Lesale la ho K'hampa 0200-15001

Lesale la Clamp la AMAT 0200-15001 ke e 'ngoe ea likarolo tsa bohlokoa tsa sebopeho likamoreng tsa lisebelisoa tsa semiconductor tsa Applied Materials (AMAT). Ke karolo ea alumina (Al₂O₃) ea ceramic clamping/compression e sebelisoang haholo ho li-module tsa ts'ebetso ea ho beha le ho fata. Boleng ba eona ba mantlha ha bo ho kenyeng letsoho ka kotloloho liketsong, empa bo ho boloka botsitso ba sebopeho sa kamore le botsitso ba tikoloho ea ts'ebetso.

1. Kakaretso ea Sehlahisoa le Thepa ea Thepa (Al₂O₃)

● Lebitso la Sehlahisoa: AMAT 0200-15001 Lesale la K'hamera

● Sehlopha: Karolo ea Lesale la Setlamo sa Ceramic Ceramic / Karolo ea Setlamo sa Setlamo

● Lisebelisoa: Alumina ceramic e hloekileng haholo (Al₂O₃)

2. Mesebetsi ea Bohlokoa Lisebelisoang tsa Semiconductor

Ka hare ho sebopeho sa kamore ea AMAT, Lesale lena la Clamp le sebeletsa haholo-holo mesebetsi ea thibelo ea mechini le tiisetso ea botsitso ba ts'ebetso:

① Ho Lokisa Sebopeho le ho Tlama ha Kamore

E sebelisetsoa ho lokisa likarolo tsa bohlokoa tsa kamore ka mokhoa o sireletsehileng, ho kenyeletsoa:

●Quartz (likarolo tsa quartz)

●Liner (lesela la kamore)

● Lesale la moedi (sebopeho sa lesale la moedi)

●Shaoara (sebopeho sa kabo ea khase)

Ho tiisa ka nepo ho thibela ho se tsamaisane hantle ha sebopeho ho bakoang ke katoloso ea mocheso kapa khatello ea vacuum.

② Taolo ea ho Tšoana ha Plasma

Ho nepahala ha jeometri ea Lesale la Clamp ho susumetsa ka kotloloho:

●Ho leka-lekana ha kabo ea tšimo ea motlakase

● Ho tšoana ha plasma ka bongata

● Bokhoni ba ho laola phello ea Edge

Sena se bohlokoa haholo bakeng sa lits'ebetso tse tsoetseng pele (≤28 nm).

③ Taolo ea Likaroloana le Tiisetso ea Kotulo

Ho tsitsa ha sebopeho ho fokotsa ho thothomela ha dikokwana-hloko le kgohlano, ka hona ho fokotsa:

● tlhahiso ea likaroloana tse nyenyane

●tšilafalo ea moeli oa wafer

●ho feto-fetoha ha bongata ba sekoli

3. Mekhoa e Tloaelehileng ea ho Hlōleha (Tlhahlobo ea ho Hlōleha)

Ho latela phihlelo ea Semixlab mabapi le tlhokomelo le ntlafatso ea lisebelisoa, mekhoa e tloaelehileng ea ho hloleha bakeng sa mofuta ona oa Lesale la K'hamera la Al₂O₃ e kenyelletsa:

① Khoholeho ea Lero la Mali

Ho pepesehela tikoloho ea khase ea karabelo nako e telele ho lebisa ho:

● Ho lokisa bokaholimo

● Ho ntsha matheba a lintho tse bonahalang

●Ho lokolloa ha likaroloana tse ngata

② Ho petsoha ha khatello ea mocheso

E bakoa ke liphetoho tse potlakileng tsa mocheso (ho potoloha ha mocheso):

● Ho thehoa le ho ata ha mapetso a manyenyane

● Matla a fokolang a sebopeho

●Kotsi e ka bang teng ea ho robeha ha lesapo

③ Ho qhaqha mapheo

Hangata e bonoa maemong a:

● Khatello ea ho kenya e sa lekanang

●Taolo e sa nepahalang ea torque

● Tšusumetso ea mechini

④ Ho Hlōleha ha ho Ntša Mesi ka Mahlaku

Ho lokolloa ha dikarolwana tsa Al₂O₃ kamora ho senyeha ha bokaholimo:

●Sekhahla sa bofokoli ba wafer se eketsehile

●Fensetere e moqotetsane ea ts'ebetso

⑤ Ho sisinyeha ha Dimensional

Liphetoho tsa sebopeho sa microstructure tse bakoang ke ho jara mocheso ka nako e telele:

●Ho nepahala ha ho otlolla ho fokotseha

●Ho koaloa ha kamore e senyehileng