo holimo, tse ts'oanang.
● Bohloeki bo Phahameng ka ho Fetisisa le Botlaase ba Hydroxyl (OH):
Bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor tsa pele-qetellong, re laola ka tieo bohloeki ba SiO2 boemong ba 5N (99.999%) mme re boloka dikahare tsa Hydroxyl (OH) ho <5ppm. Sena se netefatsa hore dibakeng tse nang le vacuum e ngata tse fetang 1000℃, ha ho na di-ion tse kotsi tsa tshepe kapa mongobo o tswang, e leng se sireletsang botshepehi ba meaho e bonolo ya quantum.
| elements | Dikahare tse Tloaelehileng (ppm) | Mokhoa oa ho Khetholla |
| Aluminium (Al) | <15 | ICP-OES |
| K'halsiamo (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Tšepe (Fe) | <0.5 | ICP-OES |
| Sodium (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| Hydroxyl (OH) | <5 | LIEKETSENG FTIR |
| Bohloeki bo Felletseng | ≥99.999% | Baliloe |
dikopo
Maemo a Tloaelehileng a Kopo
Likarolo tsa rona tsa quartz tse sa bonahaleng ha se feela tse nkelang sebaka; ke litharollo tse ntlafalitsoeng bakeng sa liphephetso tse itseng tsa ts'ebetso ea mocheso.
Boemo ba A: Tšireletso ea Kamore ea MOCVD bakeng sa Li-semiconductor tse Kopantsoeng (GaN, SiC)
● Ntlha ea Bohloko: Nakong ea kholo ea GaN kapa SiC, mocheso o phahameng le phallo ea precursor e senyang (joalo ka Ammonia NH3 le TMGa) li lebisa ho kenngoeng ha sehlahisoa se seholo maboteng a likamore tse turang le li-heater tsa graphite. Sena se fella ka ho se sebetse khafetsa bakeng sa Tlhokomelo ea Thibelo (PM) le keketseho ea Litšenyehelo tsa Bong (CoO).
● Tharollo: Ho sebelisa quartz e sa bonahaleng e hloekileng haholo e le Heat Shield (Chamber Liner) ho fana ka "lera la sehlabelo" le theko e tlase. Ha e ntse e bokella li-depositi, insulation ea eona e phahameng e sireletsa mabota a kamore ea tšepe e sa hloekang, e atolosa potoloho ea PM ka ho feta 30%.
Boemo ba B: Taolo ea Sebopeho sa Sebopeho sa Meaho ea Li-Multi-Quantum Well (MQW)
● Ntlha ea Bohloko: Ho etsa meaho e mesesaane haholo ea MQW bakeng sa li-LED kapa li-laser ho hloka ho nepahala ha athomo ho fetoleng khase ea pele ho nako. Phetoho efe kapa efe ea mocheso kapa ho lieha ha mechini ho Shutter ho baka "Ho Atolosa Sehokelo," e leng se senyang ts'ebetso ea optoelectronic ea sesebelisoa haholo.
● Tharollo: Li-Shutter tsa rona tsa Precision Quartz li sebelisa coefficient e tlase haholo ea katoloso ea mocheso ea quartz e sa bonahaleng. Sena se netefatsa ho ba bataletse ka ho phethahetseng le botsitso ba sebopeho nakong ea ho chencha ka lebelo le phahameng le potoloho e potlakileng ea mocheso, e nolofalletsang "Taolo ea 'Mele oa Atomic" ea 'nete.
