Lihlahisoa- TJNE

Li-disk tsa graphite tse koahetsoeng ka TAC tse nang le masoba bakeng sa kholo ea kristale e le 'ngoe ea SiC

Diske ea graphite e koahetsoeng ka TAC e nang le masoba

Li-disk tsa graphite tse koahetsoeng ka TaC tse nang le masoba bakeng sa kholo ea kristale e le 'ngoe ea SiC

Di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa Semixlab ke dikarolo tsa sebaka se chesang tse sebetsang hantle tse entsweng bakeng sa ditshebetso tsa kgolo ya kristale e le nngwe ya silicon carbide (SiC), haholoholo ditsamaiso tsa ho tsamaisa mouoane wa mmele (PVT). Ka ho kopanya sebopeho sa graphite se nang le masoba se laolwang le seaparo sa tantalum carbide se sa sebetseng ka dikhemikhale, di-disk tsena di nolofalletsa taolo e tsitsitseng ya ho tsamaisa mouoane ha di ntse di sireletsa substrate ya graphite ho kgoholehong ya dikhemikhale le tlhahiso ya dikarolwana dibakeng tse nang le mocheso o phahameng haholo. E entswe ho tshehetsa ho tsamaisa boima bo tshwanang le botsitso ba tshimo ya mocheso, di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa TaC di kenya letsoho ho ntlafatseng taolo ya sebopeho sa kgolo, ho lekana ha kristale ho ntlafetseng, le ho fokotsa kotsi ya tshilafatso nakong ya kgolo e telele ya SiC boule. Re lebeletse potso ya hao ka tjantjello.

dipatlisiso

Tlhaloso

Ha kgolo ya kristale e le nngwe ya silicon carbide (SiC) e ntse e tswela pele ho hola ho ya ho bophara bo boholo le taolo e tiileng ya diphoso, botsitso le bohlweki ba dikarolo tsa sebaka se chesang di fetohile tsa bohlokwa bakeng sa tlhahiso ya kristale ka kakaretso le tshebetso ya sesebediswa. Di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa TaC (Tantalum Carbide) di entswe e le dikarolo tse tswetseng pele tse sebetsang ka hara tsamaiso ya kgolo ya kristale ya SiC ya transport ya mmele (PVT), e bapala karolo ya bohlokwa taolong ya tsamaiso ya tsamaiso ya mouoane, ho tsitsisa tshimo ya mocheso, le taolo ya tshilafatso.

Libakeng tsa kholo ea kristale e le 'ngoe ea SiC tse sebetsang mochesong o phahameng haholo o atisang ho feta 2000 °C, likarolo tse tloaelehileng tsa graphite li kotsing ea ho khoholeha ha lik'hemik'hale, sublimation ea carbon, le tlhahiso ea likaroloana ha li pepesehetse mefuta ea mouoane e nang le silicon e arabelang. Li-disk tsa graphite tse koahetsoeng ka masoba tsa Semixlab tsa TaC li sebetsana le liphephetso tsena ka ho kopanya substrate ea graphite e entsoeng ka hloko e nang le masoba le sekoahelo sa TaC se nang le conformal, se hloekileng haholo. Moralo ona o fana ka bobeli ho kenella ha khase ho laoloang le thibelo e sa sebetseng ea lik'hemik'hale, e nolofalletsang taolo e nepahetseng ea phallo ea mouoane e nang le Si- le C pakeng tsa thepa ea mohloli le sebopeho sa kholo ea kristale.

Ka hare ho sebopi sa kgolo, di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa TaC di sebetsa e le bahlahlobi ba phallo ya mouoane le balaodi ba ho hasana. Sebopeho sa pore se hokahaneng se dumella phetiso e laolwang ya mefuta e nang le sublimated ha ka nako e ts'oanang se thibela phallo ya mouoane o ferekanyang le di-gradients tsa mahloriso tse sebakeng seo. Tsamaiso ena e laolwang ya boima e tlatsetsa ka kotloloho ho sebopeho sa kgolo se ts'oanang, ho ntlafala ha botenya ba radial, le sebopeho se ntlafetseng sa kristale. Ka nako e ts'oanang, seaparo sa TaC se arola graphite e ka tlase ho tshebedisano e tobileng ya dikhemikhale le mouoane wa Si, e fokotsa haholo tshebediso ya graphite, ho senyeha ha bokahodimo, le tshilafatso e amanang le carbon nakong ya kgolo e telele.

Ka mokhoa o futhumatsang, ntlha e ikhethang ea ho qhibiliha ea TaC (≥3880℃) le botsitso li netefatsa botšepehi ba sebopeho le ho khomarela ha ho koahela tlas'a potoloho e pheta-phetoang ea mocheso. Meralo ea masoba e boetse e tlatsetsa ho lokisoeng ha ho hanyetsa mocheso sebakeng se itseng, ho thusa ho tsitsisa li-gradients tsa mocheso oa axial le oa radial ka har'a sebaka se chesang. Tekanyo ena ea mocheso e molemo haholo bakeng sa kholo ea li-boule tsa SiC tse bophara bo boholo, moo botsitso ba sebopeho le ho lumellana ha mocheso li leng bohlokoa bakeng sa ho fokotsa sebopeho sa micropipe, ho senyeha ha sefofane sa basal, le liphoso tse ling tsa kristale.

Ho ya ka pono ya taolo ya tshilafatso, di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa TaC di fana ka monyetla o moholo ho feta dikarolo tse sa kwahelwang kapa tse kwahetsweng ka tsela ya setso. Lera le teteaneng la TaC le thibela lerole la graphite le ho lokollwa ha dikarolwana ka katleho, le tshehetsa maemo a tlase a ho se hlweke a bokamorao le ditikoloho tse hlwekileng tsa kgolo. Sena se fetolela bohlweki bo ntlafetseng ba kristale, kotsi e fokotsehileng ya nucleation ya dikotsi, le tlhahiso e phahameng ya wafer e theohelang tlase.

Semixlab e rala le ho etsa di-disk tsa graphite tse nang le masoba tsa TaC tse sebedisang mekgwa e laolwang ya ho roala e leka-lekaneng botenya ba ho roala, ho boloka masoba, le botebo ba ho kenella ha ho roala. Sena se netefatsa botsitso ba ho kenella ha metsi nako e telele ntle le ho thibana ha masoba, ho boloka dibopeho tse tsitsitseng tsa ho tsamaisa mouoane nakong yohle ya tshebetso ya karolo. Sehlahiswa se seng le se seng se ntshetswa pele ka ho tsamaellana le meralo e meholo ya setofo sa SiC PVT mme se loketse ditsamaiso tsa kgolo ya kristale tsa tlhahiso ya dipatlisiso le tsa bongata.